Устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов

 

Изобретение относится к устройствам для контроля и сортировки электронных деталей, в частности полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение надежности в работе. Цель достигается тем, что механизм загрузки снабжен средством сортировки полупроводниковых приборов, контактным механизмом и приемником годных и бракованных приборов, а ячейки транспортера установлены попарно и выполнены в виде расположенных параллельно в одной плоскости направляющих, напротив которых размещена крышка с образованием каналов для приборов, в донной части которых установлены плечи рычагов-упоров, закрепленных на крышке. 5 ил.

Изобретение относится к испытаниям микросхем.

Известно устройство для автоматизированного контроля и сортировки электронных деталей, в частности ИС.

Устройство разработано применительно к пенальной технологии, имеет блок контроля с одним входным отверстием для проверяемых ИС и двумя выходными отверстиями для годных и брака, накопитель для пустых пеналов, накопитель для заполненных пеналов, два захвата для манипуляции пустыми и заполненными пеналами. Недостатком данного устройства является сложная кинематическая схема, невысокая производительность из-за последовательности работы захватов при установке на позицию, загрузке, выгрузке, возвращении в исходное положение.

Известно также устройство для подготовки ИС к монтажу, содержащее механизм загрузки, механизм для вырубки ИС, контактный механизм, совмещенный с механизмом рихтовки выводов, и механизм сортировки ИС по электрическим параметрам.

Недостатком данного устройства является разнотипность устройства загрузки-выгрузки, затрудненный доступ к контактирующему, контактирование за счет деформации выводов ИС, закрытая конструкция ячейки.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является устройство для контроля и сортировки электронных деталей, в частности ИС. Устройство содержит входной и выходной бункеры, каждый из которых имеет по меньшей мере один канал для приема подводимых ИС и выдачи их на выход. Между входным и выходными бункерами расположена испытательная головка, с которой контактируют контролируемые ИС. Транспортировка ИС к испытательной головке и от нее осуществляется принудительно.

Недостатками данного устройства являются наличие единой позиции подачи и выдачи ИС, снижающее производительность, сложное гpейфеpное устройство для перегрузки ИС, наличие нескольких механизмов для выдачи ИС, карусель, поворотное устройство, трение ИС о диск при перемещении несущих элементов цепи и карусели.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение надежности в работе.

Цель достигается тем, что устройство снабжено камерой тепла, выполненной в виде замкнутого объема, внутри которого непрерывно движется транспортер, состоящий из спаренных ячеек П-образной формы с подпружиненными рычагами, позволяющими увеличить емкость камеры, вести автоматическую загрузку ИС в контактирующее устройство. Наряду с испытанием при нормальной температуре вести его при повышенной температуре.

Сравнительный анализ с прототипом показывают, что заявляемое устройство отличается наличием новых элементов: ячеек П-образной формы с подпружиненными рычагами. Таким образом, заявляемое устройство соответствует критерию "новизна".

Сравнение заявляемого решения с другими техническими решениями показывает, что применение транспортеров для переноса ИС известно. Однако использование в них ячейки с подпружиненными рычагами позволяет автоматизировать выгрузку ИС в контактирующее устройство в закрытом объеме.

Таким образом, новое сочетание признаков придает устройству новые свойства, с помощью которых достигается положительный эффект, что позволяет сделать вывод о соответствии заявляемого решения критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 ячейка цепи; на фиг. 3 разрез А-А на фиг. 2; на фиг. 4 устройство в разрезе; на фиг. 5 разрез Б-Б на фиг. 2.

Устройство для контроля и сортировки ИС выполнено в виде самостоятельных механизмов загрузки 1, контактирования 2, сортировки 3, камеры 4 тепла, транспортера 5 разгрузки, механизмов 6, 7 выгрузки, бункера 8 для брака, смонтированных на поворотной, шарнирно опертой на каркас раме, позволяющей менять угол наклона направляющей. Перемещение ИС с позиции на позицию осуществляется под собственным весом по наклонной направляющей, а внутри камеры тепла и в транспортере разбраковки принудительно.

Устройство предназначено для контроля ИС 9 с двухрядным расположением выводов и работает с плоскими металлическими кассетами.

Кассета 10 с ИС загружается в механизм 1 загрузки, имеющий автоматическое перемещение на шаг справа налево. ИС поштучно выдаются на механизм 2 контактирования, откуда после измерения годные поступают в камеру 4 тепла, а брак механизмом 3 сортировки сбрасывается в бункер 11.

