Измерительная система с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода шотки
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в конструкции измерительной системы (ИС) температуры и/или ультрафиолетового излучения (УФИ). Для измерения температуры и возможности регистрации УФИ одним датчиком в условиях повышенной температуры ИС с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода Шотки (ДШ), содержащим подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n+-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод (ОЭ), соединенный с n+-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны, противоположной n+-области подложки, выпрямляющий электрод (ВЭ) из полупрозрачного слоя Au, соединенный с n-слоем подложки с образованием контакта Шотки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт (ВК), присоединенный к ВЭ. Между ВК и ОЭ подключена внешняя электрическая цепь, в которой установлены блок питания (БП) и блок регистрации (БР). БП содержит источник стабилизированного тока, подключенный к ДШ с возможностью подачи смещения в прямом направлении, а БР подключен к выходу ДШ по напряжению. ИС может быть дополнительно оснащена каналом регистрации УФИ. Технический результат - обеспечение одновременного контроля температуры и ультрафиолетового излучения, обеспечение работоспособности датчика при повышенной температуре, увеличение чувствительности. 4 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл.
Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)и
Формула изобретения
1. Измерительная система с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода Шотки, содержащим подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n+-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод, соединенный с n+-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны, противоположной n+-области подложки, выпрямляющий электрод, изготовленный из полупрозрачного слоя золота и соединенный с n-слоем подложки с образованием контакта Шотки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт, присоединенный к выпрямляющему электроду, при этом между выводным контактом и омическим электродом подключена внешняя электрическая цепь, в которой установлены блок питания и блок регистрации, отличающаяся тем, что для измерения температуры блок питания содержит источник стабилизированного тока, подключенный к диоду Шотки с возможностью подачи смещения в прямом направлении, а блок регистрации подключен к выходу диода Шотки по напряжению.2. Измерительная система по п.1, отличающаяся тем, что для измерения одним датчиком температуры и ультрафиолетового излучения в ее внешней цепи дополнительно установлен программный задатчик, а блок питания дополнительно содержит источник стабилизированного напряжения, при этом первый выход программного задатчика соединен с управляющим входом блока питания, второй выход программного задатчика связан с управляющим входом коммутатора, выходы диода Шотки по напряжению и току подключены к блоку регистрации через соответствующие информационные входы коммутатора.3. Измерительная система по п.2, отличающаяся тем, что для приема избирательного сигнала в ультрафиолетовой области на выпрямляющий электрод со стороны принимаемого светового излучения нанесен серебряный светофильтр.4. Измерительная система по пп.1-3, отличающаяся тем, что для работы в условиях повышенной температуры выводной контакт выполнен из никеля.5. Измерительная система по пп.1-4, отличающаяся тем, что выпрямляющий электрод выполнен толщиной от 80 до 120 A.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14
