Устройство для резки пластин полупроводниковых материалов

 

Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин, и позволяет повысить точность разрезания пластин. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим. Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14-17, которые имеют возможность регулировки с помощью винтов 18. 4 ил.слс^ юо^ со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

{Я)5 В 28 0 7/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ, (21) 4710116/33 (22) 26.06.89 (46) 15.02.92. Бюл. hL 6 (72) В.И.Шепелев, Л,А.Метелев и Г.В,Шуваев (53) 679,8,053.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N. 1359139, кл. B 28 0 1/18, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ПЛАСТИН

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

„.,Я3.,„, 1712163 А1 (57) Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин, и позволяет повысить точность разрезания пластин. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим

10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим, Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14 — 17, которые имеют возможность регулировки с помощью винтов 18. 4 ил.

1712163

Изобретение относится к обработке резанием. неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин.

Цель изобретения — повышение точности разрезания пластин.

На фиг.1 показано устройство, общий вид; на фиг.2 — вид А на фиг.1; на фиг.3 — узел

I на фиг.1; на фиг.4 — вид Б на фиг.3.

Устройство состоит из корпуса 1, шпиндельной бабки 2, кареток продольной 3 и поперечной 4 подач, вакуумного стола 5, системы 6 ориентации. На валу шпинделя 7 закреплена оправка 8 с алмазным кругом.

Шпиндель 7 крепится к каретке 4 поперечной подачи, приводимой в движение через ходовой винт шаговым двигателем 9. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются flo комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим, Корпусы кареток снабжены аэрастатическими подпятниками 14-17.

Воздух в зазоры между направляющими и подпятниками подается через отверстия малого диаметра. Аэроста ические подпятники 14-17 имеют возможность регулировки с помощью винтов 18. Конструкция всех подпятников одинаковая.

Устройство работает следующим образом, Перед началом работы нэ устройстве производится выставление параллельности плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных чаправляющих шпинделя 7, что осуществляется следующим образом. С помощью зинтов 18, обеспечивается стопорение кар .ток продольной

3 и поперечной 4 подач на призматических направляющих 10 и 11, после чего, ослабляя давление подпятников 14 и 16, добиваются свободного скольжения кареток 3 и 4 при минимальных зазорах, обеспечивая при этом максимальную жесткость системы ка5 ретка — направляющая. Параллельность плоскости вакуумного стола 5 относительно плоскости поперечных направляющих шпинделя 7 обеспечивается за счет изменения положения подпятников 15, что дости10 гается вращением винтов 18, которыми приподнимают или опускают правый край каретки 3, совершающей, в данный момент, вращения на цилиндрических цапфах 19 призматической направляющей. После дан15 ной регулировки положение ээростатических подпятников и призматической направляющей фиксируется.

На отрегулированном вакуумном столе закрепляется рабочая пластина, с помощью

20 системы 6 ориентации ориентируется и после введения программу установки технологических параметров резки устройство самостоятельно производит разделение пластин нэ кристаллы в двух взаимно пер25 пендикулярных направлениях.

Формула изобретения

Устройство для резки-пластин полупроводниковых материалов. включающее корпус с двумя парами аэростатических

30 направляющих, на которых установлены каретки с шпинделем и вакуумным столом, и алмазный отрезной круг, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности разрезания пластин, одна из каждой пары

35 направляющих выполнена призматической формы и снабжена цапфэми, которые смонтированы с возможностью поворота направляющей относительно своей продольной оси.

Составитель Е.Булеков

Техред М. Моргентал

Корректор Т.Палий

Редактор М.Бандура

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 498 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5