Вакуумный манипулятор

Авторы патента:

H01J37/20 - устройства для крепления или управления положением объекта или материала; устройства для регулирования диафрагм или линз, конструктивно сопряженных с опорой (подготовка образцов для исследований G01N 1/28)

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение времени подготовки и ввода пробы и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб, Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен зубчатореечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выполненная в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (gy)g Н 01 .1 37/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ ССОР (21) 4724937/21 (22) 26.07.89 (46) 15.01.92. Бюл. У 2 (71) Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения Научнотехнического объединения АН СССР (72) И.Н.Азбель, Н.В.?4амро и Г.Д.Сигаль (53) 621.384(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1181015, кл. Н 01 Л 37/20, 1983.

Авторское свидетельство СССР

Р 1302351, кл. Н 01 J 37/20, 1985.

Авторское свидетельство СССР

Ф 1302352, кл, Н 01 J 37/20, 1985.

„„80„„1705913 А 1

2 (54) ВАКУУМН1 IA 11АНИПУЛЯТОР (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение времени подготовки и ввода пробы и расширение функциональных возможностей эа счет обеспечения выборочного анализа проб. Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен эубчатореечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выполненная в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов.

1705913

Носитель 18 с пробой в подложке вводится в вакуумную камеру и устанавливается над кассетой 5. Вращением рукоятки. вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента навстречу носителю 18. С помощью пружинного захвата проба передается с носителя 18 lp на кассету, после чего кассета возвраИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным манипуляторам и вводам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии, и может быть применено в областях науки и техники для исследования поверхности твердых тел и обеспечения возможности проведения химического анализа металлов, определения энергии 25 связи электронов внутренних валентных оболочек атомов и т.д.

Цель изобретения вЂ” сокращение времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб.

На фиг, 1 представлено устройство, общий вид на фиг. 2 вЂ” разрез А-А на

35 фиг. 1; на фиг. 3,4 вЂ” кассета, в двух проекциях; на фиг. 5,6 вЂ” то же, разрез.

Устройство состоит из вакуумной каь»еры 1 предварительной подготовки проб с фланцем 2 для высоковакуумной откачки, соединенной через фланец .с вакуумной камерой анализатора (не показано). В вакуумной камере предварительной подготовки проб расположен 45 зубчато-реечный механизм телескопический 3 с вакуумным вводом 4, а также кассета 5, выполненная в виде бара. бана с ячейками, содержащими пружинные захваты для подложек с образцом, каждая из которьчс:.набжена подложкой с образцом фиг ° 3. Кассета имеет два вакуумных ввода 6 и 7 и жестко закреплена на оси вращения 8 с гибким элементом 9, соединенной с толкателем 10. ,55

Зубчато-реечньп» телескопический механизм 3 имеет шток-рейку 11 с направляющей 12 и носитель l3 расположенный на конце шток-рейки. 11позовая кащается в исходное положение. Поворотом вокруг оси можно заполнить пробами всю кассету. Для подачи проб в анализатор носитель останавливают перед кассетой 5, которая отклоняется толкателем

10 от своей оси навстречу держателю штока-рейки, после чего проба снимается с кассеты и подается в анализа тор. 6 ил. мера 14, с уплотнителем 15 и клапаном 16 имеет шток 17 с носителем образцов 18 ввода 19. Вакуумная камера 1 предварительной подготовки проб перекрывается клапаном 16 ввода 19.

Клапан 20 предназначен для подачи проб в камеру анализатора.

Устройство работает следующим образом.

