Прибор для введения дислокации в образцы полупроводников
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСЕОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.111,1964 (№ 890054/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 09.Х.1965. Бюллетень № 20
Дата опубликования описания 9.XII.1965
Кл. 21o., 11юх
МПК Н Oll
УДК 621.315.592:539.4.016.
3.002.54 (088.8) Государственный комитет по делам изобретений н открытий СССР
Автор изобретения
У. Я. Эртелис
Институт энергетики АН Латвийской ССР
Заявитель
ПРИБОР ДЛЯ ВВЕДЕНИЯ ДИСЛОКАЦИИ В ОБРАЗЦЫ
ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Подписная группа № 97
Известны приборы для введения дислокации в образцы полупроводников путем пластического изгиба, содержащие индикатор, груз, микрометрический винт и термопару. В этих приборах деформирующая сила прилагается непосредственно к средней части стержневого образца, что ведет к возникновению локальных деформаций и связанных с ними неконтролируемых скоплений дислокаций.
Предложенный прибор снабжен держателями, выполненными в виде рычагов, одни концы которых крепят образец, а другие установлены между призмами, через которые от груза и микрометрического винта передается изгибающее усилие. Прибор позволяет контролировать введение дислокаций в образцы полупроводников и создает в образце температурное поле, обеспечивающее плавное изменение плотности дислокации по длине образца.
На чертеже изображена схема прибора.
Концы образца 1 зажимаются в держателях 2 из графита, молибдена или другого достаточно тугоплавкового и механически прочного материала. Держатели образца служат одновременно для передачи деформирующей нагрузки и в качестве токопроводящих электродов. Они опираются на призмы 8, соединенные с микрометрическим винтом 4, платформой для нагрузок 5 и часовым индикатором б.
Ток к держателям подводится при помощи гибких металлических лент 7, не создающих заметных дополнительных нагрузок. Нагревание образца контролируется платино-платинородиевой термопарой 8. В случае необходимости термопару можно удалить.
Прибор укрепляется в откачиваемом объеме вакуумной системы, имеющей вакуумноплотный вращающийся привод и четыре ввода
10 для токонагрева и термопары. Изгибанпе происходит под действием силы тяжести калиброванных нагрузок. Большие деформации получают путем вращения мпкрометрического винта при фиксированном положении верхней
15 призмы.
Предмет изобретения
Прибор для введения дислокаций в образцы полупроводников, включающий в себя ин20 дикатор, груз, микрометрический винт и термопару, отличающийся тем, что, с целью предотвращения появления неконтролируемой дислокации в средней части образца и создания в образце температурного поля, обеспечи25 вающего плавное изменение плотности дислокации по длине образца, он снабжен держате""ÿìè, выполненными в виде рычагов, однп концы которых крепят образец, а другие установлены между призмами, через которые от
30 груза и микрометрического винта передается изгибающее усилие.
3Составитель Р. Г. Акопян
Техред Ю. В. Баранов
Редактор И. Г. Карпас
Корректор О. Б. Тюрина
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 3463/12 Тираж 1575 Формат бум, 60 90 /в Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.
