Способ получения тонкослойного защитного покрытия

 

Использование: микроэлектроника и лакокрасочная промышленность. Сущность: нанесение на подложку раствора кремнийорганического олигомера в органическом растворителе, удаление растворителя и отвеждение покрытия у-облучением дозой не менее дозы, необходимой для гелеобразования олигомера. Кремнийорганический олигомер - полидиметилфенилсилсесквиоксановый блок-сополимер, пояидйметилсилоксан, полиметилфенилсилоксан. Относительная (медианная ) долговечность покрытия (rso) составляет 10-480 ч. 2 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕН-ЮЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ (21) 4947269/05 (22) 19,06.91 (46) 30.05.93. Бюл. № 20 (71) МГУ им. М.В.Ломоносова (72) Л.Н.Панкратова, О.Ю.Панов, В.Б.Нестеров, Л,Т.Бугаенко, Б,Г,Завин и А.Ю.Рабкина (73) Л.Н,Панкратова (56) Левин B.Þ. и др. Структура и свойства полидиметилфенилсилсесквиоксановых блок-сополимеров. — Высокомолекулярные соединения, 1989, т. 31 А, ¹ 3, с. 552;

Олигоорганосилоксаны, Свойства, получение, применение./Под ред. М.В.Соболевского. M.: Химия, 1985, с. 224.

Хананашвили Л.М.,и Андрианов K.À.

Технология элементоорганических мономеров. М.: Химия, 1983, с, 257.

Изобретение относится к области высокомолекулярных соединений, в частности к способам получения кремнийорганических (полиорганосилоксановых) покрытий и может найти применение в микроэлектронике и лакокрасочной промышленности.

Целью изобретения является повышение времени защитного действия получаемого покрытия.

Указанная цель достигается тем, что в способе получения тонкослойного защитного покрытия, включающем нанесение на подложку раствора кремнийорганического олигомера в органическом растворителе и

его отверждение, отверждение проводят после удаления растворителя, р-облучением дозой не менее дозы, необходимой для гелеобразования олигомера.

„,5U „„1819163 А3

rsi)s В 05 О 1/00, С 09 0 183/04 (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНОГО ЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ (57) Использование: микроэлектроника и лакокрасочная промышленность. Сущность: нанесение на подложку раствора кремнийорганического олигомера в органическом растворителе, удаление растворителя и отвеждение покрытия у-облучением дозой не менее дозы, необходимой для гелеобразования олигомера,Кремнкйорганический олигомер - полидиметилфенилсилсесквиоксановый блоксополимер, полидиметилсилоксан. полиметилфенилсилоксан. Относительная (медиан ная) дол говеч ность покрытия (гБо) составляет 10-480 ч, 2 табл, Перечень используемых компонентов для получения защитного покрытия представлен в табл. 1.

Пример ы 1-12. В стеклянных колбах объемом 50 см готовят смеси, содержащие

67 олигомера согласно таблице 2 и 94;(, толуола. смеси тщательно перемешивают и в количестве 0,05 см помещают на подгоз товленную подложку размером 0,25 см, Центрифугированием при 6000 об/мин. покрытие равномерно наносится на подложку, . После удаления растворителя (24 ч и при

20 С) подложку с нанесенным покрытием облучают -излучением дозами, указан ными в табл. 2. Покрытия характеризуются свойствами, укаэанными в табл.2.

Пример 13-16. В стеклянных колбах объемом 50 см готовят смеси, содержащие

1819163

Таблица 1

Обозначение нормативно-технической ок мента ии

Компонент

ГОСТ 14710-78, ГОСТ 9880-76

ТУ 6-02-724-77 толуол у - аминопропилтриэтоксилан полидиметилфенилсилсесквиоксановый блок-сополимер (БСП)* полидиметилсилоксан (ПДМС) полиметилфенилсилоксан (ПМ Ф С) брутто-формулы ((СНЭ)2%0)0,25(С6Н5(СНЗ)" 310)0,25 (С6Н55101,5)0,5 поли енилсилсесквиоксан ПФССО

ТУ 6-02-1-653-90

ГОСТ 13032-77

ГОСТ 15866-70 известно

*В качестве БСП используют блок-сополимеры, содержащие диметилсилоксановые ((СНэ)2330)д и фенилсилсесквиоксановые ((СвН68101,sgCeHsSi0(OH)1-a)m блоки и имеющие мол.м.: 21000 (БСП-1, и:m-20:5), 17000 (БСП-2, кm=20:10) и 6000 (БСП-З, n:m= 40:20), 6 олигомера согласно таблице 2 и 947ь толуола, смеси тщательно перемешивают и в количестве 0,05 см помещают на noqroтовленную подложку размером 0,25 см . С помощью центрифуги (при 6000 об/мин) покрытие равномерно наносится на подложку.

