Патент ссср 178935
О П Й C А Н И Е| l78935
Союэ Советских
Социалистических
Республи»
ДЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
S((>т;)1;т. (.!>ид(!(л(,(т()я .,е
Кл. 27(1, 3(>в
:3яив loll(> 23.1V.1964 (,)>1> 891>514)24-6) с ир)гс(>(дии(ии(м з;!Явиll Л
Приоритет
)ЧГ1К F 04@
Комитет ло делам иэобретений и открытий лри Совете Министров
СССР
УДК 621.521 — 977
621,528.3(088.8) Оп) б)!иков»но 03.11.1961>. I)l<),lf!còåI!I X 4
Дата опубликования OIIIIc»IIIISI 19.111.!966
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА
Известны способы получения сверхвысокого вакуума в емкости путем откачки сс при !и>мо!ци форвякуумных и низкотсмиературш)го сорбиионного пасосо!3.
ПÎ прсдложеHíому споc<>áó перед включсниел(низкотемпературиого насос» в рябо гу газ из емкости откачивают вакуумным титановым н()сосов(, сорбционную поверхность которого нагревают до 700 — 900-С.
Предложенш ill способ !юзволяет осуществлять дифференциальную откя>iê) г»зовыx компонентов и предотвращает зягрязиеllll(. низкотемпературного титанового насоса.
Ha cpTc hc cxcM»THncchII »ç0áð»)!(cí I установка для осуществления предложенного с!!особа.
Установка содержит форвакуумиый 1 и обычный титановый 2 насосы, высокотемпературный 3 и низкотемиературиый 1 тит ii!Onhlc сорбционные насосы. Высокоземиср (туриый насос снабжен испарителем титяия . > и актll!3ной сорбционной поверхностью, ня!ревяемой до 700 †9 С.
Г!ри помощи известного форвякуумного насоса любой конструкции и при открытых шиберах 6, 7 и вентилях 8 — 10 откачш)якл о(>ив емы всех насосов. По достижении зяд ini!<>!o форвакуума включают I!poi pe!)»to!II!tc устройства и распылитель 11 титана в тита>н>вом !насосе 2. Металлические стенки отк»чиня(мой емкоcTи прогреваloT для выделения и откачки г;i,on, раствоpe»III»x в ее метялли !cc!(Itx стенках. При этом температуру I)tt) TpcIIII»x стенок емкости контролируют при помощи термопар. Обычно поддср>кивают температуру порядка -100- (>00 (и прогрев яродолжяют до теx иор, пока не прекратится улучшение вя»)<) iI» в емкости. После этого включают высокотемперятур !ьш титановый насос, для че10 го активную сорбционную поверхность !нагре-! вают до 700 †-900 С, например, пропусканием
>лектричсского тока и одновременно включают распылитель титана. Слой распыляемого т!пана при 700 — 900 С бурно сорбирует основ15 ныс газовые компоненты атмосферного воздух» (азот, кислород, углекислый газ, углекис;1oT) j. Эти газы легко проникают в толщу распыленного TèTян l вследствие отсутствия ! l » (. 0 IIOl3(. PX IlOCT ll З»1ЦИТНЬ(:>; Ol(IICtlh!X ИЛЕ НOК.
20 13 р<. ;3);I! Tя l с Я кти в(юй От к» l l(II Высо(от(.м иерятурным насосом газовых компонентов ятмо ((>CPlIOf0 I303ДУХЯ СОЗДЯЕТСЯ ВОЗМОЖИОСТЬ ПРЕДотвратить загрязнение ими !3изкотемпер;!Т3рИ()ГО ТИТЯНОВО(О Н 25 работу после высокотемпературного насоса, к(>!, 111 )же;(Остиг))> T дОст lточно глубокиll вякууM. Низкотеми(р 1т) рн!!11 насос ири э(<)х(ll;iчи!шет охл»ж l< иной сорбцион!и>й иовср»ln>(г!>10 э(1>(1)скти в но 13(. Ясы13<1 fh ВОДОРОД 11 О TI I 1»hi 1t ) . !) >!ill
1 l () j. д м с 1 ;1з о б р с т с 11 и я ; — Л1;) О,) 1 jr) ri . i1СН11Я j C))jj)jj )ji())0 Ван) inc! 13 см);О:ти п)тем отка1ки ес при помокни форj. 1"" ми) j)1 и низкотсмпсpdT) pj ÎÃÎ со()бцион- j:.. j.â насосов, отлаиа)оцийся тем, что, с целью 1)с,чцествлсния дифференциальной откачки газовых компонентов и предотвра1цения загрязнения низкотемпературного титанового насоса, перед вкл1очением последнего в работу производят откачку емкости вакуум;-:.-.jû ти5 та новым насосом, сорбционную поверхнссть которого нагревают до 700 †9 3,. Составитель T. Рабиук Ре;ыктор H. Джарагетти Техред T. П. Курилко Корректоры: М. П. Ромашовй и О. И. Попова Закал 580/12 Тираж 1150 Формат бум. 60+90)/а Объем 0,13 изд. л. Подписное LlHHHllH Комитета по дела)и ))лобрстений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4 1 ииография, пр, Сапунова, 2
