Способ резки пластин дисками с внешней режущей кромкой
Способ может быть использован в электронной промышленности для разрезания пластин и подложек на кристаллы. Технический результат: уменьшение ширины пропила и размеров сколов по краям реза. Перед разрезанием на обрабатываемую поверхность пластины предварительно наносят слой твердого смазочного материала толщиной не более (Lкр-2/3 Lп), где Lкр - величина вылета диска из оправки; Lп - толщина разрезаемой пластины. 1 табл., 2 ил.
Способ относится к области абразивной обработки и может использоваться, в частности, для разрезания пластин и подложек на кристаллы в электронной промышленности.
Наиболее близким способом того же назначения к заявленному способу совокупности признаков является способ резки пластин дисками с внешней режущей кромкой, включающий закрепление на шпинделе станка диска и вращение его; крепление пластины на столе станка и ее разрезание диском в продольном направлении на глубину не менее 2/3 от толщины пластины; перемещение диска в поперечном направлении после каждого продольного разрезания пластины на шаг, равный ширине кристалла; поворот стола станка на 90o с фиксацией положения после получения продольных линий реза по всей площади пластины и разрезание пластины диском в поперечном направлении со смещением диска после каждого поперечного реза в продольном направлении на шаг, равный длине кристалла, до образования сетки рисок по всей площади пластины, и принятый за прототип (см. Малышева И. А. Технология производства интегральных микросхем. - М.: Радио и связь, 1991. С. 268-269.). К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, принятого за прототип, относят то, что в известном способе затруднено попадание в зону обработки смазочно-охлаждающих технических средств (СОТС) из-за воздушных потоков, возникающих при высокой окружной скорости диска. Недостаток СОТС приводит к возрастанию сил трения и контактной температуры, а следовательно, и к увеличению ширины пропила и величины сколов по краям реза. Сущность изобретения заключается в следующем. При разрезании пластин и подложек на отдельные кристаллы используют отрезные круги малой толщины (0,010-0,045 мм). Чтобы обеспечить необходимую жесткость инструмента, разрезание проводят при больших оборотах (до 45000 об/мин). При таких оборотах в плоскости отрезного диска возникают вихревые потоки воздуха, которые препятствуют проникновению СОТС в зону обработки. Недостаточное охлаждение зоны обработки приводит к повышению напряженности процесса резания, появлению вибраций отрезного диска и, как следствие, увеличению ширины пропила и размеров сколов по краям реза. Технический результат - уменьшение ширины пропила и размеров сколов по краям реза. Указанный технический результат при осуществлении способа достигается тем, что предлагаемый, как и известный, способ резки пластин дисками с внешней режущей кромкой включает закрепление на шпинделе станка диска и вращение его; крепление пластины на столе станка и ее разрезание диском в продольном направлении на глубину не менее 2/3 от толщины пластины; перемещение диска в поперечном направлении после каждого продольного разрезания пластины на шаг, равный ширине кристалла, поворот стола станка на 90o с фиксацией положения после получения продольных линий реза по всей площади пластины и разрезание пластины диском в поперечном направлении со смещением диска после каждого поперечного реза в продольном направлении на шаг, равный длине кристалла, до образования сетки рисок по всей площади пластины. Особенность заключается в том, что перед разрезанием на обрабатываемую поверхность пластины предварительно наносят слой твердого смазочного материала толщиной не более (Lкр-2/3 Lп), где Lкр - величина вылета диска из оправки; Lп - толщина разрезаемой пластины. В процессе разрезания пластины с предварительно нанесенным слоем твердого смазочного материала (ТСМ) происходит намазывание твердой смазки по всей ширине режущей кромки отрезного круга даже при минимальной толщине слоя смазки (см. участок ТСМ на фиг.1). Находящийся на абразивных зернах и в межзеренном пространстве ТСМ гарантированно транспортируется в зону обработки, тем самым снижая силовую и тепловую напряженность процесса разрезания, что позволяет повысить качество реза (уменьшить ширину пропила и размеры сколов) и производительность (Смазочно-охлаждающие технологические средства для обработки металлов резанием: Справочник / Под общей ред. С.