Комбинированный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к технике создания источников ионов, предназначенных для ускорителей заряженных частиц. Технический результат - увеличение тока пучка ионов на выходе ускорителя. Для достижения данного результата лазер установлен таким образом, что его луч попадает на катод, а между промежуточным электродом и анодом установлен дополнительный электрод, соединенный с источником электропитания. 1 ил.

 

Изобретение относится к источникам ионов, предназначенных для ускорителей заряженных частиц.

Аналогами изобретения являются лазерный источник ионов [1] и дуопигатронный источник ионов [2].

Наиболее близким аналогом, который выбран за прототип, является дуоплазматрон с холодным катодом, состоящий из катода, соединенного с источником электропитания, промежуточного электрода, соединенного с источником электропитания, анода с отверстием эмиссии и электромагнитной катушки, предназначенной для формирования магнитного поля между промежуточным электродом и анодом [3].

Известно, что величина тока ионов на выходе ускорителя зависит от фазовой характеристики ионного пучка, генерируемого источником заряженных частиц на входе ускорителя. Достоинством лазерного источника ионов является возможность генерации потока ионов с большой интенсивностью заряженных частиц для широкого спектра как по зарядовому состоянию, так и по типу элементов твердых, жидких и газообразных веществ, ионы которых экстрагируются электрическим полем из плазменного сгустка, образующегося в результате испарения лучом лазера материала мишени [1]. Недостатком такого источника является плохая ламинарность пучка заряженных частиц на его выходе, что обусловлено действием самосогласованных электрических полей в разрыве между электронным и ионным фронтами разлетающейся лазерной плазмы. Наличие разрыва с самосогласованными электрическими полями способствует увеличению хаотической составляющей скорости ионов в экстрагируемом пучке, ведущего к росту потерь ионов в процессе ускорения и уменьшению тока пучка на выходе ускорителя. Сильноточный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом - дуоплазматон [3], в котором основным механизмом ионизации является столкновение плазменных электронов с парами рабочего вещества, - позволяет формировать на выходе такого типа плазменного генератора поток ионов с хорошей ламинарностью. Но температура и плотность плазмы в дуоплазматроне в несколько раз меньше, чем у лазерного источника ионов [4], что приводит к снижению зарядности и величины тока ионного пучка, генерируемом подобным источником, и уменьшает ток на выходе ускорителя.

Сущность изобретения заключается в том, что в области первой ступени электрического разряда комбинированного источника ионов с двухступенчатым электрическим разрядом образуется лазерная плазма с большой плотностью в результате испарения и ионизации лазерным лучом материала катода, из которой отбираются только нейтральная и электронная компоненты, для формирования второй ступени разряда. Ионная составляющая плазмы второй ступени разряда, служащая для формирования на выходе источника пучка заряженных частиц, образуется в результате прямой ионизации нейтралов диффундировавших из лазерной плазмы первой ступени электронами той же плазмы и вторичными электронами плазмы второй ступени электрического разряда. Таким образом, на выходе предлагаемого изобретения формируется плотная плазма, не имеющая разрыва между электронной и ионной компонентами, что улучшает фазовую характеристику экстрагируемого ансамбля ионов и способствует увеличению тока пучка на выходе ускорителя. Комбинированный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом состоит из катода, соединенного с источником электропитания, промежуточного электрода, соединенного с источником электропитания, анода с отверстием эмиссии и электромагнитной катушки, предназначенной для формирования магнитного поля между промежуточным электродом и анодом, отличающийся тем, что в нем установлен лазер таким образом, что его луч попадает на катод, анод соединен с источником электропитания, а между промежуточным электродом и анодом установлен дополнительный электрод, соединенный с источником электропитания.

Таким образом, в предлагаемом изобретении в результате использования перечисленных элементов конструкции и оборудования, установленных и соединенных именно указанным образом, возникает новое физическое свойство, выражающееся в использовании различных механизмов ионизации вещества на различных ступенях электрического разряда. А именно, для формирования ионного пучка используются только две составляющие лазерной плазмы, образованной в первой ступени электрического разряда, расположенной в прикатодной области источника, электронная и нейтральная компоненты. В области экстракции ионного пучка эти две составляющие взаимодействуют, и в результате ионизации нейтралов электронным ударом образуется трехкомпонентная плазма, отличающаяся большой плотностью и не имеющая разрыва между электронной и ионной компонентами. Что позволяет в предложенном изобретении по сравнению с прототипом увеличить ток пучка заряженных частиц на выходе источника, расширить их зарядовый и массовый спектры, улучшить ламинарность трубок тока в извлекаемом пучке и способствует увеличению тока пучка ионов на выходе ускорителя.

Широко известны лазерные источники ионов и источники заряженных частиц, у которых ионная и электронная составляющие плазмы образуются в результате горения двухступенчатого электрического разряда, но ионных источников, изменяющих в процессе горения электрического разряда механизм ионизации таким образом, при котором ионная компонента второй ступени электрического разряда формируется из нейтралов, образованных в лазерной плазме первой ступени путем их прямой ионизации электронами той же лазерной плазмы, не обнаружено.

Анализ отличительных существенных признаков и проявленных благодаря им свойств, связанных с достижением положительного технического результата, а именно наличие конструктивных изменений, вызвавшее возникновение нового физического свойства, приведшее к положительному эффекту, позволяет считать, что заявленное техническое решение соответствует критерию изобретения.

