Способ получения заготовок кварцевого стекла
Сущность изобретения: получают заготовки кварцевого стекла. Для этого на нагретую боковую поверхность возвратно-перемещающуюся вращающуюся оправку осаждают SiO2 из парогазовой смеси, подаваемую в поток низкотемпературной плазмы. Подачу парогазовой смеси начинают производить после первых 2 - 6 циклов возвратно-поступательного перемещения оправки со скоростью 5 - 20 мм/мин. Парогазовую смесь подают в зону нижнего витка индуктора струей диаметром 2 - 6 мм. 1 табл.
Изобретение относится к производству особо чистого кварцевого стекла и может быть использовано для получения трубчатых заготовок, предназначенных для дальнейшей переработки в опорные трубы и другие виды трубных изделий.
Известен ряд модификаций способа получения полых трубчатых заготовок кварцевого стекла. Общим для всех них является использование в качестве теплоносителя кислородно-водородного пламени. Основным недостатком таких процессов является высокая степень насыщения получаемой стекломассы водой и необходимость последующего вторичного проплавления стекломассы, т. е. многостадийность процесса. Наиболее близким к изобретению является способ получения блочных заготовок кварцевого стекла, включающий циклическое возвратно-поступательное перемещение наплавляемой заготовки относительно плазмотрона, ее вращение, подачу реагентов в плазменный поток и осаждение стеклообразного кремнезема на нагретую боковую поверхность направляемой заготовки. В указанном способе за счет использования в качестве теплового агента плазменной струи исключается насыщение влагой стекломассы и обеспечивается одностадийное проведение процесса. Существенным недостатком известного способа является малая производительность процесса, обусловленная высокими скоростями перемещения направляемой заготовки и низкий коэффициент выхода годного, обусловленный тем, что направление производится непосредственно на огнеупорную подложку, что приводит к растрескиванию стекломассы и необходимости значительной механической обработки внутренней поверхности трубчатой заготовки. Целью изобретения является повышение производительности и коэффициента выхода годного. Если количество циклов, в течение которых не производят осаждение SiO2 на оправку менее двух, то происходит снижение выхода годной продукции в результате резкого разогрева оправки, ее скручивания или растрескивания. Если количество циклов, в период которых не производят осаждение SiO2 более 6, то снижается производительность процесса. Диапазон скоростей возвратно-поступательного перемещения оправки определяется условиями обеспечения требуемой температуры остекловывания на поверхности направления. При этом, если эта скорость менее 5 мм/мин, происходит перегрев оправки и ее разрушения, снижается выход годной продукции. При скоростях более 20 мм/мин не удается обеспечить проплавление сырья и получение качественного стекла. Зона ввода сырья - нижняя зона индуктора определяется газодинамикой плазменного разряда и условиями смешения плазмы и сырья. Отклонение точки ввода сырьевой струи от нижнего витка индуктора в ту или иную сторону резко ухудшает качество стекломассы и как следствие выход годного продукта и производительность. При этом, если диаметр сырьевой струи >6 мм значительно увеличивается разброс продуктов реакции и осаждение их на конструктивных элементах установки, что приводит к снижению производительности. При диаметре сырьевой струи <2 мм ухудшается разогрев подложки (оболочки), происходит ее растрескивание, снижается выход годных заготовок. Реализация способа осуществляется следующим образом. С помощью индуктора, соединенного с высоковольтным генератором, в плазмотроне генерируется высокочастотный плазменный разряд. Плазменная струя, истекая из плазмотрона, натекает на оправку, закрепленную в патронах станка. Оправке придают возвратно-поступательное и вращательное движение. При этом скорость перемещения оправки составляет 60-70 мм/мин. При этом в течение первых 2-6 циклов подачу сырья на поверхность оправки не проводят, а скорость перемещения и вращения оправки в течение этих циклов снижают с 60-70 мм/мин и 10-15 об/мин до 5-20 мм/мин до 1-2 об/мин соответственно. В