Способ получения ультрадисперного порошка а @ n

 

Изобретение относится к способу получения ультрадисперсного порошка нитрида алюминия, применяемому в радиотехнической и электронной промышленности в каче стве материала для подложек интегральных схем, и позволяет путем карботермическою восстановления азотирования при 1200 1400°С гранул у АЬ Оз с размером частиц 0,01 - 0,1 мкм, полученных криохимическим методом с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 500°С и давлении 4 Па в течение 5 ч и пропиткой их водным раствором сахара, получать ультрадисперсные частицы нитрида алюминия высокой чистоты , использование которых в технике позволяет снизить температуру спекания и повысить качество керамических подложек интегральных схем. 1 з.п.ф-лы, 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 С 01 В 21/072

ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ql

Ф.

Ql

00 (21) 4451618/26 (22) 23.05.88 (46) 07.06.91, Б юл. ¹ 21 (72) А.А.Михайленко, Ю,Г.Гогоци и О.К.Руденко (53) 621.762 (088.8) (56) Косолапова T.ß., Яковлева Д.С.. Олейник Г.С. и др. Порошковая металлургия, 1984, N.. 11, С 14 — 19. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАДИСПЕРСНОГО ПОРОШКА AIN (57) Изобретение относится к способу получения ультрадисперсного порошка нитрида алюминия, применяемому в радиотехнической и электронной промышленности в качеИзобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению порошков нитрида алюминия, имеющих широкое применение в радиотехнической и электронной промышленности в качестве подложек для гибридных интегральных схем.

Целью изобретения является получение ультрадисперсного порошка нитрида алюминия высокой чистоты.

Пример. Смешивают углеродсодержащее вещество в виде водного раствора сахара с частицами у = Alz Оэ размером

0,01 — 0,1 мкм и проведением процесса карботермического восстановления — аэотирования в атмосфере азота высокой чистоты при 1200 — 1400 С. Гранулы оксида алюминия готовят диспергированием водного раствора соли сернокислого алюминия в жидкий азот с размером капель 400 — 800 мкм с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 — 500 С при давлении 4 Па в течение 5 ч..„.. Ж 1654258 А1стве материала для подложек интегральных схем, и позволяет путем карботермическо о восстановления аэотирования при 1200

1400 С гранул у = Alz Оз с размером частиц

0,01 — 0,1 мкм, полученных криохимическим методом с последующей сублимационной и вакуумной сушкой при 200 - 500 С и давлении 4 Па в течение 5 ч и пропиткой их водным раствором сахара, получать ультрадисперсные частицы нитрида алюминия высокой чистоты, использование которых в технике позволяет снизить температуру спекания и повысить качество керамических подложек интегральных схем. 1 э.п.ф-лы, 1 табл.

В таблице приведены сравнительные данные по дисперсности и чистоте получаемого продукта предлагаемым способом по сравнению с известным.

Видно, что предложенное техническое решение обеспечивает получение ультрадисперсного порошка нитрида алюминия с размером частиц 0,01 — 0,1 мкм и содержанием связанного азота, близким к стехиометрическому составу, в то время как по известному способу не достигается полное насыщение алюминия азотом и получаются более крупные (1 — 3 мкм) частицы конечного продукта.

Формула изобретения

1. Способ получения ультрадисперсного порошка AIN, включающий смешение частиц у — А2 Оз с углеродсодержащим веществом, с последующим карботермическим восстановлением — азотированием при температурах 1200 — 1400 С в потоке азота высокой чистоты, отличающийся тем, что, с

1654258

Составитель И. Спивак

Редактор В. Бугренкова Техред М.Моргентал Корректор О. Кундрик

Заказ 1927 Тираж 306 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 целью повышения дисперсности и чистоты получаемого продукта, смешение частиц у — AI2 03 с углеродсодержащим веществом ведут пропиткой пористых гранул из частиц у — А120з раствором углеродсодержащего органического вещества, используют частицыg — М Оз размером 001 — 0,1 мкм, полученные из раствора АЬ(564) в процессе его диспергирования в среде жидкого азота, сублимационной и вакуумной сушки при нагревании полученных криогранул размером

400 — 800 мкм и термообработки, 5 2.Способпоп.1,отличающийся тем, что процесс вакуумной сушки ведут при температуре 200 — 500 С и давлении 4 Па в течение 5 ч.