Криогенный адсорбционный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса, повысить экономичность и надежность при транспортировке Сосуд для криоагента выполнен в виде обечаек 14 и 15, снабженных обечайкой-теплопроводом 19, являющимся элементом, охлаждающим адсорбент. Вакуумпровод снабжен теплопроводами 20 и 21, обеспечивающими его охлаждение при любой ориентации насоса в пространстве„ Оба конца вакуумпровода 11 выведены через Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криоадсорбционных вакуумных насосов. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса, уменьшение расхода криоагента и обеспечение надежности при транспортировке. На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиго 1 о Криогенный адсорбционный насос содержит цилиндрический корпус 1 с крышднище 3 корпуса 1„ Входной патрубок 4 имеет цилиндрический экран 24, защищающий тепловой мост 5 от теплового излучения. В днищах 16 и 17 обечаек 14 и 15 выполнены углубления 26 и 27, в шевронном экране 10 - отверстие 28, а насос снабжен подвижным штоком 25, расположенным на днище 3 корпуса 1 о Во время транспортировки насоса шток 25 вставляется в углубление 27, а в отверстие 28 и углубление 26 вставляется штанга, крепящаяся на заглушке входного патрубка 4 о В результате внутренние элементы насоса жестко Фиксируются Такое выполнение позволяет повысить производительность и сорбционную емкость насоса , снизить время достижения давления в камере при откачке форва куумными механическими насосами, увеличить ресурс непрерывной работы после однократной заливки криоагента и снизить удельную испаряемость криоагента . 2 з„п. ф-лы, (2 ил. кой 2, днищем 3 и расположенным на крышке 2 осевым входным патрубком 4, снабженным цилиндрическим тепловым мостом 5, размещенный в корпусе 1 сосуд для криоагента, снабженный цилиндрическим пористым газопроницаемым экраном 6, выполненным из высокотеплопроводного материала, адсорбентом 7, трубками 8 и 9 для залива криоагента и отвода его паров и шевронным экраном 10, установленным со стороны входного патрубка 4, и ва (Я 05 СО 00 Јь 00

СОКИ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

Р1) F 04 В 37/08, 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4344470/29 (22) 17. 12.87

:(46) 15.12.91. Бюл. ¹- 46 (71) Институт аналитического приборо строения Научно-технического объединения AH СССР (72) М.П. Ларин (53) 621.528.1(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1333833, кл..F 04 В 37/02, 1985. (54) КРИОГЕННЫЙ АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса, повысить экономичность и надежность при транспортировке. Сосуд для криоагента выполнен в виде обечаек 14 и 15, снабженных обечайкой-теплопроводом

19, являющимся элементом, охлаждающим адсорбеит. Вакуумпровод снабжен теплопроводами 20 и 21, обеспечивающими его.охлаждение при любой ориентации насоса в пространстве. Оба конца вакуумпровода 11 выведены через

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криоадсорбционных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение от- качных характеристик насоса, уменьшение расхода криоагента и обеспечение надежности при транспортировке.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — разрез

А-А на фиг. 1.

Криогенный адсорбционный насос содержит цилиндрический корпус 1 с крышÄÄSUÄÄ 1698481 A 1

2 днище 3 корпуса 1. Входной патрубок

4 имеет цилиндрический экран 24, защищающий тепловой мост 5 от теплового излучения. В днищах 16 и 17 обечаек 14 и 15 выполнены углубления 26 и 27, в шевронном экране 10 — отверстие 28, а насос снабжен подвижным штоком 25, расположенным на днище 3 корпуса 1. Во время транспортировки насоса шток 25 вставляется в углубление 27, а в отверстие 28 и углубление 26 вставляется штанга, крепящаяся на заглушке входного патрубка

4. В результате внутренние элементы насоса жестко фиксируются. Такое выполнение позволяет повысить производительность и сорбционную емкость насоса, снизить время достижения давления в камере при откачке форвакуумными механическими насосами, увеличить ресурс непрерывной работы после однократной заливки криоагента и снизить удельную испаряемость криоагента. 2 з.п. ф-лы,,2 ил. кой 2, днищем 3 и расположенным на крьппке 2 осевым входным патрубком 4, снабженным цилиндрическим тепловым мостом 5, размещенный в корпусе 1 сосуд для криоагента, снабженный цилиндрическими пористым газопроницаемым экраном 6, выполненным из высокотеплопроводного материала, адсорбентом 7, трубками 8 и 9 для залива криоагента и отвода его паров и шевронным экраном 10, установленным со стороны входного патрубка 4, и ва1698481 куумпровод 11, расположенный в полости сосуда и имеющий концы 12 и 13, причем конец 12 герметично выведен из корпуса 1 через днище 3. Сосуд выполнен в виде верхней и нижней соосных цилиндрических обечаек 14 и 15 с днищами 16 и 17, причем диаметр нижней обечайки 15 превышает диаметр верхней обечайки 14, и снабжен кольцевой проставкой 10, закрепленной на нижнем торце верхней обечайки 14 и верхнем торце нижней обечайки 15, и обечайкой-теплопроводом 19, закрепленной на кольцевой проставке 18 и охватывающей верхнюю обечайку 14 с образованием кольцевой полости, пористый газопроницаемый экран 6 размещен в последней и закреплен с тепловым контактом на кольцевой простав- 20 ке 18, а адсорбент 7 расположен между пористым экраном 6 и обечайкой-теплопроводом 19. Вакуумпровод 11 снабжен перфорированными теплопроводами 20 и 21, закрепленными на нем с тепло- 25 вым контактом и расположенными по всей длине верхней и нижней обечаек 14 и