Г. Энтелиса, Э.М. Берлинера. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Машиностроение, 1995, с. 303-305. ). Кроме гарантированной доставки СОТС в зону резания ТСМ выступает в роли "пассивного стабилизатора", т.к. отрезной круг, прорезая легкоразрушаемый материал-смазку, оказывается защемленным в ней и вступает в контакт с заготовкой с меньшей амплитудой колебаний режущей кромки, что также способствует уменьшению ширины пропила и размеров сколов. Ограничение максимальной толщины слоя ТСМ величиной, определяемой по формуле изобретения, обусловлено тем, что этот размер (толщина) представляет собой расстояние от обрабатываемой поверхности пластины до оправки отрезного круга, которое свободно для заполнения смазкой. Избыток же нанесенного ТСМ не разместится полностью в свободной зоне и будет бесцельно размазан по оправке отрезного круга, что приведет к дополнительному расходу ТСМ. Проведенный заявителем анализ уровня техники, включающий поиск по патентным и научно-техническим источникам информации, и выявление источников, содержащих сведения об аналогах заявленного изобретения, позволил установить, что заявитель не обнаружил аналог, характеризующийся признаками, тождественными всем существующим признакам заявленного изобретения. Определение из перечня выявленных аналогов прототипа как наиболее близкого по совокупности существенных признаков аналога позволило выявить совокупность существенных по отношению к усматриваемому заявителем техническому результату отличительных признаков в заявленном способе, изложенных в формуле изобретения. Следовательно, заявляемое изобретение соответствует условию "новизна". Для проверки соответствия заявленного изобретения условию "изобретательский уровень" заявитель провел дополнительный поиск известных решений, чтобы выявить признаки, совпадающие с отличительными от прототипа признаками способа резки пластин дисками с внешней режущей кромкой. Результаты поиска показали, что заявляемое изобретение не вытекает для специалиста явным образом из известного уровня техники, поскольку из уровня техники, определенного заявителем, не выявлено влияние предусматриваемых признаками заявленного изобретения преобразований на достижение технического результата. Описываемое изобретение не основано на изменении количественных признаков, представлении их во взаимосвязи либо изменении их вида. Следовательно, заявляемое изобретение соответствует условию "изобретательский уровень". На чертежах представлено: на фиг.1 схема реализации заявленного способа; на фиг.2 разрез А - А фиг.1. На шпинделе 1 станка установлена оправка 2, в которой закреплен отрезной диск 3. Слой ТСМ 4 предварительно нанесен на пластину 5, закрепленную на столе 6 станка. Предлагаемый способ резки пластин дисками с внешней режущей кромкой может быть реализован следующим образом. Пример. Разрезание проводили на станке марки 04ПП100М бескорпусным алмазным отрезным кругом 56х40х0,045 БрАСН 10/7 (НТ20) -100, закрепленным в оправке с величиной вылета кр= 2 мм. В качестве заготовки использовали кремниевую пластину марки ЭКЭС диаметром 76 мм и толщиной Lп=0,5 мм. Перед разрезанием на пластину 5 предварительно нанесли слой ТСМ 4, например, марки Л326/1 или ДФ-11 (Островский В.И. Импрегнированный абразивный инструмент. Обзор. - М. : НИИМАШ, 1983, 72 с. ), толщиной не более (Lкр 2/3 Lп=2-2/3
Формула изобретения
Способ резки пластины диском с внешней режущей кромкой, включающий закрепление на шпинделе станка диска и вращение его, крепление пластины на столе станка и ее разрезание диском в продольном направлении на глубину не менее 2/3 от толщины пластины, перемещение диска в поперечном направлении после каждого продольного разрезания пластины на шаг, равный ширине кристалла, поворот стола станка на 90o с фиксацией положения после получения продольных линий реза по всей площади пластины и разрезание пластины диском в поперечном направлении со смещением диска после каждого поперечного реза в продольном направлении на шаг, равный длине кристалла до образования сетки рисок по всей площади пластины, отличающийся тем, что перед разрезанием на обрабатываемую поверхность пластины предварительно наносят слой твердого смазочного материала толщиной не более (Lкр-2/3 Lп), где Lкp - величина вылета диска из оправки; Lп - толщина разрезаемой пластины.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Похожие патенты:
