Способ юстировки рентгеновского микроанализатора

 

Изобретение относится к области технической физики, конкретнее к средствам настройки и контроля работы рентгеновских микроанализаторов. Цепь изобретения состоит в повышении точности юстировки. Способ осуществляется следующим образом . На место электронной пушки помещают лазер 1 и направляю его луч ч колонну микроанализгтора, производят юстировку лазера 1 и системы диафрагм 2 электроннооптической системы микроаьолиэатора, добиваются совмещения луча с осью, в результате чего .гуч пересекает плоскость объекта в заданной точхе, в которую помещают сферический отражатель 3 на рабочем расстоянии для микроанализа WD Перемещая ограничительную диафрагму -добиваются совмещения отраженного от отражателя 3 луча с центром кристалла анализатора 5, поворотом которого выводят луч в приемную щель 6 детектора. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з H 01 J 37!02

7(ГОСУДАРСТВЕ НЫ И КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ CC(.Ð

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4709465/25 (22) 23.06.89 (46) 07.12.91. Бюл. ¹ 45 (71) Сумское производственное объединение "Электрон (72) В. Н. Рыбак, И. А. Бульба, А. M. Аверков и Б, К. Волнухин (53) 621,386(088.8) (56) Микроанализатор Super Probe 733, Проспект фирмы JEOL, Япония, 1982.

Растровый электронный микроскоп

РЭМ-100 У. Техническое описание и инструкция по эксплуатации, Сумы. 1985. (54) СПОСОБ ЮСТИРОВКИ РЕНТГЕНОВСКОГО МИКРОАНАЛИЗАТОРА (57) Изобретение относится к области технической физики, конкретнее к средствам настройки и контроля работы рентгеновских

„„5U„„1697139 Al микроанализаторов, Цель изобретения состоит в павы(цении точности юстировки.

Способ осуществляется след ющим образом. На место электронной пушки помещают лазер 1 и направляют его луч з колонну микроаналиэатора, производят юстиоовку лазера 1 и системы диафрагм 2 электроннооптической системы микроанализатора, добиваются совмещения луча с осью, в резу ьтате чего .:;ч пересекает плоскость объекта в заданнои точке, в которую помещают сферический отражатель 3 на рабочем расстоянии для микроанализа WD Перемещая ограничи ельную диафрагму - :-добиваются совмещения отраженного от отражателя 3 луча с центром кристалла анализатора 5, поворотом которого выводят луч

s приемную щель 6 дете".,òîðà. 1 ил.

1 /gal 1 19

Способ юстировки рентгеновского микроанализатора, включающий имитацию излучения источника рентгеновского излучения световым, отражение светового луча кристаллом-анализатором и совмещение его с Входной щелью детектора посредством поворота кристалла-анализатора, отличающийся тем, что, с целью повышения точности юстировки, в качестВе источника света используют лазер, устанавливают его на место электронной пушки микроанализатора, пропускают луч лазера через систему диафрагм электронно-оптической гистемы микроанализатора, помещают под луч в камере обьектов на рабочем расстоянии для микроанализа сферический Отражатель и Отраженный OT него луч л эера направляют на кристалланалиэатор.

Сос авитель Е. идохин

ТЕхрвд 1М. МО1)1:-:;: —: -8/; КоррЕКТОр 1М.ДЕМчин

Редактор 1-/.)"Унько

Заказ 4310 Тираж Подписное

ВНИИХИ l осударственного комитета по изобретениям л открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва,,Ф-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комэинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Иэобрете.:-1ие о1носится к технической физике, конкретнее к средствам настройки и контроля работы оентгеновских микроана/1ИЭВТOp08.

Известен способ юстлровки рент.-ено- 5

ВскОГО микрсандлиэатора, за к/1 к)чающийся в том, что включают источник света, направляют световой пучок через поляризатор ана/1иэатОО и систем»/ эерка/ "= оптический микРоскоп, т,ч,(8 000K /са . (ОтОРОГО PBGl10/)c, 10

Гается на к.. Ге Рov/)8ap8, и определяет меcT0n0/)0)(э исследуемого Ооъекта.

ОднаKО "..00cоб Обл3) Uает hиэкои fочно стью при наклон ои распо/10я<еьГии спектрометра и слишком сло кеч в реализации 15 из эа бОльшОГО количествЯ Отражающих элементов.

1-1аиболее близким к изобретению является способ юстировки рентгеновского микроаналиээтс ра, внлючаюший имитацию 29

ИЗЛ»/ЧЕНИЯ ИСТОЧНИК8 РЕНТГЕНОВСКОГО ИЭЛ»/чения световым, отражение светового луча кристаллом-анализатором и совмещение его с входной щелью детектора посредс»вом поворота кристалла-анализатора. 25

Недостатком этого способа является невысокая точность из-за неопределенноСТИ »/СТдНОВКИ Источникс1 СВ8Т8 ОТНОСИТЕЛЬ но элементов электронно-оптической системы микроанализатора. 30

Цель изобретения -- повь;шение точности юстироккл.

На )ертеже г;редставлена принцигнl альная схема реализации способа.

Сущность предлагаемого способа сс- 35 стОит В том, чтО луч Г Взера 1, пройдя систему диафрагм 2 электронно-оптической системы микрогнализатара, с высокой точностью определяет положен"е точки пересечения оси колонны с плоскостью 40 объекта, координаты которой Х и Y крити-:— ны к нахождению -.той точки на круге Р0уланда. Установка под луч сфеоического отражателя 3 на рабочем расстоянии для микроаналиэатора WD имитирует реальный источник рентгеновского излучения, лучи которого отражаются в телесный угол ограничите/)ьных диафрагм 4 и падают на изогнутыл кристалл-анализатор 5, Способ эсуществляется следующим об()8ЭОМ.

/1уч лазера 1 совмещают с осью колонны микроанализатора, добиваясь симметрлчности дифракционной картины от краев длафрагмы 2. Устанавливают под луч лазе08 сферический стражатель 3, Перемещают Ограничительные диафрагмы 4 до совмещения с центром кристалл-анализатора 5. Повораивают кристалл-анализатор

5 вокруг оси до попадания сфокусированноГо л /ча Во входную щель детектора 6, Процесс )00 )рсвки производят на каждом кристалл-а /ализаторе всех спектрометров, име)ощихся в составе микроанализато ра.

Формула изобретения