Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики

 

Изобретение относится к термическому оборудованию для производства изделий из металлокерамики и может быть использовано при высокотемпературной прецизионной термической обработке поликоровых подложек ин

СОЮЗ OOBKTCHHX

В Ю

РЕСПУБЛИК

„oSU„„

5 А1 (gg)g F 27 В 9/04, 9/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И 01НРЫТИЯМ

П И ГКНТ СССР

И ASYOPCHCNiIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4612908/02 (22). 05.12.88 (46) 23.05.91.Бюл. В 19 (72) Л.П.Иестернин, Г.И. Гладков, И.П.Рябов и О.А.Мельников . (53) 621.365.413 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР .Р 989288. кл. F 27 В 9/06, 1981, Авторское свидетельство СССР

Р 1264626, кл. F. 27 В 9/04, 1984.

2 (54) ТУННЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КЕРАИИКИ (57) Изобретение относится к термическому оборудованию для производства изделий из металлокерамики и может быть использовано при высокотемпературной прецизионной термической обработке поликоровых подложек ин1651065 тегральных схем. Цель — повышение производительности, качества и долговечности, расширение технологических возмджностей путем проведения в печи различных температурных процес5 сов термообработки. Электрическая печь содержит загрузочную камеру, нагревательную многозоняую камеру с боковыми нагревательными элементами 10

81 разгрузочную камеру. Транспортные футерованяые опоры 14, перемещающиеся по роликовому поду 15, снабжены в верхней части керамическими нагревательными контейнерами 16. В нижней части и сбоку контейнеров 16 установлены яагревательные элементы 18, а в центре установлена термопара 19.

Выводы 20 нагревателей 18 и выводы

Изобретение относится к термическому оборудованию для производства изделий из металлокерамики, преимущественно высокоплотной, в частности, лдя спекания изделий из материала

" Поликор", я может быть. использовано .при осуществлении высокотемпературной прецизионной. термической обработке C различных изделий, например, поликоровых подложек интегральных схем.

Цель изобретения — повышение производительности, качества и расшире35 ние технологических возможностей путем проведения в печи различных температурных процессов термообработки.

На фиг.1 представлена печь, общий вид, в разрезе; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1.

Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики содержит а рузочную камеру 1 с герме"<5 тичными затворами 2 и 3, толкатели 4, промежуточную камеру 5 с толкателем

6, нагревательную многозонную камеру, 7 с боковыми нагревательными элементами 8 теплообменник 9 и разгрузоч9

50 яую камеру 10 с затворами 11 и 12 с толкателем 13.

Транспортные футерованные опоры

14 перемещающиеся по роликовому по" ду 15, снабжены керамическими нагревательными контейнерами 16 в верхней

55 части опор коробчатой формы с крышками 17. Внутри контейнеров, в нижней и боковых частях установлены яагрева3

21 термопары 19 укладывают в пазы фу-теровки опоры 14 и соединяют с шина ми 22 и контактными шинами 23 термо-; пары. На боковых стенках нижней части корпуса нагревательной камеры установлены герметичные токосъемники

24 подачи тока на нагреватели 18 и токосъемники 25 снятия сигнала с термопары 19. Токосъемники 24 и 25 соединены электрической цепью с программной системой 26 нагрева и регулирования температуры контейнеров

Изобретение позволяет повысить долговечность работы печи путем увеличе ния межремонтного периода работы пе-, чи в 2-3 раза, а также повысить ка-! .чество термообработки за счет преци зионности процесса на 10-15X.. 2 ил. тельные элементы 18, а в центре его объема установлена термопара 19.

Выводы 20 нагревателей и выводы 21 термопары фкладдваются в пазах футеровки опоры и соединяются с шинами 22 нагревателей и контактными шинами 23 термопары.

На боковЫх стенках нижней части корпуса нагревательной камеры 7 уста-, новлены герметичные токосъемники 24 подачи тока на нагреватели 18 и токосъемники 25 снятия сигнала с термо- пары 19. Токосъемники соединены электрической цепью с программной системой 26 нагрева и регулирования температуры контейнеров. Изделия

27. подлежащие термообработке, укла- дываются внутри контейнеров 16 °

Туннельная печь работает следующим образом.

Изделия 27, подлежащие термообработке, укладываются внутри контейнеров 16 и закрываются крышками 17.

Футерованные транспортные опоры 14 с имеющимися контейнерами после открытия затвора 2 толкателем 4 помещаются s камеру 1 загрузки. После закрытия затвора 2 в камере производится замена атмосферного воздуха рабочей атмосферой печи путем вакуумирования и заполнения объема камеры 1

3 рабочей атмосферой.

После сравнения давлений в камере

1 и в печи затвор 3 открывается m

165

50

55,толкателем 4 контейнер перемеща ется на главный толкатель 6 промежуточной камеры 5. Толкатель 6 осуществляет периодическое проталкивание контейнеров 16 вдоль канала печи по роликовым направляющим 15.

В процессе проталкивания контейнеры подогреваются до температуры нагревательной камеры 7 через нагреватели 8 и при дальнейшем проталкивании (в зонах максимальных темпера гур} входят в контакт между токосъем" никами 24 и 25 и шинами 22 и 23.

