Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста

 

Применение хлорфторпропанов, выбранных из группы CH2CF2CH2CI и СНаС1ьРсСГ-2СНхС1уР2, где a+b+сЗ, x+y+z3. а+х 1, Ь+у 2, 0 а. Ь, с, х. у, z 3, в качестве обезжиривающего средства, очищающего средства, средства для удаления полировочного состава, средства для удаления флюса, средства для удаления остаточной воды, средства для удаления резиста и средства для проявления резиста. Данные растворители обладают низкой озоноразрушающей способностью и более низкой токсичностью. 12 табл. Ј

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР!

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, К ПАТЕНТУ токсичностью. 12 табл, 21) 4743271/04

89) PCT (Р 89/00617 (21.06.89)

22) 21.06.91

46).30.08.93. Бюл. N- 32

31) 63-152271, 63-152272; 63-152273; 64152274, 63-152275; 63-152276 (32) 22.06.88 (33) JP (71) Асахи Гласс Компани, Лтд (JP)

72) Терио Асано, Наохиро Ватанабе, Кэзуки зинути и Сунити Самедзима (JP)

6) Патент США И 3080430, кл. 570-137, 1963.

Патент США N 3377392, кл. 570-170, 1969.

Патент США N 3585245, кл. 570-137, 1971. (54) ОБЕЗЖИРИВАЮЩЕЕ СРЕДСТВО, ОЧИЩАЮЩЕЕ СРЕДСТВО, СРЕДСТВО

ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОЛИРОВОЧНОГО СОИзобретение касается новых галогени ованных углеводородных растворителей и пособов их применения.

1,1,2-трихлор-1,2,2-трифторэтан (далее менуемый просто R 113) является огнетойким, взрывобезопасным и химически стойким, поэтому он широко используется в качестве очищенного средства для удаления флюса, применяемого в процессе сборки

Электронных узлов или деталей прецизионных устройств, в качестве смазочно-охлэж (ающих эмульсий, очищающего средства я такой одежды, как меховые пальто или !!остюмы. Далее R 113 широко используетСя для удаления воды, оставшейся после промывки водой деталей жидкокристаллического дисплея, электронных узлов или дет|алей прецизионных устройств. С другой стороны, такая промывочная жидкость. как

„„5UÄÄ 1838449 А3 (я)з С 23 6 5/028, С 11 О 7/50, 7/30, С 07 С 19/08

СТАВА, СРЕДСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ФЛЮСА, СРЕДСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ОСТАТОЧНОЙ ВОДЫ, СРЕДСТВО ДЛЯ УДАЛЕНИЯ

РЕЗИСТА И СРЕДСТВО ДЛЯ ПРОЯВЛЕНИЯ РЕЗИСТА (57) Применение хлорфторпропанов, выбранных и 3 группы С Н2СР2СНгС! и

CHaClbFcCF2CHxClyF2 где а+Ь+с3, x+y+z3. а+х > 1, b+y > 2, О< а, Ь, с, х, у, z < 3, в качестве обезжиривающего средства, очищающего средства, средства для удаления полировочного состава, средства для удаления флюса, средства для удаления остаточной воды, средства для удаления резиста и средства для проявления резиста, Данные растворители обладают низкой озоноразрушающей способностью и более низкой трихлорэтилен, может использоваться в качестве средства для удаления резиста, осажденного на кристаллической пластине.

1,1,1-трихлврэтан используется в качестве очищающего средства для удаления полировочного состава, оставшегося на Ь прецизионных металлических деталях или ам декоративных деталях после их полирова- ЧО ния. Далее 1,1,1-трихлорэтан используется для проявления резиста в процессе изготовления печатных плат и полупроводниковых схем, а метиленхлорид или перхлорэтилен используется для удаления резиста после обработки травлением.

Несмотря на различные достоинства этого материала, было обнаружено, что

R113 разрушает озон в стратосфере, что в свою очередь ведет к увеличению случаев заболевания раком кожи. С другой стороны, 1838449 метиленхлорид, трихлорэтилен, перхлорзтилен и 1,1,1-трихлорэтан, по-видимому, вызывают загрязнение подземных вод, что требует сокращения до минимума их использования.

При таких обстоятельствах целью настоящего изобретения является решение таких проблем и создание нового галогени-. рованного углеводородного растворителя, являющегося заменителем используемых в настоящее время растворителей.

Изложение сущности изобретения.

