Способ определения содержания молекулярного компонента в атомном пучке

 

СОК33 С>".>ВЕТСНИХ

СОЦИА.П!.1СТИЧЕСНИ X

РЕСПУБ >1ИН. 1) 1 П1 1,9, 26

ОПИСАНИЕ ИЗОЬРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ гв,1нл, с ОСУДАРСТ РE-IHE,ô 11 — >„(111т>: —, E lO ИЗОБРЕТЕНИЯМ (" ";Цр т Щ171

ПРИ ГНИ> СССР

, 2. 1 ) 1 -4 6 8 9 > > 2 1 (22> 26 09 RH (46) 15, 1П>9 > 1:, "., 1Р 71) УжГ(3родс1«(С НC.T .«Te 11", т>н, Га (ядерных исслел 313аний А}i (1. (I (72) A,EI.Ж>уксв, А. 11. » вн". пу..i->, А,H,ÑHåãóðñêèT . и 1>.E. „Eliïeíè>( (53) 62 1 ° 384 (С)с> с,, >>) (56) iie1 e i Д т, А, i .>н 1 1 1 . Кий > i1 али i вовду B Л,: " и "TH((1.> j < { 5

Гь(со .н А A, в 1" 1 к 1-" ма1,(и>1кгх Xñ i-:;1(>F!(>i: .."1: "нерг(:ат >ми дат, 19P„;, с, 6 ("4) CII ., .(Ü OEII> 1> *i TII!H (»» »1»1(«><-TEF

;11) 1Е К"."11 нП1, 1 (, t, > ., 1(i>1 ;,EТА (ч q q с1;.111с>М

ПУЧКЕ (57) Ивобрет .»:- .а< ае: я м.>:-(-cпек(—

„„, Я0„„1684 8ц 0 рометриче(l((I авали 3а го< тава п т:— ко13 нейтральн((х частиц, в частн< . ти

НРоДУКт ОВ ДИС СС.ЦИаЦИИ М< .>1Е1. . >1ЯР Н1,.:

1со>н; 3нентов, Целью и 3 >бре 1 < н>ся ял >>T— ется IT()вк>п>ение точи(с тн >нре;(ес>t 111 я

c (3äåðæë ТТТ1ТТ молекулярнс г(i .;, 1пс не (т 3

13 ат.3мном пучке, Иссле;1уемья> пучок вн:-пят в область ионина>н>н пернен;1н1(уляр1 о средней траектс ни ис нс в, а на входе в масс-аналича;ор « со.— и;>к -, с помошью электр<3да> 8 п<.>(1>аc3 ь, :3к13нн(".> енциальнук> отнесен ельне об—

Ла . ТИ Н(>НИЗаЦИИ, ТаКИМ об>р» 3ОМ, В ан;:лизатор попадают толлк< прод;:«:т;i

ДН<:С <>ЦИ >НИИ ИССЛРДУРМЬ(Х . 1оп:" К, Л, П -оцсг канин м(,лскуляр>1 ., мп н с; дят по величине т T,(1, фД1>аглсенP(: i l ill!! ((llOl lf (<. Я К Г;(Ь>) l

>. l :,ме . (;и (< I ul Hi!

0 ()Г>)l 1» С>Ь <>Н ЕI : !> 31()Н(: I " >5 l;l (. Ill)("1< I f> I У f(I uн Л 1(С < 01» I f ll; I>i (с>л . Ку >ярных кампонеll Т, и может нлити;(ри fcftpf»fte .» эаллчлх исследования

<. )(1 лнл пу((кс н атомных частиц по)(у—

) (ЛЕМЫХ ДИССОЦИЯПИЕй ИСХОДНЫХ МОЛЕкул и 11(ир<кс> исп<)льэуемых в физике гто«кновений, в областях науки и тех(н(ни, связанных г проблемой получе«1 я и у;(ержлния 1(J!IH3bfb! в том числе

1(рм<>я>(<:р>»ой, (де имеетгя необ-. .;(>Ли>«)(. 1 l ь Он > POJIH сucT((Etл и>lжекти f 5 !