15, и его второй конец 13 герметично выведен из корпуса 1 через его днище

3, а трубки 8 и 9 для залива криоаген-З0 та и отвода его паров размещены в.полости верхней и нижней обечаек 14 и

15, выведены из корпуса 1 через его дйище 3, трубка 9 имеет конец 22, расположенный в зоне днища 16 верхней 35 обечайки 14, а трубка 8 имеет конец

23, расположенный в зоне днища 17 нижней обечайки 15. Входной патрубок 4 снабжен цилиндрическим экраном 24, расположенным в нем коаксиально теп- А0 ловому мосту 5. Насос также снабжен подвижным щтоком 25, расположенным по оси корпуса 1 на его днище 3, в днищах 16 и 17 верхней и нижней обечаек

14 и 15 выполнены осевые углубления

26 и 27, а в шевронном экране 10— осевое отверстие 28.

Насос работает следующим образом.

Предварительно в насосе создается разрежение при пОмОщи внешней системы вакуумирования, а затем в полость обечаек 14 и 15 через трубку 8 подается криоагент (жидкий азот). В результате охлаждения обечайки-теплопровода 19 и пористого экрана 6 охлаждается адсорбент 7 и поглощает поступающий в полость насоса через патрубок 4 криоагент. Вакуумпровод 11 подключается к системе предварительного вакуумирования и выполняет функцию ловушки, причем наличие теплопроводов 20 и 21 обеспечивает его эффективное охлаждение при любой ориентации насоса в пространстве и при любом уровне криоагента в полости обечаек 14 и 15. Конструкция трубок 8 и

9 и расположение концов 22 и 23 дает возможность залить криоагент в полость обечаек 14 и 15 при любой ориентации насоса, осуществляя залив либо через трубку 8, если входной патрубок 4 вверху, либо через трубку 9, если входной патрубок 4 внизу. Трубки 8 и 9 также позволяют производить откачку паров криоагента, снижая его температуру и, тем самым, повышая откачные характеристики адсорбента 7.

Во время транспортировки в отверстие 28 шевронного экрана 10 и в углубление.26 верхней обечайки 14 вставляется штанга, закрепляемая на заглушке входного патрубка 4, а шток 25 вставляется в углубление 27 нижней обечайки 15, тем самым обеспечивает( ся жесткая фиксация внутренних элементов насоса, исключающая повреждение.

Формула изобретения

1. Криогенный адсорбционный насос, содержащий цилиндрический корпус .с крьппкой, днищем и расположенным на крышке осевым входным патрубком, снабженным цилиндрическим тепловым мостом, размещенный в корпусе сосуд для криоагента, снабженный цилиндрическим пористым газопроницаемым экраном, выполненным из высокотейлопроводного материала, адсорбентом, трубками для залива криоагента и отвода его паров и шевронным экраном, установленным со стороны входного патрубка, и вакуум-провод, расположенный в полости сосуда и имеющий концы, один из которых герметично выведен из корпуса через днище, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, сосуд выполнен в виде верхней и нижней соосных цилиндрических обечаек с днищами, причем диаметр нижней обечайки превьппает диаметр верхней и снабжен кольцевой проставкой, закрепленной на нижнем торце верхней обечайки и верхнем торце нижней обечайки, и обечайкой-теплопроводом, закрепленной на кольцевой проставке и Охватывающей верхнюю обечай1698481

2Б

f5

1г

Фи.2

Составитель В. Кряковкин

Техред Л.Олийнык Корректор Л. Патай

Редактор И. Циткина

Заказ 4377 Тираж Подписное

ВНИИПК Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина, 101 ку с образованием кольцевой полости, пористый газ.непроницаемый экран размещен в последней и закреплен с тепловым контактом на кольцевой простав5 ке, а адсорбент расположен между пористым экраном и обечайкой-теплопроводом, при этом вакуум-провод снабжен теплопроводами, закрепленными на нем с тепловым контактом и расположенными по всей длине верхней и нижней обечаек, и его второй конец герметично выведен из корпуса через его днище, а трубки для залива криоагента и отвода его паров размещены в полости верхней и нижней обечаек, выведены из корпуса через его днище и одна из них имеет конец, расположенный в зоне днища верхней обечайки, а другая— расположенный в зоне днища нижней обечайки.

2. Насос по и. 1, отличаю— шийся тем, что, с целью уменьшения расхода криоагента, входной патрубок снабжен экраном, расположенным в нем коаксиально тепловалу мосту, 3. Насос поп. 1, о тличаю— шийся тем, что, с целью обеспечения надежности при транспортировке он снабжен подвижным штоком, расположенным по оси корпуса íà его днище, в днищах верхней и нижней обечаек выполнены осевые углубления, а в шевронном экране — осевое отверстие.