Сорбционньш вакуумный насос

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтеких

Водиелиотичвоких

Реооублии

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 11.Ч.1965 (№ 1006788/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.VII.1966. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 27Х1П.1966

Кл. 27d, 3/02

МПК F 04f

УДК 533.582 (088.8) Комитет по долоте изобретениЯ и открытий ори Совете Миниотров

СССР

«

Авторы изобретения

Е, Н. Мартинсон, К. Н. Мызников, А. Г. Нестеренко и Ф, Я. Лейн

Заявитель

СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Известны сорбционные вакуумные насосы, использующие в качестве геттера смесь щелочного и щелочноземельного металлов. Также известны сорбционные насосы, содержащие сосуд со щелочноземельным металлом, используемым в качестве геттера, и устройство для его очистки. В таких насосах устройство для очистки геттерного металла значительно усложняет конструкцию насоса, кроме того, металл не очищается от летучих примесей, которые, уменьшая его сорбирующие свойства, снижают скорость откачки насоса.

Предлагаемый сорбционный насос отличается от известных тем, что в качестве средства для очистки щелочных металлов использована металлическая мембрана, закрывающая сосуд со щелочными металлом, обеспечивающая выход из сосуда только щелочного металла.

Мембрана выполняется, например, из нержавеющей стали или титана.

На чертеже изображен предлагаемый насос в разрезе.

В корпусе 1 насоса расположен охлаждаемый водой или жидким азотом медный экран

2, на который напыляется щелочной металл из сосуда 8. Сосуд закрыт мембраной 4, обеспечивающей выход из сосуда только щелочного металла и выполненной из нержавеющей стали или титановой жести толщиной около

0,5 мм, Проникновение щелочного металла, например лития, через мембрану обусловливается селективной диффузией щелочного металла при повышенных температурах (700 С), при этом примеси остаются в сосуде. Сосуд выполнен из металла, например нержавеющей стали. Нагрев сосуда в насосе осуществляется индукционной катушкой 5 или прямонакальным электронагревателем.

Пополнение щелочного металла в сосуде по мере его расхода происходит путем подачи его в сосуд из бачка б. Количество поступающего в сосуд щелочного металла регулируется игольчатым вентилем 7. Загрузка щелочного металла в бачок производится в нейтральной среде (аргон).

Насос подсоединяется к системе и откачивается вспомогательным пароструйным насосом до давления 10 — 10 6 тор. Затем сосуд прогревается до температуры 700 — 750 С и в него подается щелочной металл из бачка. Чтобы обеспечить подвижность рабочего вещества — щелочного металла, бачок и трубопровод прогреваются до температуры плавления щелочного металла, например до 200 C — в случае использования лития.

Предмет изобретения

1. Сорбционный вакуумный насос, содержа30 щий сосуд со щелочным металлом, используе

Сорбционньш вакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом

Изобретение относится к испаряемому газоулавливающему устройству с уменьшенным временем активации

Изобретение относится к индикаторной технике, точнее к вакуумным катодолюминесцентным индикаторам с полевой эмиссией

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано в лабораторных условиях для гашения вибраций в вакуумных установках при использовании различных ротационных откачивающих устройств
Наверх