>V(МЫХ I3 11:I 1 3 ?< > IIУЧКОВ EITOMOB И СО

lI, fl

;fc рж>1(ilfя f» III!х холo«íû) моffcкуляр—

НЫ: ilP(I)(ЕСЕИ, 11P!(ь(«зобретения является павыIilplll!(точности масс-спектрометричес) ° кого < пре;I(J;е(шя сапеpi«.;((1(I»R молеку—

3(яр((с) го кnl(lio«pi! TH в пучке атомных

40 (ЛГ1 !(Ц .

1!я <1 и(, 1 ((риведеня схема устройс т(»л, pp H ги »уf>!1(0(.0 длинь(3(способ ( нл фиг. ) — масс †. спектры пучка атаMuf лргонл при ариентапии исследуем ) го пу (к 1 н„(1!L, оси масс-спектрометря ((1>l(E, 2а) и в и(рпен;!икулярном напрлвлении (фи! „ 2с>); нл фиг. 3 млсг — гпектр пучк-l молекул я»ота в c!lóчяе ввода пучка в ионный источник вдоль оси полости масс-спектрометра (фиг. !а) и в перпен;(икулярном нлпpaE3JIe Hit(I (фиг, ) б), Устройство д;>я реа:«»за«и?(способа (м. фиг. 1) с O,,ержит кол:(иматор 1 атомного пучка ", электронную пу(цку ), лнл:гизлтор м;1< г.-с.пектраметрл ч, ко) IJI(кт()p >) !(Онов, и»меритсль б ис и—

H0 I O ТС)КЯ ПЛОГКИЙ I(0 f1)tC HC ЛТ АР ) вход?(ую ще;(ь о (1.(гг — с((ектраметра.

Спа(Об О(У(я(< тi»Jt)1!)ÒÑH Слгд7юЩим абрлэом.

11) чок <ггомов с мо:Ict(ó I)(pi(bi (к

EEOffP ((T0M (0.i! fili!« РУЮ(Ь ОЛ !»МатuPull и нл«р.»в <Як>", tl и. чник 1(ОP—

Ма«ЬE!O QC«ЛН.IJ«(зл > РЛ МЯСC ÑÏÅÊòÐOме 1 Р 1 )(?3 к ) т01)c > R хаДП;1 Я (!(с. I!) ( находит(?, (1- Т:.((((ялов(оглясти !

»0?<1; ; 3>! l fr> ° (С. r 1 I(T< > (н(>1 >3 < > I к т

pO1Ifl .й(« ", „1,ill!:...:. r "Г.:"ке

i)pit IJ > (3(If fu>, l! .i 1 l («- с :1(д . < MO f 0 .1уч—

КЛ li .ТР< »(1»Ы<(., ЧК! M IIPr>H< ;, ДЯ Г адно((><о >lв:l 11)r>il(< Я: H<>1111» ill«ll

КОМПО >! Е f(Г 11) (>ь -. i >)lr. "")",ИЯЭ 11131! ЛЯ

Н0 lfH3(l Igt Я Ма !P iã. !()t 1»< ) j 0 OM;»C) ) ) ("

P)CffC!I(l "И< ст 1 O I <> 1 ГС (ill b( ()(, )() Г IIP<(С., I (I: ) fl,i ГЬ и, l>1 ГP! ) < )-1I <) 4< !P II< Гr> I! Olff f0 ftf «1 Л С>ГКОГ1К И

><р )«сл !11<(с оцилтивной ис>ниэапии и ион(<г)3(c?;);)(я! ного кол<панентя, Если

» (л" 1, нл I»x<>J(e E» магг-гпектрометр (кви«отенцилл(,ную обл;(сть (потенциал (»ход«с)й ц(е,((?(<) равен потенциалу области иони.»ации), то при 1. )) F ° + (<

Е, ионы атомной и молекулярной компонент будут распре,)елены преимуыествеHHQ 13 « IocfcucTH пересечения ну(ко!» и в анализатор масс-спектромет> л напасть tfe гмо(,т »J(pcb Е t е °

Е, 1 — энер(«и элек (роно(1, ионн »ли((и и f«»c са«нации компонентов пучка

0 тНС (., .:if(rl. 1та КЛСаЕтея ИОНИЭИ— за(<я««>,,л : . 1(тов мо Ipкулярной та их распределение г . >,. Il 1(зотрОПНЫм По гплм, (то п<)зволяеT части их гb в анализатор масс-с«-Г,tf(II (обрл(»ом, 1!(3ñ Ip, (с <— гг нл пропускяние ианов,,,<1ì< Il го! 1(измеряя ток этих ионов к(>:IJIpfi T(.; .1 с помо(пью измерителя б

