Полосковый пьезоэлемент

 

Изобретение относится к пьезотехнике и может использоваться при разработке миниатюрных кварцевых резонаторов. Цель - повышение добротности и технологичности полоскового пьезоэлемента. Пьезоэлемент содержит пьезоэлектрическую пластину 1 АТ-среза прямоугольной формы, на главных гранях которой размещены возбуждающие электроды 2 и 3. Наличие в пьезоэлектрической пластине 1 прямоугольных выемок 4 и 5, размещенных на противолежащих главных гранях симметрично относительно пьезомеханической оси Z обеспечивает отражение части энергии и локализацию ее в подэлектродной области, за счет чего увеличивается добротность пьезоэлемента. Глубина выемок выбрана равной половине толщины пластины, поэтому выполнение выемок и оконтуривание пьезоэлектрической пластины 1 производится фотолитографическим способом за одну операцию. Это способствует повышению технологичности пьезоэлемента. 2 ил.

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к пьезоэлектронике и может быть использовано при разработке и изготовлении миниатюрных кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение добротности и технологичности. На фиг. 1 представлен полосковый пьезоэлемент, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху. Пьезоэлемент содержит пьезоэлектрическую пластину 1, возбуждающие электроды 2 и 3 и прямоугольные выемки 4 и 5. Пьезоэлемент работает следующим образом. При подаче на возбуждающие электроды 2 и 3 высокочастотного напряжения, соответствующего рабочей моде, колебаний, в подэлеткродной области пьезоэлемента 1 устанавливается стоячая волна тока, часть энергии которой рассеивается на торцевых гранях пьезоэлектрической пластины 1. Наличие в пьезоэлектрической пластине 1 прямоугольных выемок 4 и 5, размещенных на противолежащих главных гранях симметрично относительно пьезомеханической оси ZI, обеспечивает отражение части энергии упругой волны, распространяемой в направлении пьезоэлектрической оси Х, и локализацию большей части этой энергии в подэлектродной области пьезоэлектрической пластины 1. При этом уменьшаются потери, что обеспечивает снижение динамического сопротивления и увеличение добротности пьезоэлементов. Благодаря тому, что прямоугольные выемки имеют глубину, равную половине толщины пьезоэлектрической пластины 1, пьезоэлемент удобен для применения фотолитографическогго способа его формообразования, при котором полосковые пьезоэлементы получают групповым методом путем маскирования и последующего сквозного протравливания по контуру полосок и частичного протравливания незащищенной части поверхности. В результате образуются прямоугольные выемки. Таким образом, формообразование и оконтуривание пьезоэлектрических пластин 1 производится одной операцией и это обеспечивает повышение технологичности пьезоэлемента. Практически пьезоэлементы были изготовлены из кварца на пьезоэлектрических пластинах АТ-среза от 3,0 до 4,4 на частоту 4 МГц. Результаты измерения динамического сопротивления и добротности показали, что пьезоэлементы полосковой формы с дополнительными прямоугольными выемками имели эти параметры на 30-35% ниже, чем пьезоэлементы без выемок, но с фасками на торцевых гранях. Таким образом, выполнение со стороны торцевых участков каждой из главных граней пьезоэлектрической пластины симметрично оси ZI прямоугольных выемок, соотношение глубины которых с толщиной пьезоэлектрической пластины выбрано равным 0,5, обеспечивает повышение добротности и технологичности полоскового пьезоэлемента. (56) Справочник по кварцевым резонаторам. /Под ред. П. Г. Позднякова, М. : Связь, 1978, с. 182-185. Патент ФРГ N 2934091, кл. Н 03 h 9/14, 1980.

Формула изобретения

ПОЛОСКОВЫЙ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТ, содержащий пьезоэлектрическую пластину АТ-среза, прямоугольной формы, продольная ось симметрии которой совмещена с кристаллографической осью X кристалла кварца, на главных гранях которой размещены возбуждающие электроды с выводами, отличающийся тем, что, с целью повышения добротности и технологичности, со стороны торцов пьезоэлектрической пластины на каждой из противолежащих главных граней симметрично относительно оси Z1 выполнены прямоугольные выемки, соотношение глубины каждой из которых с толщиной пьезоэлектрической пластины выбрано равным 0,5.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 10-2002

Извещение опубликовано: 10.04.2002        




 

Похожие патенты:

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к пьезоэлектронике, и может быть использовано в качестве частотозадающего элемента в высокостабильных кварцевых генераторах

Изобретение относится к технике СВЧ и может быть использовано в качестве частотозадающего элемента в генераторах СВЧ

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в устройствах частотной селекции сигналов

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при разработке кварцевых генераторов

Изобретение относится к электронной технике и может использоваться в качестве частотозадающего элемента в кварцевых генераторах и фильтрах

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в технике кварцевой стабилизации частоты

Изобретение относится к радиоэлектронике и может использоваться в измерительной технике в качестве пьезорезонансного датчика

Изобретение относится к области радиоэлектроники

Изобретение относится к изделиям пьезотехники и может быть использовано при создании электроакустических устройств

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано для непрерывной (плавной) перестройки частоты высокостабильных источников колебаний

Изобретение относится к области радиоэлектроники

Изобретение относится к области пьезотехники, а именно к пьезоэлектрическим резонаторам

Изобретение относится к изделиям пьезотехники и может быть использовано при создании устройств на объемных акустических волнах в диапазоне частот 600 кГц - 25 МГц

Изобретение относится к области измерений механических параметров, использующих силочувствительные электромеханические резонаторы

Изобретение относится к области радиоэлектроники, в частности к пьезотехнике, и может быть использовано при разработке и производстве пьезоэлектрических резонаторов

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано при разработке кварцевых резонаторов двухповоротных срезов для генераторов высокостабильных электрических колебаний
Изобретение относится к области пьезотехники и может быть использовано при производстве пьезоэлектрических резонаторов, работающих на объемных акустических волнах с толщинно-сдвиговыми колебаниями и предназначенных для применения в радиоэлектронных устройствах стабилизации и селекции частоты

Изобретение относится к области электротехники, в частности к прибору кварцевой стабилизации частоты, и касается кварцевых резонаторов
Наверх