Вакуумный крионасос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить давление запуска крионасоса. В корпусе 1 внутри экрана (Э) 5, установленного с зазором 11 относительно фланца (Ф) 14 первой ступени 3 криогенератора (К) 2, расположена криопанель 6, закрепленная на второй ступени 7 К 2. На Э 5 и Ф 4 закреплены два сильфона 8 и 9, образующие замкнутую полость (П) 10, заполненную газом и сообщенную при помощи капилярной трубки 13 с герметичной камерой (ГК) 12, закрепленной на второй ступени 7 К 2. При запуске крионасоса Э 5 первоначально не охлаждается, что снижает нагрузку на К 2 и позволяет осуществлять запуск с более высокого давления. Э 5 охлаждается после охлаждения Гк 12, конденсации газа в П 10 и деформации сильфонов. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

В!

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ 1 СКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3 о о

00 4

ЬЭ (21) 4691090/29 (22) 10.05.89 (46) 07.08,91.Бюл. М 29 (71) Омское научно-производственное объединение микрокриогенной техники "Микро криогенмаш" (72) В.M.Èëüèí и -Н,В.Тятюшкин (53) 621.528.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

tk 1032215, кл. F 04 В 37/08. 1982. (54) BAKYYMHbIA КРИОНАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить давление за. пуска крионасоса. В корпусе 1 внутри экра. на (Э) 5, установленного с зазоррм 11

„„ЯЦ„„1668722 А1 (я)з 04 В 37/06

F !

6ЩВ относительно фланца (Ф) 14 первой ступени

3 криогенвратора (К) 2 . расположена криопанель 6, закрепленная на второй ступени 7.

К 2, а Э 5 и Ф 4 закреплены два сильфонэ

8 и 9, образующие замкнутую полость (П) 10, заполненную газом и сообщенную при помощи капиллярнрй трубки 13 с герметичной камерой (К} 12, закрепленной на второй ступени T К 2. При запуске крионасосэ Э 5 перврначально не охлаждается, что снижает .нагрузку на К 2 и позволяет осуществить запуск с олее высокого давления. Э 5 охлаждается после охлаждения ГК 12, конденсации газа в П 10 и деформации сильфонов, 1 з,п, ф-лы, 1 ил.

1663722

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции вакуумных крионэсосов.

Цель изобретения — повышение давления запуска насоса;

На чертеже представлена схема крионасоса.

Вакуумный крионасос содержит корпус

1 с двуступенчатым криогенератором 2, первая ступень 3 которого имеет теплопроводный фланец 4, и расположенные в корпусе 1 внутри охлаждаемого теплозащитного экрана 5 криопанель 6, закрепленную на второй ступени 7 криогенератора 2, и два сильфона 8 и 9, замкнутая полость 10 между которыми заполнена газом. Теплозащитный экран 5 расположен с осевым зазором 11 относительно теплопроводного фланца 4 первой ступени 3 криогенера1ора 2, нижние торцы сильфонов 8 и 9 герметично закреплены на экране 5, верхние — нэ первой ступени 3 криогенератора

2, а вторая ступень 7 криогенератора 2 снабжена герметичной камерой 12, сообщенной с замкнутой полостью 10 сильфонов 8 и 9 при помощи капиллярной трубки 13. Осевой зазор 11 имеет величину, не превышающую величины осевой упругой деформации сильфонов 8 и 9 при конденсации газа, заполняющего кольцевую полость 10. Кроме того, на внутренней поверхности криопанели 6, обращенной к второй ступени 7 криогенератора 2, расположен адсорбент 14..

Крионасос работает следующим образом.

После откачки внутренней полости корпуса 1 крионасоса до давления запуска включается криогенератор 2. Экран 5 и проводной фланец 4 разделены зазором 11, а сильфоны 8 и 9 имеют высокое термическое сопротивление, что обусловливает незначительную тепловую нагрузку на первую ступень 3 криогенератора 2. По мере понижения температуры криопанели 6 с адсорбентом 14 происходит откачка газа и понижение давления в полости корпуса 1.

При достижении криопанелью температуры, достаточной для конденсации газа, заполняющего полость 10 сильфонов 8 и 9, происходит деформация сильфонов, зазор

11 ликвидируется и возникает тепловой контакт между фланцем 4 и экраном 5, обеспечивающий охлаждение экрана 5.

Опережение во времени процесса охлаждения экрана процессом вакуумирования позволяет производить запуск крионасоса при повышенных давлениях.

Формула изобретения

1. Вакуумный крионасос, содержащий корпус с двуступенчатым криогенератором, первая ступень которого имеет теплопрово5

20 дящий фланец, и расположенные в корпусе внутри охлаждаемого теплоэащитного экрана криопанель, закрепленную на второй ступени криогенератора, и два сильфона, размещенных один в другом с образованием замкнутой полости, заполненной газом, 25 отличающийся тем, что, с целью повышения давления запуска, теплоэащитный экран расположен с осевым зазором относительно теплоп роводного фланца первой ступени криогенератора, нижние торцы

30 сильфонов.герметично закреплены на экране, верхние: —.на первой ступени криогенерэтора, а вторая ступень криогенератора снабжена герметичной камерой; сообщенной с замкнутой полостью сильфонов при помощи капиллярной трубки.

2. Крионасос поп.1,отличающийся тем, что осевой зазор имеет величину, не превышающую величину осевой упругой деформации сильфонов при конденсации газа, заполняющего замкнутую полость.

Составитель В,Кряковкин

Редактор Н.Лазаренко Техред М, Моргентэл Корректор О.Ципле

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород. ул.Гагарина, 101

Заказ 2642 Тираж 350 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5