:.toH«c)t o Tu f, !la;но определить содер»:лние малекуляр(огo кампалеilT;l н игхадном пучк . «л"(сечение прс « га

1(ftccnl(Ita THE3fIoI» иониэяци!» при ) н< ргии Е р электpllff()H мох<но (fl -,: -1) icl

r»!P(lI< >if TI чи(ff<) M<)JI<- кff Jl 1» и< хс)TIE(0M

11 ) ЧКP

i;pc1btp Т0Е 0, пс> данному спогобу диагностируемь!((пучок бес. Препятственно прохс лит через ион«1(й игточник и н длльнейюеfl может транспортироватьгя Iio нл <нлчению, ПрисутстВ <Ю(1(?(Е НЯ ВЫХОПЕ IIÓ×ÊH ИЭ ИОННОГО ИС— тс чник;> (» нл.(рл(»)(енин первона)(лльной (ГО тРЛЕКт:>РI»И r»PГ(ж(IIØ(Е ЧЛСтИ Ibl )) Д Л Л Я Ю Т .() Л Г К Т P H (l (С 1. И((П () Л Г M ПЛ 0 С К О гс ксн.(енсаторл 7, расположенным на ((ути следования пучка 2 за ионным источникам 3 (фиг, 1), Реализация способа иллюстрируется

«!Ив< )(енш (ми EIEI фиг, 2 и ) JIBI(Hb(MH, Та(; с?(, (»«1, 2, !» глучае ориентации исси(-дуемОГ o и) чкя H;tu 1! Оси масс с(pl.òðuìåòðll ("OI Hc«î прототипу), f3 M1лс с с пс к тp < t!,) (. Оl . )Iдd() l Г!и(с ас) го на фиг,,, -:. при ор!(Снтл!Гии нуч(;л )

И МЯ СГ Г П(1 Г < Р 1) 1 P;i 1 i 0 ! i: flu() CI>O— (. Об () ((1>и . . ) > 0 т ) >! к (; тс") г<- тl»усT ° )10 гвидетс чь<:твус г -, том. что в да »нn < C пас,6< >.ТO ..tet!.> i(.::. я l . т . Яю(пая

lI< )(C!J(ff0I 0 Г()ГЧI(d 1(f P(I ИС ТРИР",С ТСЯ ftB (»ыходе масс-спек)(> ."..тра. Фиг. 3 под-:.1 сг>ждлс . ф;(?;т р(-t »c .рации продуктов процес<а диссо>(ил.гивнои ?(онизации, 11!1,1 1 Н 111 кс>спонента °

111>r r т c к яп 11(c

1 11с 1>ри с ригнтяттии 1 учкя согласи<

> прототипу (см. фиг, я)> в массспектре ;треобляляет ник исходного пучка молекул л <с та, .Заметно пригут— .тpt!» и тт>НОВ ЛтСМЛрНОГО аЗОтя, П6р >зуюп<ихгя H пр< !ессе лисс< нилтивной 1птттх . Я ттт>отт т:>М ПГ> Я Эй ИОНИзяттИИ Л т >МЛР—

; ...г .. Компот;-нт". 11ри с.су>Пес TI> .Рнии

1tt><-Л»»ожени.>гМЯРНЫЙ КОМПОНЕНТ приче и и;, ны N, р е гис трируемые в э том случае, возникак>т тол».ко в процессе писс с>тти 1тив ной ион из л1< ти, Кяк видно из фиг, 2 и 3, данный гпоссб .тозво:тяет стдепи ь -игн 1:т пс:рвоначапьн ?rc атомного ком сонента лучка от сигт:ллл, нес »ппего информа— цию о сопержании молекулярнс>1

Таким обр lnnì, дянтый способ позволяет определить содержлни м .1»екупярн,?го компонента в атомном пучке продуктов диссо<тияции молекул с высо сой степенью точьс>сти, поскольку влияние фонового атомарно1 о IcoMIIc?Hp»1та п чк 3 свопитс »I к мине1

Ф с 1 и с :: л 1< ll т, ттогоГ с?ттреде..<ения гс.;тс рж, 1111 молекулярного кс?м<тонен т л н 11«< 11<<»1