В камере тепла годные ИС попадают в ячейку 12 тpанспоpтеpа 13.

Транспортер выполнен в виде цепи из ячеек 12 П-образной формы. ИС, скользя между направляющей 14 и крышкой 15, останавливается на рычаге 16, удерживаемом в закрытом состоянии пружиной 17. После цикла тепловой обработки ячейка с ИС подходит к контактирующему устройству 18 и останавливается. Контроль за перемещением ИС внутри камеры осуществляется посредством световодов 19. ИС по направляющей 20 поступает в ячейку транспортера 5 разгрузки, имеющего конструкцию ячейки, аналогичную транспортеру 13. Из транспортера 5 ИС в соответствии с программой выгружаются в кассеты соответствующей группы и в бункер 8 для брака. Открытие ячеек на позициях выгрузки осуществляется электромагнитами. Механизмы загрузки 1, выгрузки 6, 7 по конструкции однотипны.

Преимуществами данного устройства является одновременное испытание ИС при нормальной и повышенной температурах, оригинальная конструкция ячейки, однотипность конструкции механизмов загрузки, выгрузки, транспортеров.

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее механизм загрузки, рабочую камеру, в которой расположены шаговый транспортер с ячейками для полупроводниковых приборов, контактный механизм, транспортер подачи приборов по группам и механизм выгрузки, отличающееся тем, что механизм загрузки снабжен средством сортировки полупроводниковых приборов, контактным узлом и приемником годных и бракованных приборов, а ячейки транспортера установлены попарно и выполнены в виде расположенных параллельно одна другой в одной плоскости направляющих, напротив которых размещена крышка с образованием каналов для приборов, в донной части которых установлены плечи рычагов-упоров, закрепленных на крышке.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электрооборудованию и может быть использовано для механической защиты электрожгутов на подвижных участках в зонах с возможным попаданием химических реагентов (НГЖ-4, АМГ-10, МК-8, 7-50С3, ТС-1, Т-6, Б-70, РТ, Т-8В, ИМП-10, 36/1 КУА), в частности, на летательных аппаратах

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности может быть использовано в технологических процессах для загрузки полупроводниковых (п/п) пластин из одной герметичной технологической камеры в другую при сохранении чистоты их поверхности

Изобретение относится к автоматизации сборки печатных плат

Изобретение относится к технологии радиоэлектронной аппаратуры, в частности к сборке печатных плат, и может быть использовано в приборостроении, вычислительной технике и т.д

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано, например, в установках ионной, электронной, рентгеновской и фотолитографии, в конструкциях различных микроскопов, координатно-измерительных машин

Изобретение относится к технологическому оборудованию, а именно к устройствам для подготовки к монтажу радиоэлементов с различными корпусами и тремя однонаправленными выводами, расположенными в одной плоскости, и может быть использовано в радиоэлектронной, электротехнической и приборостроительной промышленности

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства изделий микроэлектроники и может быть использовано на различных финишных опрерациях сборки полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (ИМС), таких как маркировка, измерение электрических параметров, контроль внешнего вида, упаковка и других, на которых применяют многократную перегрузку изделий, размещенных в гнездах плоских многорядных кассет

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности может быть использовано в технологических процессах для загрузки полупроводниковых (п/п) пластин из одной герметичной технологической камеры в другую при сохранении чистоты их поверхности

Изобретение относится к полупроводниковой технике

Изобретение относится к упаковочному оборудованию, в частности к устройствам для упаковки полупроводниковых приборов между основной и липкой лентами

Изобретение относится к технологической оснастке и может найти применение в качестве межоперационной тары при хранении, а также при транспортировании в производстве полупроводниковых приборов

Изобретение относится к электронике и радиотехнике, а именно к креплению плоских деталей с малой жесткостью при изготовлении электрорадиоизделий, и позволяет повысить удобство в работе и предотвратить деформацию изделия

Изобретение относится к устройствам для изготовления или обработки преимущественно полупроводниковых приборов и может быть использовано в качестве технологической оснастки для изготовления других малогабаритных радиоэлементов с проволочными выводами, например импульсных микротрансформаторов

Изобретение относится к разработке конструктивных элементов общего назначения для различных электрических приборов и узлов

Изобретение относится к полупроводниковой измерительной технике и предназначено для использования при контроле толщины пластин и покрытия, квадрата сопротивления и т.д
Наверх