Высокотемпературный резистивный нагреватель для горизонтальных электропечей

 

Изо0рётение относится к конструкциям резистивных нагревателей. Нагреватель 3содержит два горизонтально установленных нагревательных элемента 4 и 5. Элемент 4 выполнен в виде набора стержней 2. Элемент 5 охватывает элемент 4 и выполнен конусообразным. Элемент 4 установлен со смещением оси по вертикали относительно оси элемента 5. Всё стержни 2 установлены неравномерно по периметрам элементов 4 и 5. Возможно создание конструкции переменного градиента температуры как по длине, так и по высоте нагревателя, что. расширяет диапазон регулирования температурного поля нагревателя. 2 ил.(ЛС~/73 1О'XJСА) .1...»Ю СА)(puei

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з Н 05 В 3/62

ГОСУДАРСТВЕНЧЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4633917/07 (22) 09.01.89 (46) 15.02.92. Бюл. ЬЬ 6 (71). Черновицкий государственный университет (72) Н.П.Гавалешко,.И.И.Тарасюк, А;В.Микитчук. З.H,Cìåðåêà, И.Ф.Миронюк и

Б.И.Бойчук (53) 621.3.036.662(088.8) (54) ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ РЕЗИСТИВНЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ ДЛЯ ГОРИЗОНТАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРОПЕЧЕЙ (57) Изобретение относится к конструкциям резистивных нагревателей. Нагреватель 3

„„ЯЦ„„1713123 А1 содержит два горизонтально установленных нагревательных элемента 4 и 5. Элемент 4 выполнен в виде набора стержней 2.

Элемент 5 охватывает элемент 4 и выполнен конусообразным, Элемент 4 установлен со смещением оси по вертикали относительно оси элемента 5; Все стержни 2 установлены неравномерно по периметрам элементов 4 и 5; Возможно создание конструкции переменного градиента температуры как по длине, так и по высоте нагревателя, что. расширяет диапазон регулирования температурного поля нагревателя. 2 ил.

1 713123

Изобретение относится к конструкциям электропечей. в частности, для полупровоцниковой промышленности и может быть использовано для выращивания кристаллов

ApBr, из расплава методом горизонтальной поверхностно-направленной кристаллизации (ГПН К).

Цель изобретения — расширение диапазона регулирования температурного поля.

На фиг. 1 и 2 изображен нагреватель, продольный и поперечный разрезы.

Резистивный нагреватель содержит керамические направляющие трубки 1 для тугоплавких стержней 2, образующих резистивный нагреватель.

Нагреватель 3 состоит из двух рамок нагревательных элементов 4 и 5. Набор стержней 2, расположенных параллельно продольной оси нагревателя, образует ц|ллиндрический нагревательный элемент 4.

Набор таких же стержней 2, расположенных под острым углом к продольной оси нагревателя и охватывающих снаружи стержни 2 элемента 4, образуют конический нагревательный элемент 5, Стержни 2 элемента 4 размещены со смещением их осей в верти- кальной плоскости относительно оси элемента 5. Стержни 2 обоих нагревательных элементов 4 и 5 установлены неравномерно по периметру нагревателя 3, обеспечивая неравномерность температурного поля в вертикальной плоскости. Градиент температуры по длине нагревателя достигается за счет конусообразной формы нагревательного элемента 5.

Нагреватель работает следующим образом.

При работе только .цилиндрического элемента 4 задается вертикальный градиент вследствие подачи разного напряжения на стержни 2. Если ток, протекающий через все стержни цилиндрического элемента

4, одинаковый, то вертикальный градиент задается смешением оси относительно элемента 5. а также неравномерным распределением стержней 2.

Для проведения испытаний нагревателя внутренний диаметр цилиндрического элемента составлял. 40 мм, общая длина

500 мм, внутренний диаметр основания конусообразного элемента 70 мм, общее электрическое сопротивление нагревательных элементов цилиндрического нагревателя 5 Ом, конусообразного — 6,5 Ом, стержни 2 как в цилиндрическом, так и в конусообразном элементах соединены последовательно.

Испытания нагревателя проводились с нагревом. полуцилиндра длиной 10 см, сделанного из, стали и помещенного на внутреннюю боковую поверхность цилиндрического элемента. Общая температура на

10 оси нагревателя 1100 С. Проведенные испытания показали, что при изменении тока . конусообразного элемента от нуля до 18 А, угол наклона изометрической плоскости к поверхности полуцилиндра изменяется в пределах 3-8.

При этом для эффективной работы нагревателя предпочтительным является отношение диаметра d< основания конусообразного элемента к диаметру d цилиндри20 ческого, равное 1,2 — 2, а наибольший зазор между стержнями 1/2-1/Sd.

При применении предлагаемого нагревателя увеличивается выход качественного полупроводникового материала, 25

Формула изобретения

Высокотемпературный резистивный нагреватель для горизонтальных электропе30 чей, содержащий два нагревательных элемента, форма первого из которых выполнена с обеспечением переменного по продольной оси профиля температурного поля, а второй выполнен в виде набора стерстержни обоих нагревательных элементов установлены неравномерно по периметру нагревателя.

50 жней, размещенных параллельно продольной оси нагревателя, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона регулирования температурного поля. первый нагревательный элемент выполнен также в виде набора стержней, установленных под острым углом к продольной оси с образованием наружного нагревательного элемента с конусообразной поверхностью. а

45 . второй нагревательный элемент размещен внутри первого со смещением оси в вертикальной плоскости, относительно первого и его стержни установлены по всему периметру цилиндрической поверхности, причем

1713123

Оа

0 1

00а

0 8

I (3}8 0 00а Q

Оа ° Оа-у ф7иа2

Составитель А.Ходатаева

Редактор Л.Пчолинская Техред М.Моргентал . Корректор И.Муска

Заказ 545 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород. ул,Гагарина, 101