Декоративное стекло

 

Использование: для декоративных светильников , зеркал, мебели. Сущность изобретения: декоративное стекло содержит фотошаблон, маскирующее покрытие которого составляет не менее 50% площади пластины с шагом 2-12 мкм. Фотошаблон может не иметь светлопольных изображений структуры полупроводниковых приборов или микросхем, или содержать повторяющиеся светлопольные изображения элементов топологии полупроводниковых приборов. Фотошаблон подлежит утилизации из-за дефектов покрытия и/или стеклянной пластины или из-за истечения ресурса работы. 3 з. п. ф-лы, 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ (21) 4896448/33 (22) 29.12.90 (46) 15.08.93, Бюл, № 30 (76) В.А,Курмачев и Ю,А.Концевой (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1631494, кл, G 02 В 5/20, 1989.

Патент EP ¹ 0215666, кл, F 21 P 1/02, 1987. (54) ДЕКОРАТИВНОЕ СТЕКЛО (57) Использование: для декоративных светильников, зеркал, мебели. Сущность изобретения: декоративное стекло содержит

Изобретение относится к производству изделий бытового назначения и может быть использовано в декоративных светильниках, зеркалах, мебели и других предметах бытовой техники, Целью изобретения является повышение декоративного эффекта и улучшение потребител ьских свойств.

Поставленная цель достигается тем, что в качестве стеклянной основы для получения дифракционной решетки использован стеклянный фотошаблон, подлежащий утилизации, причем необходимо, чтобы маскирующее покрытие составляло не менее 50% площади пластины.

Для получения декоративного стекла могут быть также использованы стеклянные шаблонные заготовки, имеющие брак по стеклу (включения, пузырьки) или брак маскирующего покрытия (разнотолщинность, HeclliloLUHocTb, проколы и т,д.). Кроме того, могут быть использованы фотошаблоны, от,БЫ„, 1834868 АЗ (я)ю СОЗ С 17/22 6, 2 B5/18 фотошаблон, маскирующее покрытие которого составляет не менее 50% площади пластины с шагом 2 — 12 мкм, Фотошаблон может не иметь светлопольных изображений структуры полупроводинковых приборов или микросхем, или содержать повторяющиеся светлопольные изображения элементов топологии полупроводниковых приборов. Фотошаблон подлежит утилизации из-за дефектов покрытия и/или стеклянной пластины или из-за истечения ресурса работы. 3 a. n. ф-лы, 3 ил. работавшие свой ресурс в производстве микросхем, в которых за счет большего числа проведенных процессов образовались дефекты (проколы от пылинок, отслаивание и микрошелушение и пр,), вызывающие р брак в производстве полупроводниковых приборов или микросхем, Для получения декоративного стекла могут также использоваться фотошаблоны, забракованные на 00 стадии их производства из-за нечеткого 0 края рисунка, ухода размеров при вытрав- QQ ливании рисунка и т.п, На указанные выше фотошаблоны или заготовки фотошаблонов наносится дифракционная решетка путем использования метода фотолитографии, содержащего следующие основные операции: отмывка, нанесение фоторезиста, термообработка, проявление фоторезиста, травление маскирующего слоя, удаление фоторезиста, сушка, Экспонирование проводят через специально изготовленный фотошаблон с

1834868

15 шагом сетки (дифракционной решетки) от

2 — 3 мкм до 10 — 12 мкм. В конечном счете декоративное стекло состоит из темных полей, т.е. содержащих маскирующий слой, в которых сформирована дифракционная решетка, и светлых полей с полностью отсутствующим маскирующим покрытием, в которых дифракционной решетки нет, Декоративный эффект повышается за счет хорошего качества (четкого края) дифракционной решетки, большой разницы в пропускании в области маскирующего слоя и там, где маскирующий слой удален (светлые и "темные" области дифракционной решетки), Улучшенные потребительские свойства получаются за счет устойчивости рисунка на шаблонах с "хромовым" или "железоокисным" покрытием к температуре (до

400 С), истиранию (стекла можно протирать и мыть в горячей воде в отличие от лакового покрытия), Себестоимость декоративного стекла на основе шаблона, подлежащего утилизации, определяется только стоимостью обработки, связанной с нанесением дифракционной решетки.

Первоначально для получения декоративных стекол производят отбор годных из подлежащих утилизации шаблонов. Могут быть использованы шаблонные заготовки, имеющие брак стекла или маскирующего слоя, темнопольные фотошаблоны со светлыми элементами структуры микросхем, отработавшие ресурс в производстве или забракованные по несоответствию требованиям, предъявляемым к рабочим шаблонам. Отработанные шаблоны проходят весь цикл фотолитографии с получением по выбору дифракционной решетки с шагом от 2,0 — 3,0 мкм до 10 — 12 мкм. Сформированное декоративное стекло отмывают, разрезают при необходимости на элементы требуемых размеров, притупляют острые кромки или снимают фаску, При выходе за указанные пределы декоративный эффект ухудшается, причем, если в сторону уменьшения периода, то из-за усложнения условий фотолитографии и по= явления областей непропечатки дифракционной решетки, а если в сторону увеличения периода, то из-за ослабления разделения цвета дифракционной решеткой, так как бытовые источники освещения (лампы накали20

50 вания) имеют протяженный источник света (нить накаливания), приводящий к смешению цвета при дифракции.

Н а фиг.1 показа но увеличен ное изображение фрагмента декоративного стекла, вид сверху и разрез (1 — стеклянная подложка фотошаблона, 2 — светлопольные изображения элементов структуры полупроводниковых приборов или микросхем, 3 — двумерная дифракционная решетка, сформированная на темнопольной области фотошаблона); на фиг.2 показано увеличенное изображение фрагмента декоративного стекла (вид сверху и разрез), не имеющего светлопольяых изображений элементов, структур полупроводниковых приборов или микросхем (4— дефекты стекла); на фиг.3 показано увеличенное изображение фотошаблона, не имеющего светлопольных изображений элементов топологии полупроводниковых приборов или микросхем (5 — дефекты маскирующего покрытия).

Декоративные стекла могут быть использованы в качестве составной части декоративных светильников, декоративных зеркал, мебели и других изделий бытового назначения.

Фо рмула изобретения

1, Декоративное стекло, содержащее стеклянную пластину с покрытием, в котором выполнена дифракционная решетка с шагом 2е12 мкм, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения декоративного эффекта и улучшения потребительских свойств, оно содержит в качестве стеклянной пластины с покрытием подлежащий утилизации фотошаблон, маскирующее покрытие которого составляет не менее

507 площади пластины.

2. Стекло по п,1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что фотошаблон не имеет светлопольных изображений структуры полупроводниковых приборов или микросхем.

3. Стекло по п.1, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что фотошаблон содержит повторяющиеся светлопольные изображения элементов топологии полупроводниковых приборов или микросхем, 4, Стекло по и 1, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что фотошаблон подлежит утилизации и -за дефектов маскирующего покрытия и/или стеклянной пластины или из-за истечения ресурса работы.

18348б8

1834868

Составитель Г, Буровцева

Техред М.Моргентал Корректор И. Шмакова

Редактор Л. Павлова

Заказ 2703 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101