Настоящим изобретением предусматривается галогенированный углеводородный растворитель, состоящий в основном из водородсодержащего хлорфторпропана, включающего дифторметиленовую группу, выраженную формулой:

CHaCIbFcCFzCHxCIyFz в которой a+b+c=3, х+у+г=З, а+х >1;

b+y ЫиО< а,Ь,с,х,у,z< 3.

Далее будет дано детальное описание настоящего изобретения со ссылкой на предпочтительные варианты его осуществnews, Ниже и риводятся типичные и римеры соединения формулы 1:

CCIFzCFzCHCIz (R 224са)

СОгЕСЕгСНО (R 224cb)

CFaCFzCHCIz (R 225са)

СОЕгСЕгСНС1 (R 225сЬ)

ССIЕгСЕгСНгС1 (R 234cc)

CHFzCFzCHIF (R 235ca)

CH3CFzCCIzF (R 243сс)

СНЕгСЕгСНгО . (R 244са)

CHzCICFzCHzCI (R 252са)

СНС!гСЕгСНз (R 252cb)

СНзСЕгСНгО . (R 262са)

СНЕгСЕгСОгЕ (R 225сс)

СНС!ЕСЕгСНС!Е (R 234ca)

СНЕгСЕгСНС!г (R 234cb)

СНгЕСЕгСС!г (R 234 cd)

СЕзСЕгСНгС1 (R 235 cb)

СОЕгСЕгСНгЕ (R 235cc)

СНгОСЕгСНС!Е (R 243са)

СНгЕСЕгСНСlг (R 243cb)

CHzFCFzCHCIF (R 244cb)

СС1ЕгСЕгСНз (R 244сс)

CHzFCFzCHzCl (R 253ca)

СНзСIЕСНС!Е (R 253cb).

СЕзСЕгСНС1Е (R 226са)

CCIFzCFzCH (R 226сЬ)

СОзСЕгСНС1г (R 222с)

СОг ЕСЕгСН С!г (R 223ca)

СС!зСЕгСНС!Е (R 223 сЬ)

ССIзСЕгСНЕг (R 224сс)

СНС1гСЕгСНС!г (R 232са)

СС!3СЕгснгО (R 232cb)

СС1гЕСЕгСНгС1 (R 233cb) СНС!гСЕгСНС!Е (R 233ca)

СС!зСЕгСНгЕ (R 233сс)

СС!зСЕгСНз (R242cb)

CHCI2CF2CH2CI (R 242са)

5 Соединения по изобретению, представленные формулой 1, можно использовать по отдельности или в сочетании, например, в виде смеси двух или более соединений. Они являются полезными в качестве различных

10 очищающих средств, включая очищающее средство для химической чистки, обезжиривающее средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса и промывочную жидкость, либо а качестве вещества для проявления резиста или вещества для удаления резиста, либо в качестве растворителя для удаления оставшейся воды, Они также могут использоваться для следующих целей.

20 В качестве растворителя для экстракции никотина, содержащегося в листьях табака или для экстракции фармацевтических веществ из животных или растений; в качестве раэбавителя для различных хими25 ческих агентов, включая средство для нанесения покрытия, антиадгезив, водо- и маслоотталкивающее средство, влагонепроницаемое покрытие, водостойкое вещество, средство для придания блеска и

30 антистатик, с целью диспергирования или растворения этих веществ, что облегчает их нанесение на соответствующие объекты; в качестве аэроэольного растворителя для растворения химического агента или актив35 ного агента, содержащегося в аэрозоле, используемом, например, в качестве материала для нанесения покрытия, инсектицида, фармацевтического средства, дезодоранта, лака для волос и косметического

40 средства, а также в качестве изолирующей среды для изоляции и охлаждения в масляном трансформаторе или в газоиэолированном трансформаторе.

Если соединения по настоящему изо45 бретению применяются для вышеуказанных целей в них предпочтительно вводятся различные другие .соединения в зависимости от определенных целей.

Например, такой органический раство50 ритель, как углеводород. спирт, кетон, хлорированный углеводород, сложный эфир или ароматическое соединение, либо поверхностно-активное вещество, можно включать с целью улучшения очищающего

55 действия при использовании в качестве очищающего растворителя, или для улучшения воздействия в других областях использования. Такой органический растворитель может включаться в количестве от О до 80 мас. предпочтительно 0-50 мас,, пред1838449

50

55 почтительнее 10-40 мас.%, Поверхностноактивное вещество можно использовать в количестве от 0 до 10 весовых процентов, предпочтительно 0,1-5 мас,%, предпочтительнее 0,2-1 мас.%.