Подложка с пробой устанавливается в носителе 18 штока 17 вакуумного ввода 19 шлюзовой камеры 14 в атмосфере при перекрытой клапаном 16 вакуумной камеры 1 предварительной подготовки проб. После этого шлюзовая камера 14 герметизируется и откачивается до среднего вакуума, далее, открыв клапан 16 вводится носитель 18 с пробой в подложке в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки проб для передачи пробы в ячейки с держателями кассеты 5, при этом носитель устанавливается над кассетой. Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента 9 навстречу носителю 18 штока 17 вакуумного ввода 19. С помощью пружинного захвата кассеты фиг. 3 носитель 18 передает пробу на кассету, после этого шток 17 ввода 19 и кассета 5 возвращается в исходное положение. Таким образом поворотом вокруг оси 8 можно заполнить пробами всю кассету 5. Для подачи пробы в камеру анализатора (не обозначена) открывается клапан 20 и вращением рукоятки вакуумногo ввода 4 осуществляется поступательное движение штока-рейки 11 зубчато-реечного телескопического механизма 3 с закрепленным на конце носителем 13. При этом носитель 13 останавливается перед кассетой 5, которая вращением рукоятки вакуумного ввода 7 отклоняется толкателем 10 от своей оси вращения навстречу держателю штока-рейки> после чего проба снимается с кассеты носителем 13. Установленная на штокрейке 11 подложка с пробой подаются в анализатор. Отработанная проба с подложкой возвращаются в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки йроб штоком-рейкой 11 обратным ходом механизма, Вращение кассеты для установки и снятия с нее подложек с образцом относительно оси вращения осуще- 15 ствляется вращением рукоятки вакуумного ввода 6.

Предлагаемый манипулятор позволяет выполнять выборочный поэтапный ввод проб в анализатор беэ нарушения ваку- .д ума и чистоты проб, а сохранение в камере предварительной подготовки проб высокого вакуума позволяет значительно сократить время ввоца пробы и ее подготовки к анализу. Дополнительный 25 ввод манипулятора через шлюз малого объема позволяет производить анализ проб в любой последовательности без нарушения вакуума и чистоты проб, и в целом получать качественный и быстрый анализ проб.

Формула изобретения

Вакуумный манипулятор, содержащий камеру предварительной подготовки проб с фланцем для высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной камерой

Ю анализатора и включающую зубчато-реечный телескопический элемент с вакуумным вводом, а также кассету с носителем л>браэцов, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширения функциональных воэможносте," эа счет обеспечения выборочного анализа проб, он снабжен шлюзовой камерой с клапаном, в которой устанОвлен шток с носителем образца для ввода пробы, а кассета выполнена в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов, двумя вакуумными вводами и жестко закреплена на оси вращения с гибким элементом, соединенной с толкателем.

1705913

Фиг.б

Составитель Н. Катинова

Техред A. Кравчук Корректор С. Шекмар

Редактор М.Товтин

Заказ 198 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11303 5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.ужгород, ул. Гагарина,!01

Изобретение относится к электроннозондовой технике и может быть использовано для исследования слоистых материалов

Вакуумный манипулятор // 1661868

Изобретение относится к вакуумным манипуляторам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии

Позиционер образца // 1661867

Изобретение относится к устройствам для точного дистанционного позиционирования образца и может быть использовано, например, в растровых туннельных микроскопах

Предметный столик электронного микроскопа // 1636895

Изобретение относится к технике электронной микроскопии

Диафрагма электронного микроскопа // 1615821

Изобретение относится к диафрагмирующим управляемым устройствам электронной микроскопии и может использоваться в качестве исполнительного механизма, работающего автономно в вакууме

Способ извлечения изделия из вакуумного объема // 1612341

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме

Сканирующий туннельный микроскоп // 1531181

Изобретение относится к туннельной электронной микроскопии и может быть использовано в приборах для исследования физических свойств поверхностей твердых тел с разрешающей способностью порядка размеров атомов

Предметный столик растрового электронного микроскопа // 1522318

Изобретение относится к электровакуумным приборам и может быть использовано для управления положением объектов в растровом электронном микроскопе