Термоотверждение проводят при 160 С в течение 2 ч. Покрытия характеризуются свойствами, указанными в табл.2.

Известный способ.

В стеклянной колбе объемом 50 см готовят смесь, содержащую 6 блок-сополимера и 94 толуола, в смесь, добавляют у",аминопропилтризтоксисилай . в количестве 5 от веса блок-сополимера. Смесь тщательно перемешивают и в количестве 0,05 см помещают на подготовленную подложку размером 0,25 см . С помощью центрифуги (6000 об/мин) покрытие равномерно наносится на подложку. Сушку проводят в течение 48 ч при 24 С. Покрытие характеризуется свойствами, укаэанными в табл.2.

Относительную (медианную) долговечность покрытий (ао) определяют на тестовых структурах, представляющих собой кристаллы кремния с термически выращенной пленкой SION, на поверхности которой с помощью фотолитографии формировались полоски алюминиевой металлизации шириной

20 мкм и общей длиной 18 5 мм. На полученные таким образом структуры наносят защитное кремнийорганическое покрытие.

Полученные тестовые структуры с защитным покрытием помещают в автоклав (температура 120 С и относительная влажность

98 ) на определенный промежуток времени, после чего определяют электрическое сопротивление алюминиевой металлиза"0 ции. Время защитного действия покрытия (относительную (медиан ную) долговечность покрытий) определяют как время, за которое сопротивление алюминиевой металлизации увеличивается более, чем на порядок.

С каждым видом покрытия испытания проводили на 15 дорожках алюминиевой метал. лизации.

Формула изобретения

Способ получения тонкослойного защитного покрытия, включающий нанесение на подложку раствора кремнийорганического олигомера в органическом растворителе иегоотверждение, отл и чаю щи йс я тем, 25 что, с целью повышения времени защитного действия покрытия, отверждение проводят после удаления растворителя облучением дозой не менее дозы, необходимой для гелеобразования олигомера, 1819163

Таблица 2

Относительная (медианная) долговечность, ,ч

Используемый олигомер

Пример

Толщина покрытия., мкм

Доза облуч+

Д **

420

БСП-1 или

БСП-2 или

БСП-3

ПМФС, мол. м.3000

ПДМС, мол. м. 2000

ПФССО, мол. м, 2000

БСП-1 или

БСП-2 или

БСП-3

БСП-1 или

БСП-2 или

БСП-3

ПДМС, мол. м.2000

ПФССО, мол. м. 2000

ПМФС, мол. м. 3000

БСП-1 или

БСП-2 или

БСП-3

ПМФС, мол. м. 3000

ПДМС, мол. м.2000

БСП-1 или

БСП-2 или

БСП-3

ПМФС, мол. м. 3000

ПДМС, мол. м. 2000

ПФССО, мол. м. 2000

БСП-2

0,1

1.0

420

1,0

1,0

1,0

100

1,2

100

1,0

480

1,7

1,2

100

1,0

1,2

100

0,8

10

0,8

1,2

50

0,8

1,2 покрытие не облучалось

°

1,0

14

15

1,2

145

1,2

Известный

* — Дозы указаны в величинах, кратных дозе гелеобразования олигомера.

** — Дг — доза гелеобразования олигомера.

Составитель Н.Просторова

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор В.Петраш

Редактор А.Горячева

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 1945 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Способ получения тонкослойного защитного покрытия Способ получения тонкослойного защитного покрытия Способ получения тонкослойного защитного покрытия 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к способам отверждения силоксановых каучуков ультрафиолетовым светом и может быть использовано для получения термостойких покрытий, предназначенных для защиты изделий из ме галлов

Изобретение относится к способам получения композиций для антиадгезионных покрытий и может быть использовано в целлюлозно-бумажной промышленности для защиты самоклеящихся декоративных отделочных пленок, самоклеящихся герметизирующих материалов, самоклеящихся шумозащитных материалов

Изобретение относится к защитным составам для покрытия древесины и может быть использовано для обработки деревянных строений, тары, элементов автои водотранспорта

Изобретение относится к области машиностроения , в частности к герметизации и склеиванию разъемов в узлах машин при нанесении жидкости любой вязкости, а также на поверхности, ориентированные в пространстве любым образом
Наверх