Устройство для металлизации в вакууме

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48Ь, 13/10

Заявлено 05.1Х.1962 (№ 794182/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1967. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 23.III.1967

МПК С 23с

УДК 621.793.14.002.51 (088.8) Комитет по делам иеооретеиий и открытий при Совете Мииистрав

СССР

Авторы изобретения

Л. С. Сибирев, Э. Г. Ахмедов, A. В. Алексеев, В. Д. Богушевич и В. П. Губанов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ МЕТАЛЛИЗАЦИИ В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Известны устройства для металлизации в вакууме изделий с неподвижным расположением кассет с деталями и испарителей.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что вакуумная камера снабжена контейнером с секционной токоведущей шиной, в котором испарители и кассеты с деталями расположены секционно, и подвижной кареткой со скользящим контактом, перемещающейся внутри или снаружи камеры, служащей для подачи напряжения на секции токоведущей шины контейнера.

Устройство в таком выполнении обеспечивает получение качественных покрытий при обработке изделий сложной конфигурации и имеет большую производительность.

На чертеже показано описываемое устройство.

Оно имеет вакуумную камеру l, в которой расположен контейнер 2, снабженный секционной токоведущей шиной 3. В контейнере испарители 4 и кассеты 5 с деталями расположены секционно. Камера снабжена подвижной кареткой 6 со скользящим контактом, которая может перемещаться снаружи или внутри камеры. Кроме того, устройство снабжено системой откачки 7.

При работе устройства используются два или несколько контейнеров для осуществления операций загрузки и выгрузки контейнеров в течение рабочего цикла камеры, Напряжение на испарители подают прп гомощи подвижной каретки, обеспечивающей автоматическое подключение испарителей в необходимой последовательности.

При движении каретки в начале цикла она обеспечивает подачу напряжения для оплавления и обезгаживания испаряемого материа10 ла, а затем подачу напряжения для испарения.

Устройство для металлизации в вакууме, содержащее вакуумную камеру с расположенными в ней испарителями и кассетами с деталями, откачную систему, отличающееся тем, 20 что, с целью получения качественных покрытий при обработке изделий сложной конфигурации и увеличения производительности, камера снабжена контейнером с секционной токоведущей шиной, в котором испарители и

25 кассеты с деталями расположены секционно, и подвижной кареткой со скользящим контактом, перемещающейся внутри или снаружи камеры, служащей для подачи напряжения на секции токоведущей шины контейнера.

191988

Составитель Е. Н. Кубасова

Редактор Л. М. Струве Текред А. А, Камышникова Корректоры: Н. Н. Самыгина и А. М. Смак

Заказ 720/б Тирагк 535 Подписное

LIHIIHIIH Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для металлизации в вакууме Устройство для металлизации в вакууме 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов

Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов

Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия

Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат

Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов

Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах

Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов
Наверх