Столик объектов для электронного микроскопа // 1458904

Устройство для позиционирования образца в вакууме // 1406661

Изобретение относится к электронной технике

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Способ и устройство для инактивации загрязняющих примесей в биологической жидкости // 2219951

Твердотельное исполнительное устройство // 2260828

Изобретение относится к области оптики и предназначено для использования в качестве дефлектора в системах управления положением оптического луча в пространстве

Наконечник держателя и сетка для электронной томографии // 2300822

Изобретение относится к области научного приборостроения и может быть использовано при выпуске просвечивающих электронных микроскопов

Предметный столик // 2310218

Изобретение относится к области микроэлектронной техники и может быть использовано при разработке технологического и тестового оборудования

Многокоординатный предметный столик // 1737557

Устройство наклона столика растрового электронного микроскопа // 1751827

Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для наклона столиков объектов в растровых электронных микроскопах

Опорная структура подложки, прижимной подготовительный блок и установка для литографии // 2552595

Изобретение относится к области литографии и касается опорной структуры подложки. Прижатие подложки к поверхности опорной структуры осуществляется посредством капиллярного слоя жидкости. Поверхность опорной структуры имеет внешнюю кромку и включает в себя опорные элементы, предназначенные для приема прижимаемой подложки в нескольких опорных местоположениях. Опорная структура подложки дополнительно включает в себя герметизирующую структуру, которая ограничивает поверхность и имеет кромку, образующую герметизирующий обод. Расстояние между внешней кромкой поверхности и самым внешним из опорных местоположений является большим, чем расстояние между внешней кромкой поверхности и герметизирующим ободом. Расстояние между герметизирующим ободом и самым внешним местоположением опоры больше, чем максимальное расстояние между соседними опорными местоположениями. Технический результат заключается в увеличении прижимного усилия, уменьшении загрязнения вакуумной среды и увеличении срока службы устройства. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 30 ил.

Автоматизированное приготовление образцов // 2600058

Группа изобретений относится к приготовлению образца для минералогического анализа в электронно-лучевой системе в нефтегазовой и горнодобывающей отраслях. По первому варианту способа забирают минералогический образец для анализа, сушат его и отделяют от собранного образца более мелкую представительную аликвоту и помещают вместе аликвоту и оба компонента быстросхватывающегося двухкомпонентного фиксирующего состава на основе эпоксидной смолы в форму образца. Производят отверждение фиксирующего состава в течение 3 мин и добавляют аликвоту к фиксирующему составу в форме, смешивают аликвоту и фиксирующий состав в форме в автоматическом смесителе. Причем упомянутое смешивание начинается в течение 30 секунд с момента добавления аликвоты к фиксирующему составу в форме. Обеспечивают возможность отверждения фиксирующего состава для формирования отвержденной заготовки образца в форме, разрезают форму и отвержденную заготовку образца для удаления верхней части отвержденной заготовки образца и вскрытия плоской внутренней поверхности образца, и без шлифовки или полировки поверхности образца наносят слой проводящего материала на поверхность образца для получения образца для анализа. По второму варианту способа объединяют образец с неотвержденным фиксирующим составом на основе эпоксидной смолы, смешивают образец и фиксирующий состав в форме в автоматическом смесителе. Обеспечивают возможность отверждения фиксирующего состава для формирования отвержденной заготовки образца в форме. Разрезают форму и отвержденную заготовку образца для удаления верхней части отвержденной заготовки образца и вскрытия плоской внутренней поверхности образца. Наносят слой проводящего материала на поверхность образца для получения образца для анализа. Устройство содержит систему дозирования для дозирования неотвержденного фиксирующего состава на основе эпоксидной смолы, систему смешивания для смешивания неотвержденного фиксирующего состава с минералогическим образцом в форме, резак для разрезания отвержденного фиксирующего состава и минералогического образца в форме при разрезании самой формы, обеспечивающий без шлифовки достаточно гладкую поверхность образца для анализа образца с помощью пучка электронов. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 12 ил.