Способ получения трафаретной печатной формы на основе жидкой фотополимеризующейся композиции

 

Изобретение может быть использовано в производстве газоразрядных индикаторных панелей. При способе изготовления на сетчатой основе размещают микрорельефный фотошаблон с углублениями на участках , прозрачных для ультрафиолетового излучения со стороны сетчатой основы, заполняют ячейки основы и углубления рельефного фотошаблона жидкой фотополимеризующейся композицией (ЖФПК), проводят ее экспонирование и проявление, после чего со стороны заполимеризованной композиции размещают основной фотошаблон , располагая его непрозрачные участки над отверстиями заполимеризованной композиции , заполняют ячейки сетчатой основы ЖФПК, экспонируют и проявляют. 5 ил. со d 00 н | ел О

О Г-«о t

Н

00

Формула изобретения

р

50

Изобретение относится к областям техники , применяемым в методах трафаретной печати, и может быть использовано для изготовления печатных форм в производстве газоразрядных индикаторных панелей.

Целью данного изобретения является повышение качества трафаретной печатной формы за счет уменьшения влияния сеточной основы на формирование печатающих элементов.

На фиг. 1-5 приведены этапы изготовления трафаретной печатной формы.

На сетчатой основе 1 размещают рельефяый фотошаблон 2. После этого на сетку наливают ЖФПК 3, поверх которой накладывают пленку 4 толщиной 0,025-0,05 мм и с помощью ракеля под ней разравнивают ЖФПК 3 и проводят через фотошаблон 2 облучение. Затем пленку 4 и фотошаблон 2 удаляют, а полученный рисунок проявляют соответствующим раствором. В результате получаем сетку 1, находящую в заполимеризованном слое ЖФПК 5 и рисунок 6 в виде пробельных мест. На этот трафарет со стороны полученного растра накладывают фотомаску 7, совмещая непрозрачные для ультрафиолетового излучения участки пробельными местами. Целесообразно, чтобы темные {непрозрачные для ультрафиолетового излучения) участки фотомаски 7 были по ширине уже пробельных мест 6 на трафарете . В этом, случае значительно повышается разрешающая способность за счет уменьшения эффекта рассеивания ультрафиолетового излучения при экспонировании .

После размещения фотомаски 7 пробельные места на трафарете с помощью ракеля через пленку заполняют ЖФПК 3 и проводят экспонирование и проявление. В

Форм у л а и з о бретения

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ НА ОСНОВЕ ЖИДКОЙ ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩЕЙСЯ КОМПОЗИЦИИ, преимущественно для микросхем, заключающийся в изготовлении на сетке-основе фотополимерной копии экспонированием через фотомаску жидкой композиции и проявлении копии путем удаления незаполимеризовавшихся участков, отличающийся тем, что, с целью повышения качества формы за счет уменьшения влияния сеточной основы на формирование печатаюрезультате получаем высококачественную трафаретную печатную форму.

Пример. Изготовление трафаретной печатной формы с размером рабочего поля

350 х 350 мм толщиной композиции над сеткой - 0,07 мм, шириной отверстий - 0,07 мм.

На сетчатой основе размещают рельефный фотошаблон размеров 350 х 350 мм с

пазами шириной 0,15 мм при шаге 0,5 мм и глубиной 0,07 мм. Затем на сетку наливают ЖФПК Ликофот-2Т. На него накладывают полиэтилентерофталатную пленку толщиной 0,05 мм и через нее полиуреъановым

ракелем заполняют ячейки сетчатой основы и пазы в рельефном фотошаблоне ЖФПК. Затем со стороны рельефного фотошаблона проводят облучение в течение 6 минут. Пленку и фотошаблон снимают и

проводят проявление в 1,5% растворе карбоната натрия. Затем на сформированной растровой структуре размещают фотомаску с шириной темных линий 0,07 мм, шагом 0,5 мм совмещая с отверстиями на трафарете.

Вторично наливают ЖФПК. Накладывают пленку и через нее ракелем заполняют отверстия на трафарете, проводят экспонирование в течение 4 мин и проявление в том же растворе.

Изготовленная таким образом трафаретная печатная форма имеет толщины заполимеризованной композиции над сеткой 0,07± ± 0,007 мм, ширину отверстий 0,7 ±0,005 мм. При этом точность нанесения слоя заполимеризованной композиции в 3-5 раз выше по сравнению с точностью нанесения получаемой любым известным способом изготовления трафаретной печатной формы. Разрешающая способность при изготовлении предлагаемым способом повышается в 2 раза.

щих элементов, перед экспонированием 45 осуществляют формирование растровой структуры на сетке-основе путем облучения фотополимеризующейся композиции через рельефный фотошаблон, в качестве которого используют прозрач- 50 ную для ультрафиолетового излучения основу с выполненными на ее рабочей поверхности непрозрачными участками с шагом, кратным шагу элементов фотомаски , с последующим удалением неза55

полимеризовавшихмя участков композиции , при этом фотошаблон размещают на рабочую поверхность сетки.

