Патент ссср 193017
О П И С А Н И Е l930I7
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Со!оз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 04.11,1963 (№ 818024/26-4) Кл. 27d, 4/02 с присоединением заявки №
МПК F 04g
УД!1(621.528(088,8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Приоритет
Опубликовано 02.111.1967. Ь!оллетень ¹ 6
Дата опубликования описания 5Х.1967
ИАСОС ДЛЯ Г1ОЛУЧЕ11ИЯ ВЬ1С01(ОГО ВА1(УУМА
Известны насосы для получеш1я высокого
BBKl! ма, содержащие корпуc, вну три которого размещены испаритель титана и copoIIHoiIIIBH поверхность, имеющая комнатную температуру или охс!аждаемая до низких температур, например, кидких! азотом.
В предлагаемом насосе сорбционная поверхность нагревается 1о задаш1ой температуры, например 700 — 900-С, для чего она подключена при помощи токоподводящих шин к электросети. Зто позволяет повысить эффективность откачки, а при использовании предлагаемого насоса совместно с низкотемперату.рным титановым — осуществлять дифференциальну!О откачку и достигать предельного вакуума порядка 10 — - — 10 !з л1,1! рт. ст.
На чертеже изображена схема предлагаемого насоса.
В цил!!ндричсском корпусе 1 размещена сорбционная поверхность, состоящая из трех частей: рабочего цилиндра 2 с дли1и!ой толстостенной горловиной, сферического днища 8 переменной толщины и тонкого гофрированного цилиндра 4. 1(торцу цилиндра приварена фасоппая шайба б, к которой прикреплена токоподводящая шина 6. Другая шина 7 прикреплена к втулке 8, навернутой на горловину цилиндра 2.
Насос снабжен прогреваемым вакуумным шибером 9 и лабиринтным тепловым экраном
10 для защиты откачиваемого объема от распылясмого т!Пана и для тепловой изоляции
\ля изоляцш служат также и размещенные
»I1xlpI1 корпуса тонкие тепловые экраны 11.
Иснарите !b титана 12 жестко установлен в стакане 18, прикрепленном при помощи прокладок 11 !i кo.!I,!ia 15 и горловине ци !1111;I,ра 2.
При открытом шибере осуществляется пред1Q варительная откачка (до неглубокого вакуум !) из внутреннего объема насоса, после чего производится прогрев всех сорбционных поверхностей насоса до 400 †600. Зкран 10 можно прогревать отдельным электрическим
15 нагревателем.
Од1!овременно с прогревом должна производиться Отка lка lip!I поъ!Ощи извсстного Высоковакуу !ного насоса, например титанового.
После откачки и достижения заданного вакуу20 ма увели швастся ток, проходящий по сорбционной поверхности, и при ее нагреве до температуры порядка 700 — 900 С включается распылитель титана. Распыляемый титан осаждается на внутренних поверхностях гоф25 рировашюго цилиндра и активно поглощает оставшиеся в объеме компоненты атмосферного воздуха (азот, кислород, углекислый газ и углекислоту), Соединения этих газов с титаном прочные, диссоциации не подвергаются
30 и газоотдачи не создают.
193017
Составитель Г. Раочук
Тскрет А. А. Камышиикова
I t лактор Н. Громов
Корректоры: В. В. Крылова и E. Ф. Полиоиова
Заказ 959;1 Т;р»к >З5 Подииеное.
Ц1гИИПИ Комитета по делам пзооретепllH и открытий при Совете Л1инистров СССР
Л1оеква, Цеитр. пр. Серова, д. 4
Типография, пр. "à.ïóíîâà, 2
Целесообразно также предварительно распылять титан на ненагретую сорбционную поверхность, после чего, прекратив распыление, температуру поверхности довести до 700-—
900 С и установить рабочий режим.
Предмет изобретения
Насос для получения высокого вакуума, содержащий корпус с размещенными внутри него испарителем титана и сорбционной поверхностью, от,гачающийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, сорбционная поверхность подключена при помощи токоподводящих шин к электрической сети для нагрева поверхности до заданной температуры, например 700 — 900 С.
