Способ очистки тетраэтоксисилана

Авторы патента:


 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл, 12о, 26/03

Заявлено 02.XII.1964 (№ 931604/23-4) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Оп бликовано 06,!!.1967. Бюллетень № 5

1Ч11К С 071

Комитет по лелем изобретений н открытий при Совете Министров

СССР ДК 547 272 128 05 (088.8) Дата Ohio о. IHKOBclHHB OIIHCBHHH 5.1 " .1967! С. И. Клещевникова, Г. А, Дубровская и Е. Ф. Левина,, - li, т.- ..

Авторы изооретения

1, 1 ф ф),т 1 "

Заявитель

СПОСОБ ОЧИСТК!! ТБТРАЭТОКСИСИЛАНА

Известе. способ очистки тетраэтоксисилапа от примесей триэтоксисилана и катализатора (соединений металлов 1 группы периодической системы) ректификацией. В получаемом при этом тетраэтоксисилане-ректификате содержится примесь триэтоксисилапа, что делает процесс взрывоопасным.

Для обеспечения безопасности процесса предложен способ очистки тетраэтоксисилана, заключающийся в обработке тетраэтоксисилана, содержащего примеси, увлажненным азотом с последующей ректификацией или разгонкой.

Пример. 95 г тетраэтоксисилана, содержащего 3,5,(, триэтоксисилана и 0,55% соединений натрия (в пересчете на натрий), продувают увлажненным азотом, при этом вносят 0,6 г воды. После барботирования азота тетраэтоксисилан подвергают разгонке, продукты гидролиза и соединения натрия остаются в кубовом остатке. Полученный тетраэтоксисилан не

5 содержит ни триэтокспсилана, ни соединений натрия.

Предмет изобретения

Способ очистки тетраэтоксисплана от приме10 сей триэтоксисилана и соединений металлов

1 группы периодической системы, отличаюш,нйся тем, что, с целью обеспечения безопасности процесса и повышения качества продукта, тетраэтоксисилан, содержащий указанные приме15 си, подвергают обработке увлажненным азотом с последующей очисткои известными способами, например разгонкой.

Способ очистки тетраэтоксисилана 

 

Похожие патенты:
Изобретение относится к химии кремнийорганических соединений, применяемых для получения полимерных кремнийсодержащих продуктов различных классов
Изобретение относится к химии кремнийорганических соединений, применяемых для получения полимерных кремнийсодержащих продуктов различных классов

Изобретение относится к кремнийорганической химии и касается усовершенствованного способа выделения триметилхлорсилана Me3SiCl из азеотропной смеси триметилхлорсилан-тетрахлорсилан Me3SiCl-SiCl4
Изобретение относится к глубокой очистке алкилсилоксанов и алкилсилазанов, применяемых в производстве фоторезисторов и микроэлектронике
Изобретение относится к способам очистки низших тетраалкоксисиланов, в частности тетраметоксисилана, который может быть применен в микроэлектронике и для шихт для волоконно-оптического стекловарения
Наверх