Способ тренировки электровакуумных приборов тлеющего разряда

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I8I200

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлсно 12,111.1962 (№ 768790/24-7) с присоединением заявки №

Приоритет

Кл. 21f, 82/02

21<, 40

Комитет по двлзтх изо0ретеиий и открытий при Совете Миииотров

СССР

»ПК Н 011

Н 01) УДК 621.327.42.032.94 (088,8) Опубликовано 15.IV.1966. Бюллетень ¹ 9

Дата опубликования описания ЗОЛ .1966

1

1т:..!д . Ы:т1АЯ

Автор изобретения

Н. Д. Кирсанов

Заявитель

Бик iH0TEh À

СПОСОБ ТРЕНИРОВКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ

ПРИБОРОВ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Технологический процесс изготовления высокостабильных приборов тлеющего разряда предусматривает обработку (тренировку) арматуры прибора в тлеющем разряде при низких давлениях (порядка 1,5 — 3 лтл рт. ст.) инертного газа на откачном тренировочном посту.

В процессе тренировки между специальным дополнительным электродом, служащим только для тренировки лампы и выполняющим роль анода, и рабочими электродами, имеющими отрицательный потенциал и служащими катодом, создается аномальный тлеющий разряд. При ьозникновении разряда электроды с отрицательным потенциалом распыляются под действием ионной бомбардировки, и распыляющиеся частицы осаждаются на колбе прибора.

Получив плотный слой налета металла на колбе, производят частую замену инертного газа, вызванную тем, что во время тренировки из электродов лампы выделяются различные примеси других газов (кислорода, азота и т. д.), которые загрязняют основной инертный газ.

Для сокрашения времени тренировки, уменьшения расхода наполняющего инертного газа, а также для возможного упрощения конструкции прибора предложено при тренировке в качестве вспомогательного анода использовать плазму, образуемую на откачном посту трелющим разрядом между двумя электродами под действием переменного напряжения.

На чертеже показана схема устройства для тренировки электровакуумных приборов тлеющего разряда по предложенному способу.

Плазменный насос 1 представляет собой два титановых цилиндра 2 и 8; 4 — арматура

10 и 5 — штенгели тренируемых электровякуумных приборов, Трубка б ведет к откачному посту.

В гребенку пускают инертный гяз малого

15 давления, На титановые цилиндры 2 и 8 подают переменное напряжение U (частота

50 гц). Титановые цилиндры образуют разрядный промежуток I. Под действием ионной бомбардировки титан распыляется. При пода20 че на арматуру вакуумного прибора отр цательного потенциала U относительно титановых цилиндров в пространстве «титановый цилиндр-штенгель 5 — арматура 4» возникает тлеющий разряд (разрядный промежуток П).

2> Анодом служит плазма, образованная разрядом между цилиндрами, а катодом — арматура 4, которую обрабатывает бомбардировка ионами, сформированными в разрядном промежутке О. Газы, выделяющиеся под дейст30 вием ионной бомбардировки нз арматуры

181200

Составитель В. Сольц

Редактор Е. А. Кречетова Техред Л. К. Ткаченко Корректоры. Г. Е. Опарина и Т. В. Муллина

Заказ 1281/5 Тираж 1100 Формат бум. 60 X 93 /s Объем 0,16 изд. л. Подписное

Ц!1ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр, Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 прибора, непрерывно поглощаются плазменным титановым насосом. В результате загрязнений инертного газа не происходит и тренировку на посту можно успешно осуществлять без смены газа.

Приборы, подвергнутые тренировке по предлагаемому способу, при котором электроды приборов все время обрабатываются в чистой инертной среде, обладают лучшими электрическими параметрами по сравнению с приборами, тренированными иными методами при прочих равных условиях. Отсутствие в электровакуумных приборах, откачиваемых по описанному способу, дополнительного электрода, упрощает их конструкцию. Длительность процесса тренировки значительно сокращается. Снижается расход инертного газа, используемого при тренировке.

Предмет изобретения

Способ тренировки электровакуумных приборов тлеющего разряда на откачном посту путем создания электрического разряда между рабочими электродами лампы и вспомогательным анодом, отпича ои1ийся тем, что, с

10 целью сокращения времени тренировки, уменьшения расхода наполняющего инертного газа и возможности упрощения конструкции прибора, в качестве указанного анода используют плазму, образуемую на откачном посту тлеющим разрядом между двумя электродами под действием переменного напряжения.