Предметный столик электронного микроскопа

 

Изобретение относится к технике электронной микроскопии. Цель изобретения - упрощение .конструкции и увеличение точности индикации положения каретки. Предметный столик содержит основание 1 с установленными на нем обмоткой 3 и коллектором 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. В крышку 5 установлена каретка 6 с пластинами 7, образующими движок 8 потенциометрического преобразователя линейных переме77 Ю щений. Винт 9 и каретка 6 образуют винтовую пару. На каретке 6 закреплен металлостеклянный столик 16 с металлической прямоугольной установочной плоскостью 17 и выводами 18. Предметный столик установлен с помощью жестких выводов 2 и 19 на жесткой печатной плате 20. При повороте головки винта 9 осуществляется линейное перемещение каретки 6 и вместе с ней и столика 16, при этом одновременно с потенциометрического преобразователя считывается информация о величине линейного перемещения столика. При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепляют под установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика. Точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов повышается за счет жесткого соединени-я каретки и столика. 2 ил. WJ7 со С 15 72 о CJ сь 00 Ю ел

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)л Н 01 J 37/20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С. ..с >

Я 77

9 72

71 7

// // // ф //

2 б 19 77 84 5

5 Й / . / (21) 4350218/21; 4372941/21 (22) 28.12.87 (46) 23.03.91. Бюл. N 11 (72) К.В.Авакян, В.M,Àðóòþíÿí, Ф.В.Гаспарян и В.Ш.Марукян (53) 621.385(088.8) (56) Патент Франции ¹ 2282150, кл. Н 01 С 9/02, 1974. (54) ПРЕДМЕТНЫЙ СТОЛИК ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к технике электронной микроскопии. Цель изобретения— упрощение .конструкции и увеличение точности индикации положения каретки. Предметный столик содержит основание 1 с установленными на нем обмоткой 3 и коллектором 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. В крышку

5 установлена каретка 6 с пластинами 7, образующими движок 8 потенциометрического преобразователя линейных переме18

„„Я „„1636895 А1 щений. Винт 9 и каретка 6 образуют винтовую пару. На каретке 6 закреплен металлостеклянный столик 16 с металлической прямоугольной установочной плоскостью

17 и выводами 18. Предметный столик установлен с помощью жестких выводов 2 и 19 на жесткой печатной плате 20. При повороте головки винта 9 осуществляется линейное перемещение каретки 6 и вместе с ней и столика 16, при этом одновременно с потенциаметрического преобразователя считывается информация о величине линейного перемещения столика. При проведении измерений злектрофиэических характеристик исследуемый объект закрепляют под установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика. Точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов повышается за счет жесткого соединения каретки и столика, 2 ил.

1636895

Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может использоваться для индикации положений скользящего столика в электронном микроскопе при проведении измерений электрофизических характеристик полупроводников, полупроводниковых приборов различного назначения и диэлектриков при воздействии электронных пучков, Цель изобретения — упрощение конструкции и увеличение точности индикации положения каретки за счет выполнения каретки заодно с движком потенциометрического преобразователя линейного перемещения, что позволяет исключить из конструкции механизм перемещения движка, который является дополнительным источником погрешности.

На фиг.1 представлен предметный столик, продольный разрез; на фиг,2 — то же, поперечный разрез.

Предметный столик содержит основание 1 с двумя парами жестких выводов 2, к которым присоединены концы обмотки 3 и выводы коллектора 4 потенциометрического преобразователя линейных перемещений столика.

В металлическую крышку 5 установлена каретка 6 с двумя парами контактных пластинок 7, жестко соединенных между собой и образующих движок 8 потенциометрического преобразователя линейных перемещений. Удлиненной формы боковые и верхняя стенки крышки 5 являются прямо- линейными направляющими для каретки 6.

В сквозное отверстие на боковой стенке крышки 5 продет винт 9 с кольцевой резиновой прокладкой 10, смазанной высоковакуумным маслом и установленной в канавке на головке 11 винта. Винт 9 завинчен в сквозное резьбовое отверстие на торце каретки 6 и установлен стержнем 12 в отверстие на другой боковой стенке крышки 5, В отверстие на верхней стенке крышки 5 вдоль второй канавки на головке 11 винта установлен штифт 13.

В выполненные на торце каретки 6 два, сквозных отверстия продеты и соединены жестко с движком посредством аралдитной смолы два отрезка проволоки 14, четыре конца которых выведены через щель 15, выполненную на верхней стенке крышки 5, и изогнуты, На четырех концах проволоки установлен и соединен с ними посредством припоя металлостеклянный столик 16 с ме0 таллической прямоугольной установочной плоскостью 17, монолитной со столиком, и выводами 18, расположенными вдоль длинных сторон прямоугольной установочной плоскости 17 параллельно прямолинейным

55 направляющим каретки 6. Столик 16 подсоединен к одному из выводов 18 отрезком проволоки посредством припоя. Боковые стенки удлиненной формы крышки 5 снабжены двумя жесткими выводами 19, монолитными с крышкой. Основание 1 установлено в крышку 5, и они соединены между собой посредством аралдитной смолы так, что контактные пластинки 7 контактируют с витками обмотки 3 и коллектором

4. Преобразователь со столиком 16 установлен выводами 2 и 19 в отверстия на жесткой печатной плате 20, и выводы соединены с токовводами на плате посредством припоя.

Столик работает следующим образом.

При повороте головки 11 винта винт 9, заключенный между боковыми стенками крышки 5, штифтом 13 завинчивается в сквозном резьбовом отверстии на торце каретки 6 и перемещает столик 16 и движок 8 с двумя парами контактных пластинок 7.

Прямолинейное перемещение контактов 7 по виткам обмотки 3 и по коллектору 4, а также столика 16 строго пропорционально изменению сопротивления преобразователя, При проведении измерений электрофизических характеристик исследуемый объект закрепляют над установочной плоскостью 17 посредством соединения выводов объекта с выводами 18 столика припоем, а противоположные концы выводов

18 подключают к задающей и измерительной радиоэлектронной аппаратуре, задают на прямоугольной двухкоординатной системе экрана монитора координаты посредством просмотра в оптический микроскоп исследуемого объекта, размещенного на установочной плоскости 17, и пятна от пучка электронов, падающего на объект перпендикулярно к установочной плоскости 17.

Заземляют столик 16 и крышку 5 для отвода статического заряда при случайном попадании электронного пучка на столик 16, установочную плоскость 17 или крышку 5 и возникновении на них электрических токов и электрических полей, которые отклоняют электронный пучок, воздействующий на исследуемый объект, и являются источниками наводок, приводя к искажению результатов измерений.

Предлагаемая конструкция столика позволяет повысить точность позиционирования образца по отношению к пучку электронов и автоматически зафиксировать координаты с помощью преобразователя линейных перемещений.

Формула изобретения

Предметный столик электронного микроскопа, содержащий основание, установ1636895

78 17 15

Составитель Д. Рау

Техред M.Ìîðãåíòàë

Корректор Т. Малец

Редактор И. Горная

Заказ 819 Тираж 320 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ленную в нем на направляющих каретку, соединенную с держателем образца и движком потенциометрического преобразования линейных перемещений каретки, выполненным в виде прямолинейного каркаса с обмоткой, коллектора и контактных элементов, закрепленных на движке, и механизм перемещения каретки, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения конструкции и увеличения точности индикации положения каретки, соединение каретки с движком выполнено жестким, а держатель

5 образца снабжен прямоугольной металлической установочной пластиной и двумя рядами электрических выводов, размещенных вдоль ее длинных сторон на изоляторах.