5 пучке, вт.чючлюптий r

HpHT ) I1 ионный исто 1 пик мл г с г11гк т рометрл, ионизлцию частиц пучкл в ион>тот источнике электронным у»1 ром, ря 3ä<ление ионов àHàëè3HT lð<м млcс— спектрс метра пс отнотпенип? зярялл к млгсе и измерение тока иот ов нл коллектор> о т л и ч а ю и, и и г я тем что с цельк> псвьппения тс чно ти

> > измерения содержания молекулярнс гс компонента, исходный пучок нейтрлльных частиц коллимируют и вводят в ионный источник нормально c ðåöíåé

20 траектор!:и ионнога пучка, нл входе в анализатор масс-спектрометра создают эквипотенциальную относительно области ионизации ионного источника об:тасть> а о содержании молекулярного

25 компонента судят по неличине тока фрагментов, образукпцихся в процессе ди социативной ионизации молекулярног10 20 30 „„40 РИГ2

Э

16848 3 3

О 10 сРИГ 3,а.е.м.

Составитель В,Кащеев

Редактор О,Спесивых Техред А.Кравчук Корректор А,Обручар

Заказ 35 10 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ym ород, ул. Гагарина, 101

Способ определения содержания молекулярного компонента в атомном пучке Способ определения содержания молекулярного компонента в атомном пучке Способ определения содержания молекулярного компонента в атомном пучке Способ определения содержания молекулярного компонента в атомном пучке 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к масс-спектрометрическим методом определения качественного и количественного состава газовых смесей, содержащих нейтральную и заряженную компоненты, и может быть применено в аналитических целях при исследовании пламени, в плазмохимии, в кинетических исследованиях и для мониторинга окружающей среды

Изобретение относится к экспериментальным методам молекулярной физики и может быть использовано для измерения скоростей частиц в молекулярных пучках и направленных молекулярных потоках

Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества

Изобретение относится к масс-спектрометрии и предназначено для использования в качестве детектора ионов в квадрупольных масс-спектрометрах

Изобретение относится к лазерной масс-спектрометрии и может быть использовано для многоэлементного анализа вещества

Изобретение относится к масс-спектрометрии и может быть использовано для высокочувствительного определения состава поверхностных загрязнений кремниевых пластин и структур Цель изобретения - повышение чувствительности и точности определения Предлагаемый способ включает предварительную химическую обработку поверхности путем нанесения и локализации минимального количества фтористо-водородной кислоты с последующим испарением и ионизацией вещества сухого остатка, регистрацией масс-спектра и обработкой данных

Изобретение относится к способам масс-спектрометрических изотопных измерений и предназначено для применения в рубидий-стронциевом методе определения абсолютного возраста горных пород и минералов

Изобретение относится к физико-химическим методам анализа и может быть использовано для контроля сверхчистых оптических материалов на основе монокристаллов фторидов щелочно-земельных металлов (ЩЗМ)

Изобретение относится к области аналитического приборостроения и может быть использовано в масс-спектрометрии веществ в твердой фазе

Изобретение относится к области технической физики, а именно к материаловедению, и может найти применение в диагностике фазовых переходов (ФП) 1-го рода в различных конструкционных материалах

Изобретение относится к приборостроению, в частности - к масс-спектрометрам, и может быть использовано для газового анализа в металлургии, экологии, медицине, электронной промышленности и других отраслях

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для разделения изотопов, например, для разделения тяжелых изотопов

Изобретение относится к приборостроению, в частности к масс-спектрометрии, и может быть использовано для контроля процессов, протекающих с выделением газовой фазы, например, в черной и цветной металлургии

Изобретение относится к ядерной технике, а более конкретно касается разделения заряженных частиц и выделения изотопов из их естественной смеси

Изобретение относится к вакуумной технике

Изобретение относится к разделению частиц (кластеров) по их массам на фракции газодинамическими силами c последующим их улавливанием на выходе сверхзвукового сопла

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для разделения изотопов, например для разделения тяжелых изотопов (атомная масса А>>1)

Изобретение относится к аналитическому приборостроению, а именно к многоколлекторным магнитным масс-спектрометрам, предназначенным для качественного и количественного анализа примесей в матрицах сложного состава, в частности в качестве детектора газового хроматографа с высокоэффективными капиллярными колонками
Наверх