Установка для нанесения металлического покрытия

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Саветскик

Социалистическими

Республик

1-" .ч . 4тГ АЛА

Ф

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.VI1.1966 (№ 1092773/29-14) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.XII.1967. Бюллетень № 2

Дата опубликования описания 19.11.1968

Кл. 32b, 17/24

МПК С 03с

УДК 666.1.056:666.266.4. .002.5 (088.8) Комитет па делам изобретений и открытий при Совете Мииистров

СССР

Авторы изобретения В. Ф. Лобанов, И. H. Мойленко, Г. В. Власов, С. К. Штандель, Ф. T. Хомякова и В. Г. Астахов

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЬ1ТИЯ

Известная установка для нанесения металлического покрытия на изделия из стекла включает вакуум-испарительную камеру с колпаком, диском, катодом, подключаемым к высоковольтному вводу, и фото метрическое устройство.

1-Iанесенис многослойных покрытий из различных материалов на этой установке затруднено.

Целью настоящего изобретения является обеспечение возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов.

Это достигается тем, что диск установлен с возможностью вращения и над ним смонтированы плоские секторные катоды, поочередно подключаемые к высоковольтному вводу.

На фиг. 1 изображен поперечный разрез установки; на фиг. 2 изображена установка в плане.

Установка для нанесения покрытия включает вакуум-испарительную камеру 1 с колпаком 2, вращающийся диск 8, высоковольтные вводы 4, на которых закреплены выполненные в виде секторов катоды 5 из различных распыляемых материалов, подключаемых поочередно к высоковольтному вводу.

На вращающийся диск 8 укладываются изделия б и эталонный образец 7.

Нанесение многослойных покрытий происходит непрерывно без подьема колпака 2 для контроля толщины покрытий.

Замер толщины производится в процессе напыления с помощью специального фотометрпческого устройства 8 и эталонный образец 7.

Процесс получения многослойных покрытий на предлагаемой установке происходит следующим образом.

Изделие б и эталонный образец укладыва10 ются в кассетах на вращающийся диск 8 под катоды 5.

В камере 1 создается давление порядка

5. 10 лл рт. ст., затем открывается игольчатый клапан натекателя 9 и в камеру 1 впус15 кается кислород до давления 5 . 10 - .ял рт. ст.

Затем включается вращающийся диск 8 и тлеющий разряд на первом катоде 5, в результате чего происходит напыленпс деталей.

Изделие периодически выходит из-под като20 да и в это время охлаждается.

Одновременно наносится слой на вращающийся в центре эталонный образец 7.

С помощью фотометрического устройства 8 в промежутке между напылением наблюдает25 ся изменение светопропускания или отражения образца за счет увеличения толщины напыляемой пленки.

При достижении необходимой световой характеристики слоя первый катод выключает30 ся и напыление материала прекращается. За207365

Г г

Фыг / юг 2

Составитель Л. Старосельская

Редактор Г. В. Петрова Техред А. А. Камышникова Корректоры: Л. М, Прохорова и Г. И. Плешакова

Заказ 48/13 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Минибтров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 тем включается второй катод, происходит напыление другого материала и т. д.

Таким образом полный цикл напыления многослойных покрытий и контроль толщины пленки происходят за один цикл работы установки.

Предмет изобретения

Установка для нанесения металлического покрытия на изделия из стекла, включающая вакуум-испарительную камеру с колпаком, диском, катодом, подключаемым к высоковольтному вводу, и фотометрическое устройство, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения возможности нанесения на изделия многослойного покрытия из разных материалов, диск установлен с возможностью вра цения и над ним смонтированы плоские секторные катоды, поочередно подключаемые к высоко10 вольтному вводу.