Способ откачки полого негерметичного изделия в вакуумной камере

 

Сущность изобретения: вакуумную камеру (К) 1, содержащую основные средства откачки (ОС) 4, дополнительный адсорбционный насос (Н) 7, снабженный нагревателем (НГ) 9 и подключенный к полости 10 изделия (И) 11, и криоэкраны (Э) 5,6, расположенные вокруг И If, откачивают ОС 4, также охлаждают Э 5, 6 и Н 7. Одновременно с охлаждением Э 5,6 включают НГ 9 Н 7, поддерживают в нем температуру адсорбента 8 выше рабочей путем регулирования мощности нагревателя и после достижения в К 1 высокого вакуума НГ9 отключают. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (Я)5 F 04 8 37/08, 37/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4843966/29 (22) 29;06.90 (46) 23.07;92. Бюл. М 27 (71) Ленинградский политехнический инсти: тут им. М.И.Калинина (72) А.Г.Семенов (56) Авторское свидетельство СССР М 1599577, кл. F 04 В 37/08. 1988. (54) СПОСОБ ОТКАЧКИ ПОЛОГО НЕГЕРМЕ: ТИЧНОГО ИЗДЕЛИЯ B 8АКУУМНОЙ КАМЕРЕ ф

«.,5Ы, 1749543 Al

2 (57) Сущность иэобретейия: вакуумную ка. меру (К} 1. содержащую основнйе средства откачки (ОС) 4, дополнительный адсорбци.онный насос (Н) 7, снабженный нагревателем (НГ) 9 и подключенный к полости 10 . ивделия (И} 11, и криоэкрайй (3) 5,6, расположенные вокруг И 11, откачивают ОС 4, также охлаждают Э 5, 6 и Н 7. Одновременно с охлаждением 3 5,6 включают НГ 9 Н 7, поддерживают в нем-температуру адсор. бента 8 выше рабочей путем регулирования мощности нагревателя и после достижения в К 1 высокого вакуума Н Г 9 отключают. 1 ил.

1749543

3 4

Изобретение относится к вакуумной случае при реальной емкости адсорбента в технике, а именно к способам обеспечения дополнительном насосе. высокого и сверхвйсокого вакуума снаружи Цель изобретенйя — снижение предельи внутри полых негерметичных изделий, по- ного остаточного давления в полости издемещенных в вакуумную камеру, например 5 лия.

:для их термовакуумиых испытаний. Ожидаемый от использования изобреИзвестны способы откачки полого не- тения положительный эффект позволяет герметичного изделия в вакуумной камере, снизить предельное остаточное давление в содержащей средства откаЧки, внешние полостях изделия и вакуумной камеры йри (механический, йароструйный или иной на- 10 тех же конструктивных параметрах и адсорсос) или внутренние (встроенный адсорбци- бционной емкости дополнительного насоса. онный насос), включающие: откачку. Поставленная цельдостигается тем,что вакуумной камеры и охлаждения криоэкра-.: согласно сйособу откачки полого негермейов, при этом полость изделия ваку мирует- тичйого изделия в вакуумной камере, содер-: ся за счет перепада давлений в ней(Ризд) и 15 жащей основные средства откачки, в камере(Р,), а скорость изменения величи- дополнительный адсорбционный насос, ны Ризд и значение преДельного остаточнО- снабженный нагревателем и подключенный . го давления(Рид)зависятотвелйчины Рк. - к полости изделия, и криоэкраны, располо° При использовании встроенных н кама- женные вокруг изделия, включающему отру адсорбционных насосов последние 20 качку вакуумной камеры основными. включаютсявпроцеСсоткачкипрйохлзжде- средствами откачки, а также охлаждениении адсорбента. : - - криоэкранов и адсорбционнога насоса, преОхлаждение крибэкранов в ряде случа- дусмотрена следующая последовательев(ускоренное охлаждение изделия в среде . ность операций: одйовременно с инертного газа; крио- и криосорбционная 25 охлаждением криоэкранов включаютнагреоткачки как способы получения высокого ва- ватель адсорбционного насоса, поддержикуума - Рк<10 2 Па) йачинзют до достижения вают в нем температуру адсорбента выше высокого вакуума. рабочей путем регулирования мощности на-"

Для ускорейия процесса откачки поло- гревателя, а после достижения в вакуумной стиизделияиобеспечейиянизкйхзначений 30 камере высокого вакуума нагреватель от(Рд), особенно при интенсивном газовыде- ключают, лений внутри изделия, применяют вакуум-: На чертеже йредс зелена вакуумная каные установки с основными средствами мера с устайовленным в ней изделием. откачки и с дополнительным адсорбцион-: Вакуумйая камера с откачиваемым обьным насосом, который снабжен нагревате- 35 емом 1, образованная корпусом 2 и фланлеми подключен кполостийзделия. цем 3, содержит основные средства

