Сорбционно-ионный насос

 

206796

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Сопиалистически,т

Республик

Зависимое от авт, свидетельства М

Кл. 27с(, 5/04

Заявлено 10.1.1966 (Ф 1048249/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 08,XII.1967. Бюллетень М 1

Дата опубликования описания 8 П.19б8

МПК F 04g

УДК 621.521(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения Г. А. Корецкий, T. Г. Славинская, А. А. Кузьмин и E. H. Мартинсон

Заявитель

СОРБЦИОННО-ИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к сорбционным насосам.

Известны сорбционно-ионные вакуумные насосы без магнитного поля, в которых в качестве геттера используется титан, а источником электронов служит высокотемпературный вол ьфр а м ов ы и катод.

Известны также конструкции, в которых источником электронов служит сам прямонакальный испаритель титана, а для обеспечения необходимой ионизации при малом токе термоэмиссии испарителя применено магнитное поле.

Предлагаемый сорбционно-ионный насос без магнитного поля отличается от известных конструкций тем, что в нем совмещены функции испарителя и катода в одном рабочем элементе (испарителе-эмиттере) из специального сплава с повышенной термоэлектронной эмиссией.

В качестве материала для испарителей-эмиттеров титана предлагается сплав титана и ниобия с присадкой гексаборида лантана, обладающий при температурах достаточно интенсивного испарения титана высокой термоэлектрической эмиссией.

Удельная термоэмиссия предлагаемого сплава в 200 раз превышает эмиссию промышленного образца прямонакального испарителя.

Введение гексаборида лантана в сплав титана с ниобием дает возможность получить качественно новый испаритель-эмиттер, обладающий рядом важнейших свойств.

1. Малой работой выхода (3,17+-0,05 эв), 2. Мелкокристаллической структурой (следовательно, сплав имеет большее время рекристаллизации, чем исходный бинарный сплав).

Изменяя процентное содержание тугоплавкого компонента и легирующей добавки можно варьировать в некоторых пределах скорость испарения титана и термоэмиссию и приготовлять сплавы с повышенной термоэмиссионной способностью, применимые не только для сорбционно-ионных насосов, а для ряда специальных электровакуумных приборов.

20 Предмет изобретения

1. Сорбционно-ионный насос с испарителем, выполненным на основе титана, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции насоса, материал испарителя содержит присадку

25 гексаборида лантана.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что материал испарителя содержит 0,2 — 3 (вес) о/о гексаборида лантана.

Сорбционно-ионный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к процессам осаждения тонких пленок

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом
Наверх