Патент ссср 186126

 

О П И C А Н И Е ISSI2S

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07.XI I.1963 (№ 869387/23-5) с присоединением заявки №

Пр иоритет

Опубликовано 12.1Х.1966. Бюллетень № 18

Дата опубликования описания 14.Х.1966

Кл. 39b, 22/06

МПК С 08f

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 771.523,6:678.742,2 (088.8) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО МАТЕРИАЛА

Предмет изобретения

Изобретение относится к технологии получения светочувствительных материалов для электронной техники.

Известны способы получения светочувствительных полимерных материалоЬ, основанные на том, что светочувствительный слой готовят из растворов полимеров (полиэтилена, поливинилхлорида, полиизобутилепа, поливинилового спирта и т. д.), содержащих сенсибилизаторы.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в состав светочувствительного слоя входит хлорсульфированный полиэтилен, обладающий после облучения ультрафиолетовым светом высокой химической стойкостью.

Способ позволяет получить светочувствительпый материал (фоторезист) с повышенной химической стойкостью.

Сущность способа состоит в следующем.

Готовят 2%-ный расгвор хлорсульфированного полиэтилена в трихлорэтилене с добавкой 2 — 10% от веса полимера сенсибилизатора (кетон Михлсра, бензофенон). Раствор наносят на поверхность медной фольги и высушивают. После сушки на фольге образуется светочувствительный слой, который экспонируют через негагив ультрафиолетовым светом от лампы ПРК-4 в течение 5 — 15 ->tuH,. После экспозиции светочувствительный слой обрабатывают смесью трихлорэтилена и четыреххлористого углерода в соотношении 1: 2. Неосвещенные участки при этом растворяются, и па фольге образуется рельефное изображение из полимера, обладающего повышенной хнмиче1î ской стойкостью благодаря его структурированию под действием ультрафиолетового излучения.

Способ получения светочувствительного материала может найти практическое примене15 ние в электронной технике.

Способ получения светочувствительного ма20 тернала (фоторезнста) нанесением на подложку раствора полимера, содержащего сенсибилизатор, отличаютиийся тем, что, с целью получения материала с повышенной химической стойкостью, в качестве полимера исполь25 зуют хлорсульфированный полиэтилен.

Патент ссср 186126 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к области переработки высокомолекулярных веществ в пористые материалы

Изобретение относится к асбестотехнической промышленности, в частности к способу изготовления прокладочного материала, применяемого в основном для изготовления прокладок, используемых в двигателях внутреннего сгорания

Изобретение относится к новым смесям винилинденхлоридных сополимеров, пригодных для использования в качестве барьерного слоя в пленке для упаковки, например, мяса

Изобретение относится к способу крепления между собой резин на основе несовулканизующихся каучуков: ненасыщенного общего назначения и насыщенного

Изобретение относится к переработке пластмасс, а именно: к технологии получения термостойких электроизоляционных материалов на основе полиимидных пленок с фторопластовым покрытием
Наверх