Способ контроля процесса испарения материалав вакууме
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 05.Х1.1964 (№ 928044/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 20.Х.1967. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 26.XII.1967
Комитет оо делам изобретений и открытий при Совете Министров
QCCP
Лвторы изобретения
А. С. Назаров, Г. Ф. Ивановский, Э. А. Мах, Л. К. Пятибоков и А. А. Кузьмин
Заявитель
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛА
В ВАКУУМЕ
Извесгные способы контроля скорости испарения — метод ионизационного манометра, кварцевого резонатора и др.— мало пригодны для использования в геттерно-ионных насосах. Обычно,в таких напылительных устройствах испарение с прямонакальных и подогревных испарителей контролируют, регулируют и стабилизируют по одному из параметров накала (току, напряжению или удельной мощности). Однако такой способ не обеспечивает удовлетворительной точности регулирования и стабилизации процесса испарения, так ка|к поверхность испарителл и его сопротивление меняются с течением времени не по линейному закону.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что измеряют термоэлектропный ток с испарителя при его рабочей температуре, по величине которого судят о скорости испарения.
Для регистрации тока эмиссии вблизи иапарителя располагают дополнительный электрод (анод), имеющий положительный потенциал относительно испарителя. Испаритель будет служить источником электронов (катодом). Контроль тока эмиссии, начинал от нескольких микроампер и более, достаточно просг. Регулирование или автоматическое поддержание постоянной окорости испарения может быть осуществлено либо прямым регулированием, либо через обратную связь с помощью несложных средств,,воздействующих на режим питания испарителя. В качестве обратной связи для стабилизации режима пи5 тания испарителя и, следовательно, скорости испарения по току термоэлектронной эмиссии может служить одна нз простых схем стабилизации, имеющая достаточную чувствительность.
Возможность контроля скорости испарения по току термоэлекгронной эмиссии основывается на известном факте, что механизм испускания электронов накаленным катодом
15 аналогичен испарению атомов пз твердого тела. Измеренная для титана зависимость тока электронной эмиссии от скорости испарения при изменении температуры показывает, что ток эмиссии изменяется пропорцио20 нально скорости исиарсния. Проведенная проверка на прямонакальных титано-молибденовых испаритслях геттерпо-ионных насосов показала, что скорость испарения титана при постоянном токе термоэлектронной эмиссии
25 в вакууме 10 6 — 10 лл рт. ст. сохраняется с течением времени постоянной в пределах
4 — 8%. Это доказывает достаточную надежность способа для технических применений в условиях изменяющегося в процсссс испаре30 ния состояния поверхности испарителя, - 204484
Предмет изобретения
Составитель Г. А. Жукова
Техред Л. Я. Бриккер Корректоры: В. В. Крылова и Л. В, Черняк
Редактор Н. С, Коган
Заказ 4192/15 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
С пособ контроля процесса испарения материала в вакууме с металлических прямонакальных или подогревных испарителей, например в геттерно-ионных насосах, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения точности контроля, измеряют термоэлектронный ток с иопарителя при его рабочей температуре, по величине которого судят о скорости испа5 р ения.