Углеводород предпочтительно представляет линейный или циклический насыщенный или ненасыщенный углеводород. включающий 1-15 атомов углерода, который обычно выбирают из группы, содержащей . н-пентан, изопентан, н-гексан, изогексан, g"ìåTèëïåíòàн, 2,2-диметил бутан, 2,3-диметилбутан, н-гептан, изогептан, 3-метилгекфан, 2,4-диметилпентан, н-октан, )-метилгептан, З-метилгептан, 4-метилгеп ан, 2,2-диметилгексан, 2,5-диметилгексан, g,3-диметилгексан, 2-метил-3-этилпентан, 3-метил-3-атил пента н, 2 3 3-триметил пентан, 2,3,4-триметил пентан, 2,2,3-триметилпентан, изооктан, нонан, 2,2,5триметилгексан, декан, додекан, 1-пентен, 2-пентен, 1-гексен, 1-октен, 1-нонен, 1-децен, циклопентан, метилциклопентан, циклогексан, метил циклогексан,этилщиклогексан, бициклогексан, циклогексен, 9-пинен, дипентен, декалин, тетралин, амилен и амилнафталин. Более предпочтительными соединениями являются н-пентан, н-гексан, циклогексан и н-гептан.

Спирт предпочтительно представляет алифатический или циклический насыщенный или ненасыщенный спирт, содержащий

1-17 атомов углерода, который обычно выбирают из группы, включающей метанол. эталон, н-пропиловый спирт, изопропиловый спирт, н-бутиловый спирт, втор-бутиловый спирт, изобутиловый спирт, трет-бутиловый спирт, пентиловый спирт, втор-амиловый спирт, 1-этил-1-пропанол, 2Метил-1-бутанол, изопентиловый спирт, трет-пентиловый спирт, 3-метил-2-бутайол, неопентиловый спирт, 1-гексанол, 2Метил-1-пентанол, 4-метил-2-пентанол, -атил-1-бута нол, 1-гептанол, 2-гептанол, 3-гептанол, 1-октанол, 2-октанол, 2-этил-1гексанол, 1-нонанол, 3,5,5-триметил-1-гексанол, 1-де-канол, 1-ундеканол, -додеканол, аллиловый спирт, пропаргиловый спирт, бензиловый спирт, циклогексанол, 1-метил циклогексанол, 2-метилциклогексанол, 3-метилциклогексанол, 4-метилциклогексанол, а-терпинеол, фбиетинол, 2,6-диметил-4-гептанол, триметилнониловый спирт, тетрадециловый спирт и гептадециловый спирт. Более предпочтительными являются метанол. этанол и изопропиловый спирт.

Кетон предпочтительно представляет один из кетонов формул

à — Ъ

R- СО- R, R - СО; R - СО- R - СО- R", Г 1Т Г СН21

R- CO- R, R- CO- R, в который каждый из элементов R, R, R" представляет насыщенную или ненасыщенную углеводородную группу, имеющую от 1 до 9 атомов углерода, и обычно выбирается из группы. включающей, ацетон, метилэтилкетон, 2-пентанон, З-пентанон, 2-гексанон, метил-н-бутилкетор, метилбутилкетон, 2гептанон, 4-гептанон, диизобутилкетон, ацетонитрил, ацетон, окись мезитила, форон, метил-н-амилкетон, этилбутилкетон, метилгексилкетон, циклогексанон, метилциклогексанон, изофорон, 2,2-пентандион, диацетоновый спирт. ацетофетон и фенхон, Более предпочтительными соединениями являются ацетон и метилэтилкетон.

Хлорированный углеводород предпочтительно представляет насыщенный или ненасыщенный хлорированный углеводород, имеющий 1 или 2 атома углерода, который обычно выбирают из группы. включающей метиленхлорид, четыреххлористый углерод, 1,1-дихлорэтан, 1,2-дихлорэтан, 1,1,1-трихлорэтан, 1,1,2-трихлорэтан, 1,1,1,2-тетрахлорэтан, 1,1,2,2-тетрахлорэтан, пентахлорэтан, 1,1-дихлорэтилен, 1,2-дихлорэтилен, трихлорэтилен и тетрахлорэтилен. Более предпочтительными соединениями являются метиленхлорид, 1,1,1-тетрахлорэтан, трихлорэтилен и тетрахлорэтилен.