Наиболееблизким потехничесКойсущ-, откачки, включающие в себя, например, ности и достигаемому результату к предла- внеаний мехайический насос и размещенгаемому является способ откачки полого ный в камере 1 адсорбент4, криоэкрайй5и... негерметичного изделия в вакуумной каме- 40 6, охлаждаемые хладагентом (например, ре, Содержащей основные средства откач- жидким азотом) и дополйительный адсорбки, дополнительный здсорбционный Assoc, ционный насос в вйде сосуда 7 с адсорбенснабженный нагревателем и подключенный том 8 и нагревателем 9. Дополнительный к полости изделия; а также крйозкраны, рас- адсорбционйый насос подключен к полости положенные вокруг изделия, включающий 45 10 устанавливаемого в объеме камеры 1, откачкувакуумнойкзмерыосновнымисред- охваченной криоэкранами 5 и 6, негерме- .. ствами откачки, а также охлаждение криоэк- тичного изделия 11 и установлен, преммуранов и адсорбционного насоса, :, - щественно, в указанйом обьеме камеры 1

Одйзко при осуществлеиии этогб спосо- посредством теплового моста-кронштейна ба адсорбент дополнительного насоса, ох- 60 12, лаждаясь до рабочей температуры Способ осуществляется следующим об(минимальная температура эффективной разом. работы тканевогб адсорбента КУТ-2, йапри- Откачивают вакуумную камеру основмер, равна 168 «+ + 5 К) эа счет охлаждения ными средствами откачки, охлаждают криокриоэкранов, выходит на рабочий режим 55 Фкрайы и адсорбционный насос и преждевременно, когда давление Рияд со- одновременно включают нагреватель адставляет, как правило, f-0,1 Па, Преждевре- сорбционного насоса, поддерживают в нем менно насыщение здсорбентз не позволяет температуру адсорбента выше рабочей пудостичь значений Рияд<10 Па, во всяком тем регулирования мощности нагревателя, 1749543

Составитель А.Семенов

Редактор С.Патрушева Техред M.Mîðãåíòàë

Корректор А.ВОрович

Заказ 2579 . Тйраж . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r, Ужгород, ул.Гагарина, 101 а последостижения в вакуумной камере вы- ный насос начинает принимать участие в сокого вакуума нагреватель отключают. -откачке полости 10 и камеры 1. За счет пеДля этого откачивают камеру 1 основ- репада давлений Р д>Р» адсорбент поглоными внешними средствами откачки, в час- щает, главным образом, газы из полости 10. . тности механическим насосом, и охлаждают 5 В результате совместной работы основных криоэкраны 5 и 6, подавая их в полости средствоткачкиидополнительногоадсорбхладагента. В случае заполненйя камеры 1 ционного насоса перепад остаточных давлеинертным газом (гелием, азотом) или сухим ний (P„sä) (P„) уменьшается. В зависимости воздухом охлаждать криоэкраны 5 и 6 и от- от конкретных параметров и условий. воз-, качйвать камеру 1 можно начинать одновре- 10 можно достижение равенства или обратноменно; при влажном воздухе охлаждение го перепада давлений: (Р,дЦР,), криоэкранов 5 и 6 начинают не ранее достиженияфорвакуума: Pg<1Па. Одновременно Формула изобретен ия включают йагреватель 9 (основное назначе-. . -, Способ откачки полого негерметичного изние которого — регенерация адсорбента 8) 15 делия в вакуумной камере, содержащей основдополнительного адсорбционйого насоса и:: ные средства откачки, дополнительный поддерживают в нем (посредством регули- адсорбционныйнасос,снабженныйнагреватерования мощности нагревателя) температу-: лем и подключенный к полости изделия, и кри :ру адсорбента 8 выше его рабочей . оэкраны, расположенные вокруг изделия. температуры. Камера дополнительно вакуу- 20 включающий откачку вакуумной камеры основ мируется за счет охлаждения криоэкраном ными Средствами откачки и охлаждения крио5 и 6 и адсорбейта 4; относящегося к основ- экрайов и адсорбционного насоса, о тл и ч а юным внутренним средствам откачки; до вы- шийся тем, что, с целью снижения предель- . сокого вакуума - P <10 Па, После ногоостаточногодавления eполостиизделия, достижения в камере 1 высокого вакуума 25 одновременно с охлаждением криоэкранов .нагреватель 9 отключают, В результате кор- включают нагреватель адсорбционного насо.пус 7 с адсорбентом 8 охлаждается за счет ca, поддержйвают в нем температуру адсортеплообмена с криоэкранами 5 и 6 тепло- бента выше рабочей путем регулирования .: проводностью по кронштейну 12 и излучени- мощности нагревателя, а после достижения в: ем, Последостижения рабочей температуры 30 вакуумной камере высокого вакуума нагреваадсорбента 8 дополнительный адсорбцион- тель отключают.