Способ нанесения диэлектрических пленок

Авторы патента:

C23C14/08 - оксиды (C23C 14/10 имеет преимущество)

О П И С А Н И Е l87852

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

"+Ъ

1 в

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21а, 73

Заявлено 15Х.1 963 (№ 951650/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 20.Х,1966. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 16.ХП.1966

МПК Н 01п

УДК 539.234(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Д. Г. Цитрон и С. И. Мишук

Заявитель

СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКПхИЧЕСКИХ

ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Известны способы испарения диэлектриков в вакууме в процессе нанесения их на основание.

Особенностью предложенного способа нанесения диэлектрических пленок на основание является то, что подъем диэлектрика производят электрическим полем высокого напряжения, а испарение вЂ” тепловым ударом в зоне высоких температур. Это обеспечивает более высокую степень однородности пленок по толщине и химическому составу.

На чертеже изображено устройство, реализующее предложенный способ.

Резервуар 1 устройства заполнен порошком диэлектрика и закрыт сеткой 2, находящейся под отрицательным потенциалом. Порошок диэлектрика поднимается, проходит испаритель 8 и в виде атомно-молекулярного пара осаждается на поверхность основания 4.

Способ нанесения диэлектрических пленок на основание, осуществляемый в вакууме, от10 личаюи1 ий ся тем, что, с целью повышения степени однородности пленок по толщине и химическому составу, подъем диэлектрика производят электрическим полем высокого напряжения, а испарения диэлектрика вЂ теп15 ловым ударом в зоне высоких температур.

187852

Составитель Э. Фролова

Тсхред Л. К. Ткаценко Корректоры: В. В. Крылова и О. Б. Тюрина

Редактор И. С. Грузова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3632/8 Тираж 1175 Формат бум. 60><90 /з Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к магнетронному распылению электропроводящих покрытий в среде реактивных газов, и может быть использовано для получения прозрачных электродов и прозрачных электрообогревательных элементов

Деталь, изготовленная из суперсплава с системой защитного покрытия // 2165478

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Низкоэмиссионное покрытие, нанесенное на прозрачную подложку // 2190692

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению покрытий с помощью магнетронного распыления на постоянном токе на прозрачные материалы, например стекло или полимерные пленки

Устройство для ионно-плазменного нанесения пленок в вакууме // 2193074

Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме, а именно к устройствам ионно-плазменного распыления магнетронного типа, и может быть использовано для нанесения пленок, применяемых в изделиях электронной, приборостроительной, оптической и других отраслях промышленности, в частности, в качестве оптических покрытий и чувствительных слоев газовых сенсоров

Деталь и способ нанесения теплоизоляционного покрытия на нее // 2194798

Изобретение относится к детали, в частности к лопатке газовой турбины, содержащей основную часть и расположенный на ней теплоизоляционный слой, который имеет столбчатую структуру с керамическими столбиками, которые в большинстве направлены в основном перпендикулярно поверхности основной части

Способ обработки циркониевых сплавов // 2199607

Изобретение относится к области защиты от термической коррозии изделий, применяемых в ядерной энергетике, в частности труб технологических каналов и оболочек тепловыделяющих элементов, и направлено на повышение коррозионной стойкости

Отражающее покрытие // 2206634

Изобретение относится к области отражающих покрытий, в том числе и теплозащитных, и может быть использовано для защиты человека в условиях его пребывания в обстановке высокого теплового и радиационного воздействия

Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов // 2217526

Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для выравнивания поверхности оксидных материалов

Ионно-лучевая установка выравнивания поверхности оксидных материалов // 2217527