Поверхностно-активное вещество, предназначенное для растворителя. используемого для удаления оставшейся воды, предпочтительно. выбирают из группы, включающей простой алкиловый эфир полиоксиэтилена; простой алкиловый эфир полиоксиэтилео и полиоксипропилена, сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена. сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена и полиоксипропилена, алкилфенол полиоксиэтилена, алкилфенол полиоксиэтилена и полипропилена, сложный эфир сорбита полиоксиэтилена, сложный эфир сорбита пслиоксиэтилена и полиоксипропилена, каприламин каприловой кислоты и алкиламид полиоксиэтилена. Более предпочтительными соединениями являются каприлэмин каприловой кислоты и алкиламид полиоксиэтилена, В качестве поверхностно-активного вещества для очищающего средства, предназначенного для химической чистки, могут применяться различные неионные, катионные, анионные и амфотерные поверхностно-активные вещества. Такое вещество предпочтительно выбирают

1838449

20

35

40 45

50

coop

О

СООЦ 2 из группы, включающей алкилбензолсульфонат с линейной цепью, сульфат спирта с длинной цепью, сульфат эфира полиоксиэтилена, фосфат алкилового эфира полиоксиэтилена, сульфат алкилового эфира полиоксиэтилена, фосфат алкилфенилового эфира полиоксиэтилена, сульфойат а-олефина, алкилсульфосукцинат, простой алкиловый эфир полиоксиэтилена, сложный алкиловый эфир полиоксиэтилена, алкилаллиловый эфир полиоксиэтилена, диэтаноламина жирной кислоты, алкиламид полиоксиэтилена, сложный эфир жирной кислоты сорбита, сложный эфир жирной кислоты полиоксиэтилена, соль четвертичного аммониевого основания, оксилсульфобетаин, простой лауриловый эфир полиоксиэтилена, сульфат натрия простого лауринового эфира полиоксиэтилена, додецилбензолсульфонат натрия и сульфат натрия высшего спирта, Более предпочтительными соединениями являются простой лауриловый эфир полиоксиэтилена, сульфат йэтрия простого лаурилового эфира полиоксиэтилена, додецилбензолсульфонат натрия и сульфат натрия высшего спирта.

Ароматическим соединением предпочтительно является производственное бенэола или производное нафталина, которое обычно выбирают из группы, включающей бензол, толуол, ксилол, этилбензол, изопропилбензол, диэтилбензол, втор-бутилбензол, триэтилбензол, диизопропилбензол, стирол, элкилбензолсульфокислоту, фенол, мезитилен, нафталин, тетралин, бутилбензол, парр-цимен, циклогексилбензол, пентилбензол, дипентилбензол, додецилбензол, бифенил,-о-крезол, m-крезол и ксиленол. Более предпочтительными соединениями являются алкилбензолсульфокислота и фенол.

Сложный эфир предпочтительно имеет одну иэ следующих формул; Й г.

1 и = СОО-К К -C-й -C003 оя

R -С-COOR Я -COO-R -COO-й

М 2 и 3 3. 1 р„- CO,/COOR„), СОО-R, R -СОО-R

1 4 2

С 2. ь о 3 соотг Д„COOR в которых каждый из элементов R<, Rz, Кз, R4, Rs, Кв представляет Н. ОН или насыщенную или ненасыщенную углеводородную группу, имеющую от 1 до 19 атомов yrriepoда. В частности, это соединение выбирают из группы, включающей метилформиат, этилформиат, пропилформиат, бутилформиат, изобутилформиат, пентилформиат, метилацетат, этилацетат, пропилацетат, изопропилацетат, бутилацетат,. изобутилацетат, втор-бутилацетат, пентилацетэт, изопентилацетат, З-метоксибутилацетат, вторгексилацетат, 2-этилбутилацетат, 2этилгексилацетат, циклогексилацетат, бензилацетат, метил пропионат, этилпропионат, бутилпропионат, изопентилпропионат, метилбутират, этилбутират, бутилбутират, изопентилбутират, изобутилизобутират, атил-2-окси-2-метилпропионат, бутилстеарат, метилбензоат, атил-бензонат, пропилбензоат, бутилбенl зоат, изопентилбензоэт, бензилбензоат, этилабиетат, бензилабиетат, бис-2-этилгексиладипинат, у-бутиролактон, диэтилоксалат, дибутилоксалат, дипентилоксалат, диэтилмалонат, диметилмалеат, диэтилмалеат, дибутилмалеат, дибутилтэртрат, трибутилцитрат, дибутилсебацинат, бис-2-этилгексилсебацинат, диметилфталат, диэтилфталат, дибутилфталат, бис-2этилгексилфталат и диоктилфталат. Более предпочтительными соединениями являются метилацетат и этилацетат.

