Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки

 

Изобретение относится к изготовлению ядерных и фильтровальных перегородок и позволяет достигнуть повышения точности изготовления фильтровальной перегородки за счет устранения неплотного прилегания никелевой маски к облучаемой пленке на всей ее рабочей площади. Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки содержит никелевую пластину с микронными отверстиями в ячейках ее опорной сетки, причем пластина снабжена ферромагнитными ребрами жесткости, расположенными по периметру и вдоль перемычек опорной сетки, образующими замкнутую жесткую решетку. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИ Ч Е С К ИХ

РЕСПУБЛИК

gs»s В 01 0 39/14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ВСЕСОЮЗНАЯ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4689051/26 (22) 17.03.89 (46) 07.08.91. Бюл. М 29 (71) Ленинградский кораблестроительный институт (72) Н.Ф, Галицкий и Е.Д. Воробьев (53) 66.067,32 (088,8) (56) Вансовская К.М., Волянюк Г.А. Промышленная гальванопластика. — Л,: Машиностроение, 1986, с. 72. (54) СЕТЧАТАЯ МАСКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛЕНОЧНОЙ ФИЛЬТРОВАЛЬНОЙ ПЕP Е ГОРОДКИ

Изобретение относится к ядерной и фильтровальной технике и может быть использовано для изготовления ядерных и,фил ьтровал ьн ых перегородок, Целью изобретения является повышение точности изготовления перегородки, На фиг.1 изображена сетчатая маска, общий вид; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 — отверстия внутри ячеек опорной сетки маски.

Сетчатая маска содержит никелевую пластину 1 микронной толщины,в которой методами гальванопластики изготовлены по фотошаблону с хромовым покрытием прочная опорная сетка с перемычками 2, а в квадратных ячейках — отверстия, вдоль периметра и перемычек 2 установлены ферромагнитные ребра 3 жесткости, которые закреплены слоем осажденного никеля 4 или с помощью брезинг-процесса и образуют замкнутую жесткую решетку. Такая решетка может быть изготовлена заранее и

„„SU 1667902 А1 (57) Изобретение относится к изготовлению ядерных и фильтровальных перегородок и позволяет достигнуть повышения точности изготовления фильтровальной перегородки за счет устранения неплотного прилегания никелевой маски к облучаемой пленке на всей ее рабочей площади. Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки содержит никелевую пластину с микронными отверстиями в ячейках ее опорной сетки, причем пластина снабжена ферромагнитными ребрами жесткости, расположенными по периметру и вдоль перемычек опорной сетки, образующими замкнутую жесткую решетку. 3 ил, закреплены указанными способами в готовом виде.

Маска устанавливается на лицевой стороне пленки 6 своей плоской неоребренной стороной, затем совмещается с окном амбразуры циклотроны и закрепляется длинной стороной 5 на рамке обоймы плоских магнитов 7. Последние притягивают ферромагнитную решетку к себе и она в силу жесткости плотно прижимает всю никелевую пластину к пленке 6, опирающейся на плоскость магнитов 7. Таким образом обеспечивается полное плотное прилегание никелевой пластины на всей рабочей площади пленки 6.

После облучения ионами пленка 6 перемещается перемоточным аппаратом на расстояние, равное ширине опорной сетки в никелевой пластине, и вновь подвергается облучению. Этот процесс повторяется до получения заданного количества пленочной ядерной фильтровальной перегородки, По1667902 сле травления треков и нейтрализации в пленке образуются сквозные отверстия, точно повторяющие отверстия в никелевой пластине.

Сетчатая маска позволяет выпускать пленочную ядерную фильтровальную перегородку, например, при 5 мкм поперечных размерах прямоугольных отверстий с прозрачностью 60, при которой пропускная способность ядерного фильтра увеличивается в 6 раэ, а гидравлическое сопротивление уменьшается в 15 раэ по сравнению с фильтровальной ядерной перегородкой, выпускаемой в настоящее время с круглыми отверстиями диаметром 5 мкм. Применение таких фильтровальных перегородок сэкономит значительное количество материалов, электроэнергии и топлива в народном хозяйстве, затрачиваемых на изготовление и эксплуатацию многочисленных фильтровальных устройств, Формула изобретения

5 Сетчатая маска для изготовления пленочной фильтровальной перегородки, содержащая никелевую пластину микронной толщины со сквозными микронными отверстиями в ячейках ее опорной сетки, приле10 гающая к лицевой стороне пленки, на обратной стороне которой установлены плоские магниты, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности изготовления перегородки, пластина снабжена

15 ферромагнитными ребрами жесткости, расположенными по периметру и вдоль перемычек опорной сетки, образующими замкнутую жесткую ре шетку.

1667902

Фиг. 2

Фиг З

Составитель К. Юлда шева

Техред М.Моргентал Корректор И.Муска

Редактор М.Бланар

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2601 Тираж 122 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5