течение указанного периода происходит подсхлопывание тонкостенной кварцевой трубы и ее равномерная усадка на графитовую основу. После чего в плазмотрон через узел ввода сырье подают сырьевую струю диаметром 2-6 мм. В качестве сырья используют парогазовую смесь кислорода и тетрахлорида кремния или двухфазную струю дисперсного кремнезема и несущего инертного газа. Стеклообразный кремнезем послойно осаждают на оправку, образуя трубчатую стеклянную заготовку. По мере увеличения диаметра заготовки зажимные патроны станка опускаются вместе с оправкой на величину, равную толщине направляемого слоя стекла за один проход. По достижении требуемого наружного диаметра трубчатой заготовки прекращается подача сырья, затем плазмотрон гасится. После остекловывания заготовка снимается со станка и оправка удаляется. В соответствии с вышеуказанной технологией были наплавлены трубчатые заготовки. Сравнительные характеристики процесса предлагаемого и процесса осуществляемого в соответствии с прототипом приведены в таблице. Процесс осуществляется при следующих параметрах: мощность плазменного разряда 40 кВт, расход плазмообразующего газа-воздуха 8 м3/ч исходное сырье - дисперсный кремнезем, фракционный состав 140-250 мкм, расстояние от точки ввода сырья до нижнегосреза плазмотрона 40 мм
Скорость вращения за-
готовки 2 об/мин
Начальная скорость
возвратно-поступательного
перемещения 60-70 мм/мин. (56) Заявка Японии N 59-223242, кл. С 03 В 37/00, опублик. 1984. Патент Франции N 2321459, кл. С 03 С 3/06, опублик. 1977.
Формула изобретения
РИСУНКИ
Рисунок 1
Похожие патенты:
Способ получения кварцевых заготовок // 1723057
Изобретение относится к производству кварцевых и керамических изделий, полученых золь-гель технологией
Установка для термообработки кварца // 1689312
Изобретение относится к производству кварцевого стекла, в частности к устройствам для термодробления кусков особо чистого кварца при проведении технологического процесса получения высококачественного кварцевого стекла
Способ получения кварцевых заготовок // 1662957
Изобретение относится к производству кварцевых и керамических изделий, полученных золь-гель технологией
Изобретение относится к производству особо чистого кварцевого стекла
Изобретение относится к производству труб и других полых изделий из кварцевого стекла и направлено на увеличение выхода годных заготовок и упрощение процесса их получения
Изобретение относится к промышленному строительству, а именно к технологии изготовления прецизионных резисторов и резисторных схем, используемых в электрои радиоприборостроении
Изобретение относится к производству особо чистого оптического кварцевого стекла
Изобретение относится к устройствам для непрерывного формования трубок или стержней из кварцевого стекла вытягиванием с помощью вращающихся инструментов
Изобретение относится к производству чистого кварцевого стекла, используемого в оптике, электронике, солнечной энергетике и химии получения чистых и сверхчистых веществ
Горелка // 2381186
Изобретение относится к металлургической технике и предназначено для использования в качестве устройства при изготовлении тигля из кварцевого стекла
Способ получения кварцевого стекла // 2384530
Изобретение относится к металлургической технике и предназначено для использования при изготовлении тиглей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния
Реактор // 2391296
Изобретение относится к устройству для напыления диоксида кремния при изготовлении тиглей из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей
Деталь из искусственного кварца, способ ее изготовления и включающий ее оптический элемент // 2441840
Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче
Подложка для наплавления стекломассы // 2069646
Изобретение относится к производству строительных материалов, в частности, к оборудованию стекольных заводов и может быть использовано для производства заготовок из кварцевого стекла
Изобретение относится к технологии получения тиглей из синтетического особо чистого кварцевого стекла, которые могут быть использованы в производстве полупроводниковых материалов
Изобретение относится к технологии получения синтетического кварцевого стекла