Соединение по настоящему изобретению может включать хлорфторированный углеводород, отличающийся от соединения формулы 1. При наличии азеотропии или псевдоазеотропии у композиции, полученной при сочетании соединения по этому изобретению с другим соединением. предпочтительно использовать их в азеотропных или псевдоазеотропных условиях, с тем чтобы избежать изменений в композиции при использовании в процессе рециркуляции или не допустить значительных отклонений от обычного метода.

Очищающее средство для химической чистки по настоящему изобретению может содержать различные добавки, такие как антистатику, пластификатор, пятновыводитель, водо- и мэслоотталкивающее средство или стабилизатор. В качестве

Стабилизатора, различные типы которого обычно используются в очищающем средстве для химической чистки, могут применяться нитроалканы, эпоксиды, амины или фенолы..

1838449

15

25 щеточную машину и промывали при

30. температуре 25 С в течение 25 мин, после чего результат чистки измеряли при помощи измерителя фотоэлектрического отражения

"Злрефо". Результаты приведены в табл. 1

Пример ы 2-1 до 2-6, и р и м е р ы 2 8

35 до 2-16 и сравнительный и р и м е р 2-7

50 г вес погруженного. тестируемого образца до очистки— вес погруженного тест; образца после очистки

100 скорость очистки х с Вес погруженного тестируемого образца до очистки— исходный вес тестируемого образца.

Различные очищающие добавки или стабилизаторы также могут вводиться в фбеэжиривающее средство, в очищающее

Средство для удаления полировочного сотава или в очищающее средство для удале- 5 ия флюса; В.случае очищающего средства для удаления полировочного состава в эту композицию также может включаться вода, качестве способа очистки может применяться ручная протирка, погружение, расПыление, встряхивание, ультразвуковая очистка, паровая очистка или любой другой известный метод, При .необходимости стабилизировать . промывочную жидкость предпочтительно спользовать такой нитроалкан, как нитроетан или нитропропан, либо такой простой циклический эфир, как пропиленоксид, 1,2бутиленоксид; 2,3-бутиленоксид. эпихлоридрин, окись стирола. бутилглицидный . эфир, фенилглицидный эфир, глицидол, 1,4диокса н, 1,3,5-трио ксан, 1,3-диоксола н, диметоксиметан или 1,2-диметоксиэтан, в количестве 0,001-5,0 мас.%.

Не существует каких-либо ограничений

В отношении проявления или удаления ревиста в соответствии со способом по настоящему изобретению; Резист может быть позитивным или негативным резистом для. экспонирования, резистом для рентгеноВского или электронно-лучевого экспонироВания. Резист для оптического

Экспонирования состоит из хинондиазида с использованием фенолоальдегидной и крезолоформальдегидной новолачной смолы, служащей в качестве материала основы; он может быть из циклозованного каучука, Включающего цис-1,4-полиизопропен в качестве основного компонента. а также из

1 олициннамата; Аналогичным образом ре- 4 аист для экспонирования ультрафиолетоВым излучением включает полиметилметакрилат и полиметилизопропенилкетон. Резист для электронно-лучевого или рентгеновского экспонирования включает поли/метилметакрилат/, сополимер глицидилметакрилата и этилакрилата и

Сополимер метилметакрилата и метакриловой кислоты.

Для удаления оставшейся воды с помощью растворителя по настоящему изобретению можно применять метод распыления или орошения, либо метод погружения в прохладную ванну, в теплую ванну, в паровую ванну или в ультразвуковую ванну, либо метод погружения с сочетанием этих ванн.

Изолирующая среда по настоящему изобретению может использоваться в сочетании с изолирующей средой на основе минерального масла, с изолирующей средой полностью галогенированного углеводородного типа или с изолирующей средой на основе силиконового масла, которые обычно применяются в этой области, Кроме того с целью стабилизации в композицию может включаться такой стабилизатор, как соединение фосфита, соединение сернистого фосфина или соединение простого глицидного эфира, либо в эту композицию может добавляться фенольный или аминовый антиоксидант.

Пример ы с 1-1 — 1-16. Испытания по очистке с целью определения очищающей способности проводились с использованием средств химической чистки, представленных в табл. 1. Шерстяную ткань(5х 5 см), испачканную сажей. закрепленной по методу Юкагаку Киокаи, помещали в чистильноИспытания по очистке охлаждаемого масла проводились путем применения обезжиривающих агентов как показано в таблице 2.

Взвешенный тестируемый образец

SUS-304 был погружен в веретенное масло и затем был взвешен. Обратный таким образом тестируемый образец затем погружался в обезжиривающий агент на 5 мин для удаления веретенного масла и очищенный таким образом тестируемый образец снова взвешивался. Скорость очистки определялась согласно следующему уравнению. Результаты представлены в табл. 2, 1838449

10

15!

