Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/40 - с помощью разряда переменного тока, например высокочастотного разряда

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, преимущественно диэлектрических материалов, содержащее катодный узел с магнитной системой и мишенью для распыления, анод с выступами и углублениями, увеличивающими площадь анода не менее чем в два раза, и подложкодержатель, установленный напротив мишени, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий и производительности, в выступах и углублениях выполнены сквозные отверстия, заполненные легкоплавким проводящим материалом, температура плавления которого ниже температуры нагрева анода, при этом суммарная площадь отверстий в поперечном сечении больше распыляемой площади поверхности мишени, а диаметр и глубина каждого отверстия выбраны такими, чтобы вес расплавленного легкоплавкого материала в отверстии не превышал сил внутреннего натяжения и сил сцепления этого материала с поверхностью отверстия.

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме

Способ получения алмазоподобных покрытий // 1070949

Способ нанесения покрытий // 571102

Устройство для катодного распыления // 273616

Способ высокочастотной электроимпульсной обработки металлов // 208765

Способ получения пленки нитрида алюминия // 2113537

Способ упрочнения поверхностей деталей // 2176682

Способ свч-плазменного осаждения диэлектрических пленок на металлические поверхности с малым радиусом кривизны // 2215820

Изобретение относится к области осаждения диэлектрических пленок с включениями кристаллической фазы на металлические поверхности с малым радиусом кривизны и может найти применение при изготовлении различных инструментов, в частности, для использования в медицине

Способ напыления рельефных подложек // 2229182

Изобретение относится к плазменной технологии производства изделий микроэлектроники и может быть использовано для процесса металлизации структур с субмикронными размерами элементов

Реактор для плазмохимического осаждения веществ из газовой фазы // 2258763

Изобретение относится к области нанесения декоративных покрытий на изделия из стекла, керамики, фарфора и т.п

Способ ремонта поверхностных дефектов деталей машин // 2310551

Изобретение относится к области металлургии, в частности к способу ремонта поверхностных дефектов деталей машин, и может найти применение при ремонте деталей машин из высоколегированных жаропрочных сталей и сплавов, имеющих эксплуатационные дефекты: забоины, раковины, локальные износы трущихся поверхностей

Установка для нанесения защитных покрытий // 2318078

Изобретение относится к установке для нанесения защитных покрытий и может найти применение для получения защитных покрытий на изделиях авиационной техники

Способ плазменной очистки поверхности материала с покрытием из органического вещества и установка для его осуществления // 2318916

Изобретение относится к способу очистки поверхности материала с покрытием из органического вещества

Способ вакуумно-дугового нанесения покрытий // 2361014

Изобретение относится к способу вакуумно-дугового нанесения покрытий и может быть использовано для получения газопоглотительных покрытий

Способ получения ферромагнитной пленки из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки // 2458181

Изобретение относится к плазменной технологии, а именно к способам получения ферромагнитных пленок из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки методом локализованного газового разряда Ar и может быть использовано при получении базовых элементов спинтроники