В.процессе выстоя контейнеров (при холостом ходе толкателя 6) происходит включение программной системы нагрева, и нагревательные элементы 18 через термопару 19 устанавливают необходимую температуру спекания изделий с минимальным перепадом температуры ио сечению объема камерной секции.

В зависимости от периодичности загрузки контейнеров в печь и.времени нахождения иэделий при максимальной температуре количество температурных зон, снабженных программными сис-! темами нагрева и токосъемниками, может бьггь несколько.

После окончания режима спекания контейнеры 16 охлаждаются в теплообменнике 9 и устанавливаются перед затвором 11 камеры разгрузки 10.

После открытия затвора 11 толкате-, лем 13 контейнер переносится в камеру

10 разгрузки, где происходит продувка рабочего газа защитным газом, затем осуществляется вакуумирование защитного газа и напуск атмосферного воздуха, после чего затвор 12 открывается и контейнер толкателем 13 вы-, талкивается из него. Затем цикл работы печи повторяется.

Использование предлагаемой печи позволит повысить производительность процесса термообработки изделий из материала "Поликор" в 3-5 раэ за счет создания в контейнерах более стабильной температуры по сечению камеры, при этом создаются условия для более полного заполнения по высоте объема обрабатываемыми изделиями, повысить долговечность работы печи путем увеличения межремонтного периода работы печи в 2-3 раза за счет увеличения срока службы нагревательных элементов, установленных на боковых стенках нагревательной камеры печи, так как они

1065 6 создают общий температурный фон и предварительный подогрев контейнеров до температуры на 150-200 С меньшей, чем в рабочем объеме контейнеров.

Поэтому стойкость нагревательных элементов печи возрастает в 2-3 раза.

Качество термообработки за счет прецизионности процесса повышается на 101О

Нагревательные элементы, расположенные в контейнерах, находятся под воздействием температуры спекания и по условиям эксплуатации чаще вы15 ходят из строяp однако IlpH этом с03даются условия, при которых ремонт контейнеров (эамена нагревательных элементов) не вызывает остановки печи и может производиться эаблаговре20 менно.

Технологические возможности тер.— мического оборудования предлагаемой печи расширяются sa счет обеспечения раэнообразности технологических режи25 мов термообработки, которые могут вестись одновременно в различных контейнерах при управлении температурной кривой каждого отдельного процесса.

30 Печь в этих условиях может одновременно с высокой воспроиэводимостью параметров осуществлять термообработку различных изделий с различнымн температурными кривыми, тем самым обеспе" чивая мобильность при многономенклатурном производстве различных изделий иэ высокоплотной керамики .

Формула изобретения

Туннельная электропечь для термообработки иэделий иэ керамики, содержащая корпус с последовательно расположенными в нем камерой загрузки с затворами и толкателями, промежуточной камерой, футерованной многозонной камерой с нагревательHblMH элементами и теплообменником, разгрузочной камерой с затворами, устройством транспортировки иэделий в виде футеровочных опор, роликовым подом, систему подачи газа, систему нагрева и регулирования температуры по зонам камеры, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности, качества и расширения технологических возможнос, тей путем проведения различных температурных процессов термообра1651065

t

Составитель Ю. Усатый

Техред С.Мигунова Корректор Н.Ревская

Редактор А.Козориз

Заказ 1599 Тираж 397 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101 ботки в одной печи партий изделий, она снабжена расположенными в нижней боковой части корпуса печи гермовводами с токосъемниками связанными с системой нагрева и регулирования температуры, устройство транспортировки изделий выполнено в виде установленных на футерованных опорах кон тейнеров с размещенными в них нагревательными элементами и термопарами, 5 и электрошинами, расположенньии в нижней части опоры и соединенныки с нагревательными элементами и термо; парами.

Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики Туннельная электрическая печь для термообработки изделий из керамики 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к термическому оборудованию, в частности к туннельным печам для термообработки керамики при 1500&deg;С

Изобретение относится к устройствам для спекания изделий из металлического порошка, преимущественно длинномерных изделий

Изобретение относится к производству абразивного инструмента и может найти применение в других отраслях промышленности, связанных с процессами термообработки изделий с органическим связующим

Изобретение относится к оборудованию для термообработки изделий, применяемому, например, в металлургической и металлообрабатывающей промышленности

Изобретение относится к оборудованию для термической обработки деталей цветных кинескопов в контролируемых атмосферах

Изобретение относится к туннельным печам для термообработки изделий из ферритовых порошков

Изобретение относится к проходным электропечам для непрерывной химико-термической обработки

Изобретение относится к печи для термообработки углеродистых материалов

Изобретение относится к порошковой металлургии, ,в частности, к способам и устройствам для нагрева порошковых деталей под горячую штамповку

Изобретение относится к конструкции проходных электропечей для термообработки изделий с охлаждением в воде, вакуумном масле или защитной среде

Изобретение относится к металлурпетескому оборудованию, в частности к промышленным печам для термообработки заготовок

Изобретение относится к области электротермии, в частности к способам обработки керамических изделий в электропечах
Наверх