20 вес отполированного тестирующего образца до очистк вес отполированного тестируемого образца данным очищающим агентом х 100

Степень очистки = вес отполированного тестируемого образца до очистки вес отполированного тестируемого образца после чистки R 113

40

Пример ы 3-1 — 3-6, п р и м е р ы 3-8 — "-16 и сравнительный и р и м е р.

Испытания по удалению полировочного агента проводились при использовании очищающих агентов для удаления полировочного агента как представлено в табл, 3.

Взвешенный,каркас ручных часов был отполирован полировочным агентом (GS-1, выпускаемым Soken Kogyo К.К) и отполированный испытуемый образец был взвешен.

Взвешенный тестируемый образец был затем погружен в очищающий агент для удаления полировочного агента, и обработан ультразвуком в течение 3 мин. Тестируемый образец, очищенный таким образом, снова взвешивался.

Процедура, аналогичная описанной выше, была повторена, за исключением того, что в качестве контрольного очищающего агента использовался Я 113.

Степень очистки определялась согласно следующему управлению, Результаты представлены в табл, 3. гружали в раствор для удаления резиста одихлорбензольного типа (раствор для удаления резиста 502, изготовленный фирмой

"Токио Окаша") при температуре 120 С с течение 10 мин, а потом погружали в промывочную жидкость, указанную в таблице 5, при. температуре 25ОG в течение 3 минут.

Далее эту пластину погружали и очищали в растворе, состоящем из смеси изофталевой кислоты (IPA) и метилэтилкетона (MEK), а затем в сверхчистой воде, после чего эту пластину высушивали и под микроскопом проверяли состояние поверхности.

Пример ы с 6-1 по 6-16. Испытания по проявлению резиста проводили с использованием веществ для проявления резиста, : укаэанных в таблице 6.

Печатную плату (слоистый пластик, плакированный медью) с нанесенной HB нее пленкой фоторезиста ("Ламинер", изготовленный фирмой "Димакем компани") экспонировали с целью получения заранее определенного рисунка схемы, а затем проявления с помощью вещества для проявления резиста, после чего поверхность исследовали пЬд микроскопом с целью проверки правильности формирования рисунка схемы.

Результаты приведены в табл, 6.

Пример ы с 4-1 по 4-15. Испытания по очистке флюса проводили с использованием очищающих средств для удаления флюса, указанных в таблице 4.

Флюс (Тамура F Al-4, изготовленный фирмой "Кабушики Каиша Тамура Сейсакушо") наносили в виде покрытия на всю по-. верхность печатной платы (слоистый. пластик, плакированный медью) и обжигатели в электрической печи при температуре

200 С в течение 2 мин. Потому плату погружали на одну минуту в очищающее средство для удаления флюса. Степень удаления флюса показана в табл. 4.

Пример ы 5-1 по 5-7. Позитивный резист (OFPR-800, изготовленный фирмой

"Токио Окаша") или негативный резист (OMR-83, изготовленный фирмой "Токио

Окаша") наносили в виде покрытия на пластину из кристаллического кремния с последующей обработкой травлением, затем пластину из кристаллического кремния по

Пример ы с7-1 по7-17. Испытания по удалению резиста проводили с использованием веществ дпя удаления резиста, указанных в таблице 7.

Печатную плату (слоистый пластик, плакированный медью) с нанесенной на нее пленкой фоторезиста ("Ламинер", изготовленный фирмой "Динакем компани") экспонировапи, проявляли и протравливали с образованием печатной схемы, а затем по. гружали в вещество для удаления резиста

35 при комнатной температуре в течение 15 минут. Плату вынимали из этого вещества и исследовали под микроскопом с целью проверки степени удаления отвержденной пленки. Результаты приведены в табл. 7.

Пример ы с 8-1 по 8-16. Испытания по удалению оставшейся воды проводили с использованием растворителей, предназначенных дпя удаления оставшейся воды, которые указаны в таблице 8, Стеклянную пластину размером 30 мм х

18 мм х 5 мм сначала погружали в чистую воду, а затем погружали в растворитель дпя удаления оставшейся воды на 20 секунд.

После этого стеклянную пластину вынимали из раствора и погружали в сухой метанол, и вслед за этим определяли степень удаления

1838449 оставшейся воды посредством измерения увеличения содержания воды.

Результаты приведены в табл. 8.

Пример ы с 9-1 по 9-11, Испытания по экстракции никотина, содержащегося в листьях табака, проводили с использованием

Составов экстракционных растворителей по настоящему изобретению, которые указаны в таблице 9.