Изобретение относится к области обработки алмазов в бриллианты и может быть использовано в алмазоперерабатывающей промышленности
Способ получения янтарных изделий // 2206462
Изобретение относится к получению художественно-декоративных и технических изделий из композиционных материалов на основе янтаря с использованием полимерного связующего
Способ изготовления янтарных изделий взрывом // 2200675
Изобретение относится к производству художественно-декоративных и технических изделий из порошкообразного янтаря, например янтарной муки, и может быть использовано для изготовления крупногабаритных изделий с развитыми поверхностями, таких, например, как витражи, панно, декоративные панели, облицовочные плитки, элементы мебели и т.п
Способ обработки янтаря // 2200093
Изобретение относится к способам обработки янтарного сырья, преимущественно мелких фракций, и получению янтарных изделий, а также различных композиций, в состав которых входит янтарь
Маркирование алмаза // 2198099
Изобретение относится к области нанесения маркировок и касается способа маркирования поверхности алмаза для получения на ней маркировки, которая невидима невооруженным глазом, включающего нанесение на упомянутую поверхность слоя резиста, осуществление абляции выбранной зоны слоя резиста для формирования маски на поверхности алмаза и травление поверхности алмаза через маску для маркирования поверхности алмаза, при этом перед абляцией выбранной зоны резиста на упомянутый слой резиста наносят электропроводящий слой и обеспечивают электрическое соединение с электропроводящим слоем во время травления для предотвращения накопления заряда во время травления
Способ изготовления дифракционных оптических элементов на алмазных и алмазоподобных подложках // 2197006
Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для создания сложных дифракционных оптических элементов (ДОЭ) - киноформов, фокусаторов, корректоров и т
Изобретение относится к области выращивания монокристаллов кремния, в частности к выделению отдельных частей слитков монокристаллов, в которых концентрация примеси углерода имеет заданные значения
Способ обработки алмазов в бриллианты // 2179509
Изобретение относится к области обработки алмазов в бриллианты
Способ обработки кристаллов алмаза // 2174910
Изобретение относится к технологии обработки кристаллов алмаза с выбором вектора "мягкого" направления шлифования плоскостей
Установка для резки блоков газобетона // 2203179
Изобретение относится к области строительства, а именно к оборудованию для распиловки блоков газобетона
Устройство резки твердых материалов // 2193485
Изобретение относится к устройствам для обработки твердых материалов
Изобретение относится к технологии разрезания заготовок и может быть использовано для крепления дисковых пил, в частности, при разрезания заготовок из полупроводниковых и диэлектрических материалов на отдельные пластины
Станок для распиловки твердых материалов // 2170173
Изобретение относится к устройствам для распиловки твердых материалов, например природного или искусственного камня
Изобретение относится к устройствам для обработки строительных материалов, в частности к устройствам для подачи СОЖ к дисковому инструменту
Изобретение относится к кругам, предназначенным для сухой резки твердых и хрупких неметаллических материалов
Пила кольцевая // 2146612
Устройство для стабилизации алмазного диска // 2129068
Переносной станок для резания камня // 2127663
Алмазная дисковая сегментная пила // 2109633
Изобретение относится к режущему инструменту, а именно к алмазным дисковым сегментным пилам для распиловки и окантовки природного камня
Хонинговальный инструмент // 2208509
Изобретение относится к чистовой обработке поверхностей и может быть использовано при обработке внутренних цилиндрических поверхностей с широким диапазоном диаметров