Устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра

Авторы патента:

H01L21/304 - механическая обработка, например шлифование, полирование, резка

Сущность изобретения: устройство содержит шлифовальный и ведущий барабаны , опору в виде ролика, закрепленного на концах пары рычагов. Другие концы рычагов закреплены на оси вращения шлифовального барабана 2 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 Н 01 1 21/304

ГОСУДАРСТВЕ ННОЕ ПАТЕ НТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ (2 1) 4877060/25 (22) 09,07.90 (46) 23.12.92, Бюл. N. 47 (71) Научно-производственное объединение

"Сибцветметавтоматика" (72) В.А.Абакумов, В.А.Гривач и В.З.Коган (73) Научно-производственное объединение

"Сибцветметавтоматика" (56) Лурье Г.Б. и др. Шлифовальные станкии их наладка, М.: Высшая школа, 1972, с.

217 вЂ” 229.

Заявка Великобритании N. 1291747; кл, В 24 В 5/18, 1972, Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано при производстве полупроводниковых и рибо ров.

Известно устройство для бесцентрового врезного шлифования цилиндрических деталей, содержащее стойку с опорным ножом для установки обрабатываемой детали, шлифовальный и ведущий барабаны; Деталь. лежащая на поверхности onopHoro ножа, посредством ведущего круга получает вращение и прижимается к шлифовальному кругу. Недостатком известного устройства является жесткое крепление опорного ножа, требуют е ручной перестановки при изменении диаметра обрабатываемой детали, что не позволяет его эффективно использовать в производстве с часто меняющейся номенклатурой изделий.

Наиболее близким по решаемой задаче к заявленному устройству является устройство для бесцентрового шлифования изде„„ЯЦ„„1784105 А3

2 (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСЦЕНТРОВОГО

ШЛИФОВАНИЯ ИЗДЕЛИЙ РАЗЛИЧНОГО

ДИАМЕТРА (57) Сущность изобретения: устройство содержит шлифовальный и ведущий барабаны, опору в виде ролика, закрепленного на концах пары рычагов. Другие концы рычагов закреплены на оси вращения шлифовэльно- . го барабана, 2 ил, лий различного диаметра, содержащее шлифующий и ведущий барабаны и опору в виде Я ножа. Недостатком данного устройства является необходимость перенастройки опоры при переходе на другой диаметр заготовки. Ч

ОО

Цель изобретения вЂ” автоматическая пе- ф реналадка устройства при обработке изде-лий разного диаметра, На фиг, 1 изображена схема устройства: на фиг, 2 вЂ” разрез А вЂ” А на фиг. 1.

Устройство состоит из шлифовального барабана 1, эластичного ведущего бэрэбэн»

2, опорного ролика 3, закрепленного нэ кон- () цах пары рычагов 4. причем рычаги устэнов. лены соосно шлифовальному барабан 1 и опираются на механизм выдвижения упоров, который состоит из собственно упоров

5, кулачков 6 и дискретного привода 7. Н поверхность ролика 3 опирается монокристалл 8.

1784105

Устройство работает следующим образом, Дискретный привод 7 поворачивает кулачки 6 и выдвигает упоры 5 на размер. пропорциональный диаметру обрабатываемого монокристалла 8. так чтобы ось монокристалла 8 возвышалась над осью центров барабанов 1 и 2 на постоянную величину, которая определяется экспериментально и равна 14 мм. Рычаги 4 опускают до соприкосновения с упорами 5, в результате монокристалл 8 опускается из позиции загрузки на позицию обработки. Ведущим барабаном 2 прижимают монокристалл 8 к шлифовальному барабану 1 и сообщают вращение барабанам 1 и 2, В процессе обработки подают ведущий барабан 2 на монокристалл 8 до получения требуемого диаметра изделия. По завершении обработки отводят барабан 2 и поднимают. рычаги 4 и перемещают отшлифованный монокристалл 8 на выгрузку.

Внедрение предлагаемого устройства позволяет осуществить создание гибкой производственной системы по обработке монокристаллов полупроводниковых мате5 риалов, ликвидировать продолжительные ручные операции при изменении параметров обрабатываемых изделий. поднять про- . изводительность труда.

10 Формула изобретения

Устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра, содержащее шлифовальный и ведущий барабаны и опору, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, r.

15 целью автоматической переналадки, оно дополнительно содержит пару рычагов. упоры с механизмом их выдвижения, а опора выполнена в виде ролика. закрепленного на концах пары рычагов. опирающихся нэ упо20 ры. причем другие концы рычагов закреплены на оси вращения шлифовального барабана.

1784105

©и8 2

Составитель А,Щитов

Техред М.Моргентал

Редактор Т.Шагова

Корректор И.Шулла

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 4530 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Устройство для бесцентрового шлифования изделий различного диаметра

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в производстве высокочастотных интегральных схем и приборов на стадии утонения подложки с нерабочей стороны до толщины 30 мкм и более

Способ изготовления полупроводниковых структур // 1738035

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при механическом утонении полупроводниковых структур при производстве полупроводниковых приборов

Способ изготовления кремниевых пластин с геттерирующими центрами в объеме пластины // 1340492

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на расширение области применения способа для кремния с содержанием кислорода 51015-91017 см-3 Цель достигается тем, что данный способ изготовления кремниевых пластин с геттерирующими центрами в объеме пластины включает проведение двухступенчатого отжига при 650 750°С и 950 1000°С в течение 3 4 ч на каждой стадии

Способ изготовления пластин // 1241940

Устройство для шлифования монокристаллов // 1213907

Устройство для изготовления фаски на круглых пластинах // 1123474

Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах

Устройство для шлифования микрокристаллов // 1116913

Способ получения полупроводниковых приборов с переменной емкостью // 510059

Способ шлифовки монокристалловс алмазоподобной кристаллическойрешеткойвп тбфонд 3hoileptq8i // 435925

Способ удаления выступающих дефектов с поверхности эпитаксиальных слоев // 433570

Устройство для обработки кромок пластин // 2109370

Способ резки полупроводниковых монокристаллов на пластины // 2137251

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при изготовлении полированных пластин из полупроводниковых материалов

Способ одновременной обработки кромок пластин и устройство для его осуществления // 2143156

Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин // 2163408

Устройство для снятия фаски при финишной обработке полупроводниковых пластин // 2168796

Абразив из оксида церия и способ полирования подложек // 2178599

Изобретение относится к абразиву из оксида церия и способу полирования подложек

Способ резки объемных монокристаллов карбида кремния // 2202135

Изобретение относится к технологии электронного приборостроения

Способ позиционирования пластин из полупроводниковых материалов в координатной системе отсчета установки для абразивной резки пластин на "чип"ы // 2220474

Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологиях изготовления как дискретных полупроводниковых приборов, так и интегральных микросхем в процессе позиционирования исходных полупроводниковых пластин-подложек (например, на основе монокристаллического кремния) перед операцией их разделения на отдельные структуры ("ЧИП"ы)

Способ геттерирующей обработки полупроводниковых пластин // 2224330

Изобретение относится к микроэлектронике

Способ получения пластин для солнечных элементов из мультикристаллического кремния // 2231867

Изобретение относится к области полупроводниковых преобразователей солнечной энергии, в частности к получению пластин из мультикристаллического кремния для изготовления солнечных элементов (СЭ)