Заранее определенное количество табака ("Хилит", промышленный продукт) поМещали в экстрактор Сохлета и нагревали с обратным холодильником при использовании состава экстракционного растворителя оо настоящему изобретению в течение 8 часов.

После дефлегмации раствор выпаривали до сухого состояния и измеряли количеСтво экстракта, Результаты приведены в таблице 9. Аналогичное испытание проводили с использованием мет,"- нола в качестве

Сравнительного растворителя. Количество

Экстракта в этом случае определяли равным

100 и результаты других испытаний выражали в виде относительных значений.

В качестве других сравнительных при. меров аналогичные испытания осуществляЛи в отношении ацетона и гексана.

Остатки при выпаривании, полученные

В соответствующих испытаниях, исследовали с помощью газовой хроматографии, которая позволила установить количество никотина, содержащегося в каждом остатке.

Пример ы с 10-1 по 10-51; В результате использования разбавителей, указанных в таблицах с 10-1 по 10-3., производили разбавление средства для нанесения влаго епроницаемого покрытия, содержащего г1олимер, включающий полифторалкиловую группу. Полученный таким образом разбавленный состав наносили в виде покрытия на поверхность печатной платы и сушили на воздухе с образованием влагонепроницае.мой пленки на поверхности печатной платы.

Сухое состояние этой влагонепроницаемой пленки определяли визуальным путем.

Результаты приведены в табл. с 10-1 по

10-3.

Пример ы с 11-1 по 11-51.

Композицией, полученной путем смещения 3 частей состава растворителя, укаэанного в таблицах с 11-1 по 11-3, 9,4 части чистой воды, 0,4 части поверхностно-активного вещества, 1,6 части изопропилмиристата, 0,4 части молотого талька, 0,2 части духов и 85 частей распыляющего вещества (1,1-дихлор-, 2,2-трифторэтана), наполняли аэрозольный баллон и несколько раэ встряхивали, после чего визуально проверяли диспергируемость аэрозольной компози5 ции.

Результаты приведены в табл, с 11-1 по

11-3.

Пример ы с 12-1 по 12-11. Наиболее важным изолирующим свойством среди

10 других свойств изолирующей среды является удельное объемное сопротивление.

Обычно считается, что среда является пригодной в качестве изолирующей среды, если она имеет удельное объемное сопротивле15 ние, равное 10 Ом.см, Значение удельного объемного сопротивления композиций на настоящему изобретению, представляющих изолирующую среду, приведены а таблице 12, которые в

20 каждом случае удовлетворяют требованиям, предъявляемым к удельному объемному сопротивлению.

Новые гелогенированные углеводородные растворители по настоящему изобрете25 нию являются великолепными в том отношении, что они обладают очень низкой разрушающей способностью в отношении озона по сравнению с R 113, который обычно использовали в качестве растворителя, 30 при этом их токсичность значительно ниже, .чем у обычного хлорированного углеводородного растворителя, такого как трихлорэтилен или перхлорэтилена. в результате чего не возникает значительных проблем, 35 связанных с загрязнением подземных вод.

Кроме того, при применении для различных целей они позволяют достичь аналогичных или даже более высоких результатов по сравнению с обычным R 113 или хлори40 рованными углеводородными растворителями.

Формула изобретения

Применение хлорфторпропанов, выбранных из группы

45 СНЗСЕ2СН2С1 и CHaClbFcCFpCKxCIyFz, где a+b+c = 3;

x+y+z = 3: а+х >1;

b+y> 2;

50 0 а,b,с,х.у,z 3 в качестве обезжиривающего средства, очищающего средства, средства для удаления полировочного состава, средства для удаления флюса, средства для удаления ос55 таточной воды, средства для удаления резиста и средства для проявления резиста.

1838449

Таблица 1

Значение в скобках указывает содержание данного компонента (мас, О ).

Показатели оценки:

® Пятно полностью удалено.

О Пятно почти полностью удалено.

Пятно сохранилось в незначительной степени.

j(Пятно почти полностью сохранилось.

Значение в скобках / / представляет количественное содержание (в весовых $).

1838449

Таблица 2

Значение в скобках / / представляет количественное содержание (в весовых $).

19.

1838449

Таблица 3

1838449

Таблица 4

Значение в скобках ((указывает содержание данного компонента (весовые проценты).

Показатели оценки:

Оо Удовлетворительное удаление флюса.

Q Достаточно удовлетворительное удаление флюса.

В Незначительное сохранение флюса.

Х Почти полйое. сохранение флюса.

