Голографический способ определения рельефа поверхности

 

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано при бесконтактном контролерельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими методами. Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос. Для этого освещают объект через фотопластину m коллимированными пучками когерентного излунения, равноотстоящими по углу на величину До:, удовлетворяющую соотношению Да « 2 tg a/m. Записывают на фотопластинке голограмму во встречных пучках, восстанавливают ее и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.елСИзобретение относится к области метрологии и может найти применение при бесконтактном контроле рельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими способами.Известен голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что производят боковое освещение коллимированными пучками когерентного излучения, повернутыми друг относительно друга на угол Да, записывают голограмму в наклонных пучках, ре'гистрирую'т интерференционную картину, по которой определяют рельеф пхэверхности.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к поверхности фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.Однако известный способ обладает невысокой точностью.Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос.Указанная цель достигается тем, что согласно голографическому способу, определения рельефа поверхности, заключающемуся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками .когерентного излучения, ориентированны- 1У1И под малыми углами «к нормали к плоско-Ь.CJелhO^

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 G 01 В 11/04, 9/023

ОП ИСАН И Е И ЗОБ РЕТЕ Н

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4773717/28 (22) 30.10.89 (46) 23,02.92. Бюл. 1Ф 7 (71) Белорусский научно-исследовательский институт неврологии, нейрохирургии и физиотерапии и Институт физики АН БССР (72) Л,И,Рачковский, Л,B.Òàíèí и И.Л.Дро. бот (53) 531.617.2 (088.8) (56) Н en s paw P.D., Ezekiei — Optics

Communications, v. 12, N 1, 1974, р. 39 — 42. (54) ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано при бесконтактном контроле

Изобретение относится к области метрологии и может найти применение при бесконтактном контроле рельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими способами.

Известен голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что производят боковое освещение коллимированными пучками когерентного излучения, повернутыми друг относительно друга на угол Ла, записывают голограмму в наклонных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку колли Ы,, 1714352 А1 рельефа поверхности объектов с различной формой и степенью шероховатости голографическими методами. Целью изобретения . является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос. Для этого освещают объект через фотопластину а коллимированными пучками когерентного излучения, равноотстоящими по углу на величину Ьа, удовлетворяющую соотношению Ла «2 tg а/m, Записывают на фотопластинке голограмму во встречных пучках, восстанавливают ее и регистрируют интерференционную картину, по которой

on редел я ют рел ьеф поверхности. мированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами а к нормали к поверхности фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках, регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности.

Однако известный способ обладает неВЫСОКОЙ ТОЧНОСТЬЮ.

Целью изобретения является повышение точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения центров интерференционных полос.

Указанная цель достигается тем, что согласно голографическому способу, определения рельефа поверхности, заключающемуся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами ак нормали к плоско1714352

Глубинный интервал между контурными полосами при угле наблюденияфопределяется выражением

45

Составитель B.Êïèìîâà

Редактор В.Бугренкова Техред M.Ìoðãåíòàë Корректор M.Äeì÷èê

Заказ 682 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород,.ул.Гагарина, 101 сти фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму, во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, объект освещают m пучками, 5 равноотстоящими по углу на величину Ьа, удовлетворяющую условию

Лц< 219а

П1

Способ реализуют следующими образом.

Регистрация контурной карты объекта осуществляется по схеме во встречных пучках. Опорный пучок представляет собой 15 коллимированный лазерный свет, падающий на голографическую пластинку под малым углом а к нормали ее плоскости.

Выполняется первая экспозиция. Перед второй и последующими экспозициями объ- 20 ект и пластинку поворачивают вместе на угол Ла. После регистрации голографических изображений на одну пластинку ее проявляют. В результате многолучевой интерференции на восстановленном изобра- 25 жении образуются контурные полосы.

Вместо поворота объекта и пластинки мож-, но поворачивать соответствующим образом освещающий пучок, либо освещать объект через пластинку одновременно m коллими- 30 рованными пучками когерентного излучения, равноотстоящими по углу на величину

Ло, удовлетворяющую условию

2tga

m 35

Лz—

Ла sin (а - j3)

В проведенном эксперименте в качестве источника используют гелий-неоновый лазер (1= 0,6328 мкм). Объектом служит воздушный клин между голографической пластинкой и металлической плоскостью. Угол падения пучка на пластинку составляет а =

= 0,0863 рад, угол поворота Ла = 2,56;10 рад, а угол наблюдения P = 0,785 рад. При этом глубинный интервал составляет 228 мкм.

Формула изобретения

Голографический способ определения рельефа поверхности, заключающийся в том, что освещают объект через фотопластинку коллимированными пучками когерентного излучения, ориентированными под малыми углами Q к нормали к плоскости фотопластинки, записывают на фотопластинку голограмму во встречных пучках и регистрируют интерференционную картину, по которой определяют рельеф поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности определения рельефа поверхности за счет более точного определения положения центров интерференционных полос, объект освещают m пучками, равноотстоящими по углу на величину Л а, удовлетворяющую соотношению

Л «2тца