ф(/2 S

Г t t t t I I

фи2. 2

физ.З

W/

(а> ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

4И 4 О

Комитет Российской Федерации по патентам и товарным знакам к авторскому свидетельству (21) 4714304/12 (22) 03.07.89 (46) 10.03.96 Бюл. № 7 (72) Ивлюшкин А.Н., Покрывайло А.Б., Устьянцев В.Л., Холостов .Н.В., Чуриков

С.А. (7i) Научно-производственное объединение

"Плазма" (56) "Приборы и системы управления", N

7, 1979, с.35. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ НА ОСНОВЕ

ЖИДКОЙ ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩЕЙСЯ

КОМПОЗИЦИИ (57) Изобретение может быть использовано в производстве гаэоразрядных индикаторных панелей. При способе изготовления на (19> SU (ii) 1817579 (1З) А1 (51) 6 G ОЗ F 7/12 В 41 С 1/14 сетчатой основе размещают микрорельефный фотошаблон с углублениями на участках, прозрачных для ультрафиолетового излучения со стороны сетчатой основы, заполняют ячейки основы . и углубления рельефного фотошаблона жидкой фотополимеризующейся композицией (ЖФПК), проводят ее экспонирование и проявление, после чего со стороны заполимеризованной композиции размещают основной фотошаблон, располагая его непрозрачные участки над отверстиями заполимеризованной композиции, заполняют ячейки сетчатой основы ЖФПК, экспонируют и проявляют. 5 ил.

1817579 результате получаем высококачественную трафаретную печатную форму, Пример. Изготовление трафаретной печатной формы с размером рабочего поля

350 х 350 мм толщиной композиции над сеткой — 0,07 мм, шириной отверстий — 0,07 мм, На сетчатой основе размещают рельефный фотошаблон размеров 350 х 350 мм с пазами шириной 0,15 мм при шаге 0,5 мм и глубиной 0,07 мм. Затем на сетку наливают

ЖФПК "Ликофот — 2Т". На него накладывают полиэтилентерофталатную пленку толщиной 0,05 мм и через нее полиуретановым

15 ракелем заполняют ячейки сетчатой основы и пазы в рельефном фотошаблоне

ЖФПК. Затем со стороны рельефного фотошаблона проводят облучение в течение 6 минут, Пленку и фотошаблон снимают и

20 проводят проявление в 1,5 растворе карбоната натрия. Затем на сформированной растровой структуре размещают фотомаску с шириной темных линий 0,07 мм, шагом 0,5 мм совмещая с отверстиями на трафарете.

Вторично наливают ЖФПК. Накладывают пленку и через нее ракелем заполняют отверстия на трафарете, проводят экспонирование в течение 4 мин и проявление в том же растворе, Изготовленная таким образом трафаретная печатная форма имеет толщины заполимеризованной композиции над сеткой 0,07+

+. 0,007 мм, ширину отверстий 0,7 +0,005 мм.

При этом точность нанесения слоя запо35 лимеризованной композиции в 3-5 раз выше по сравнению с точностью нанесения получаемой любым известным способом изготовления трафаретной печатной формы, Разрешающая способность при изготовле40 нии предлагаемым способом повышается в

2 раза, микросхем, .заключающийся в изготовле- 50

Изобретение относится к областям техники, применяемым в методах трафаретной печати, и может быть использовано для изготовления печатных форм в производстве газоразрядных индикаторных панелей.

Целью данного изобретения является повышение качества трафаретной печатной формы за счет уменьшения влияния сеточной основы на формирование печатающих элементов, На фиг. 1 — 5 приведены этапы изготовления трафаретной печатной формы.

На сетчатой основе 1 размещают рельефный фотошаблон 2. После этого на сетку наливают ЖФПК 3, поверх которой накладывают пленку 4 толщиной 0,025-0,05 мм и с помощью ракеля под ней разравнивают

ЖФПК 3 и проводят через фотошаблон 2 облучение. Затем пленку 4 и фотошаблон 2 удаляют, а полученный рисунок проявляют соответствующим раствором. В результате получаем сетку 1, находящую в заполимеризованном слое ЖФПК 5 и рисунок 6 в виде пробельных мест. На этот трафарет со стороны порученного растра накладывают фотомаску 7, совмещая непрозрачные. для ультрафиолетового излучения участки пробельными местами. Целесообразно, чтобы темные (непрозрачные для ультрафиолетового излучения) участки фотомаски 7 были по ширине уже пробельных мест 6 на трафарете. В этом. случае значительно повышается разрешающая способность за счет уменьшения эффекта рассеивания ультрафиолетового излучения при экспонировании.

После размещения фотомаски 7 пробельные места на трафарете с помощью ракеля через пленку заполняют ЖФПК 3 и проводят экспонирование и проявление; В

Формула изобретения

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРАФАРЕТНОЙ ПЕЧАТНОЙ ФОРМЫ НА ОСНОВЕ

ЖИДКОЙ ФОТОПОЛИМЕРИЗУЮЩЕЙСЯ

КОМПОЗИЦИИ, преимущественно для нии на сетке-основе фотополимерной копии экспонированием через фотомаску жидкой композиции и проявлении копии путем удаления незаполимеризовавшихся участков, отличающийся тем, что, с целью повышения качества формы за счет уменьшения влияния сеточной основы на формирование печатающих элементов, перед экспонированием осуществляют формирование растровой структуры на сетке-основе путем облучения фото пол имеризую щейся композиции через рельефный фотошаблон, в качестве которого используют прозрачнуюю для ультрафиолетового излучения основу с выполненными на ее рабочей поверхности непрозрачными участками с шагом, кратным шагу элементов фотомаски, с последующим удалением незаполимеризовавшихмя участков композиции, при этом фотошаблон размещают на рабочую поверхность сетки.

1817579 фиа 3

Составитель Л.Носырева

Техред.М.Моргентал Корректор A.oáðó÷àð

Редактор Л. Волкова

Заказ 1621

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101