1838449

23

Резулбтаты

Пример

100

R225 са

100

R225 cb.

5-2

R 243ññ .

100

5-3

5-4

R244 са

100

R 262 са.

5-5

5-6

5-7

90.10

Промывочные жидкости

R225 са

Гептан

R 244 са

Гептэн

Содержание, мас. ф

Таблица 5

На поверхности не . обнаружено мелких частиц.

На поверхности не обнаружено мелких частиц.

На поверхности не обнаружено мелких частиц

На поверхности не обнаружено мелких частиц

На поверхности не обнаружено мелких частиц.

На поверхности не обнаружено мелких частиц.

На поверхности не обнаружено мелких частиц

1838449

Таблица 6

Значение в скобках () указывает содержание данного компонента (весовые проценты) Показатели оценки:

® Удовлетворительное проявление, 9 Достаточно удовлетворительное проявление, d Несколько худшее проявление.

Х Плохое проявление

1838449,28

Таблица 1

Показатели оценки:

© Удовлетворительное удаление резиста.

O Достаточно удовлетворительное удаление ревиста. б Незначительное сохранение резиста.

Х. Почти полное сохранение резиста.

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты) 30

1838449 .29::

Таблица В

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты), Показатели оценки:

© Удовлетворител ьное удаление оставшейся воды.

Q Достаточно удовлетворительное удаление оставшейся воды.

Д Незначительное сохранение оставшейся воды.

Х Почти полное сохранение оставшейся воды.

1838449

32

Таблица 9

1838449

33

34

Таблица 10-1

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).

Показатели оценки:

© Великолепные

Я Хорошие

Д Наблюдалась незначительная неоднородность.

) Наблюдалась значительная неоднородность

1838449

Табл и ц а 10-2

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты), Показатели оценки:

© Великолепные

Q Хорошие

4 Наблюдалась незначительная неоднородность х Наблюдалась значительная неоднородность

1838449

Таблица 10-3

Показатели оценки:

@ Великолепные

Q Хорошие д Наблюдалась незначительная неоднородность х Наблюдалась значительная неоднородность 39

1838449

Таблица 11-1

© Однородное диспергирование

IQ Почпе однородное диспергирование.

g Наблюдалось незначительная неоднородность. х Наблюдалось незначительная неоднородность.

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты);

Показатели оценки:

41

1838449

Таблица 11-2

Показатели оценки;

© Однородное диспергирование

Q Почти однородное диспергирование. д Наблюдалось незначительная неоднородность. х Наблюдалась значительная неоднородность.

Значение в скобках указывает содержание каждого компонента (весовые проценты).

1838449

Таблица 11-3

Составы растворителей

Пример

Результаты диспергирования

R 226 са (100)

R 226 сЬ (100)

R 222 с . (100)

R 223 са (100)

R 223cb (100)

R 224сс (100)

R 232 са (100)

R 232 сЬ (100)

R 233 cb . (100)

R 233 са (100)

R 233 сс (100)

R 242 cb (100)

R 242 са (100) 11-34

11-35

11-36

11-37

11-38

11-39

11-40 г 1-41

11-42

11-43

11-44

11-45

11-46

11-47

R 226 са (75) (н-гептан. (25) R 226 са (75) (этанол (25)

R 226 са (75) (ацетон (25)

R 226 са (75) (трихлорэтилен (25)

R 226 (75) этилацетат(25) 11-48

11-49

11-50

11-51

Значение в скобках указывает содержание данного компонента (весовые проценты)

Показатели оценки:

© Однородное диспергирование, Q Почти однородное диспергирование.

d Наблюдалась незначительная неоднородность.;

Х Наблюдалась значительная неоднородность. 45

1838449

Таблица 12

Удельные объемные сопротивления равняются по крайней мере 1 х 10 Ом. см.

Составитель В. Нарина

Редактор С. Кулакова Техред M.Ìoðråíòàë Корректор Т. Вашкович

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2907 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста Обезжиривающее средство, очищающее средство, средство для удаления полировочного состава, средство для удаления флюса, средство для удаления остаточной воды, средство для удаления резиста и средство для проявления резиста 

 

Похожие патенты:

'листен // 392177

Изобретение относится к моющим составам, в частности к моющему средству для очистки поверхности изделий радиоэлектронной аппаратуры

Изобретение относится к области химической обработки, в частности к очистке оптической поверхности растворителями

Изобретение относится к составам для чистки канализационньк труб

Изобретение относится к моющим составам ,в частности, к композициям для очистки оптически прозрачных изделий, например, из меди, алюминиевых сплавов и хлорида натрия
Наверх