Комбинированный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом показан на чертеже. Он состоит из лазера 1, анода 2, с отверстием эмиссии 3, соединенного с источником электропитания 4, дополнительного электрода 5, имеющего апертуру и соединенного с источником электропитания 6, промежуточного электрода 7, соединенного с источником электропитания 8, катода 9, электромагнитной катушки 10 и источника электропитания 11, соединенного с катодом 9.

Предлагаемое изобретение работает следующим образом. Электрический разряд формируется, после того как луч лазера 1, попав на катод 9 (принципиально катод может быть твердым, жидким или в газообразном состоянии), испаряет его, образуя плотную плазменную струю, направленную перпендикулярно поверхности эмиттера, которая дополнительно ионизируется электромагнитным полем лазерного луча, образуя в прикатодной области электрического разряда изотропно расширяющийся первичный плазменный сгусток. По сообщениям в [1, 4, 6] при плотности мощности излучения СО2 лазера ~1010-1012 Вт/см2 этот первичный плазменный сгусток обладает характерными параметрами: геометрический размер ~2 мм, температура плазмы в сгустке ~100 эВ и плотность плазмы ~1019 см-3. Согласно [5] лазерная плазма не является Ламбертовским источником излучения. Как показано в [4, 6], при разлете первичного плазменного сгустка из-за разности скоростей различных компонент плазмы образуется разрыв между быстрым электронным фронтом и более медленными ионами, в котором возникают сильные самосогласованные электрические поля, ускоряющие ионы до энергий в десятки и сотни кэВ [1, 4]. В процессе разлета геометрическая форма этих фронтов и расстояние между ними изменяются самопроизвольно, изменяя величину и направление самосогласованных электрических полей на различных участках сферы разлета. Подобное явление искажает картину фазового распределения частиц заряженной компоненты плазмы, обладающей Максвелловским распределением скоростей, и способствует тому, что при формировании ионного пучка из лазерной плазмы на выходе источника образуется множество трубок ионного тока, имеющих большой разброс по энергиям и углам разлета. Упомянутая выше особенность лазерной плазмы не позволяет формировать ионный пучок, обладающий хорошей конгруэнтностью (большой степенью ламинарности трубок тока), необходимый для обеспечения условий наиболее полного захвата ионов ускоряющей структурой ускорителя в процесс ускорения, что приводит к уменьшению величины тока пучка заряженных частиц на его выходе. В предлагаемом изобретении при образовании ионов, предназначенных для ускорения, в ускорителе используются с наибольшей эффективностью только две компоненты лазерной плазмы, возникшей в первой ступени разряда, ее электронная и нейтральная составляющие. Их сепарация от тяжелой зарядовой компоненты обеспечивается тем, что катод 9 имеет больший электрический потенциал отрицательной полярности, формируемый источником электропитания 11, чем промежуточный электрод 7, на котором меньший электрический потенциал отрицательной полярности задается источником электропитания 8. Положительно заряженные ионы лазерной плазмы под действием электрического поля между промежуточным электродом 7 и катодом 9 движутся в направлении последнего, а электроны, дрейфуя в сторону промежуточного электрода через апертуру в его конусном сужении попадают в зазор между промежуточным электродом 7 и анодом 2. Значение электрического потенциала отрицательной полярности на аноде 2 задается источником электропитания 4 из расчета обеспечения эффекта отражения электронного потока, налетающего со стороны дополнительного электрода 5. Поскольку электрический потенциал, формируемый источником электропитания 6, на дополнительном электроде 5 имеет положительное значение по сравнению с аналогичными потенциалами на аноде 2 и промежуточном электроде 7, то электроны в пространстве со встречной суперпозицией электрических полей начинают осциллировать между промежуточным электродом 7 и анодом 2, пролетая через апертуру дополнительного электрода 5, ионизируя нейтралы лазерной плазмы, которые также заполняют пространство между этими электродами. Незаряженная составляющая лазерной плазмы попадает в область между анодом 2 и промежуточным электродом 7 в результате температурной диффузии и под действием гидродинамического движения, обусловленного наличием начальной составляющей их скорости, вектор которой перпендикулярен плоскости катода и конструктивно совпадает с направлением экстракции ионов из источника [4].

Механизм ионизации вещества, используемый при формировании второй ступени электрического разряда, позволяет создавать стационарную плазму без разрыва ее зарядовых составляющих, характерного для горячей лазерной плазмы первой ступени [4]. Электромагнитная катушка 10 создаваемым магнитным полем контрагирует плазму в зазоре между промежуточным электродом и анодом, увеличивая ее плотность в области отверстия эмиссии 3, через которое производится экстракция ионов, это способствует увеличению тока ионов на выходе источника [3]. Большая начальная плотность незаряженной и электронной составляющих в лазерной плазме первой ступени электрического разряда [6] позволяют формировать плотную плазму во второй ступени электрического разряда. Подобная плазма, образованная в результате прямой ионизации пара осциллирующим электронным потоком, характеризуется Максвелловским распределением скоростей в ее составляющих и не способствует возникновению разнонаправленных трубок тока [2, 3], характерных для лазерной плазмы, что позволяет получить на выходе ионного источника пучок заряженных частиц с хорошей конгруэнтностью и большим током. Плотность плазмы в области отверстия эмиссии 3 можно регулировать, изменяя плотность мощности лазерного излучения и расстояния между катодом 9, промежуточным электродом 7 и анодом 2.

В [6] показано, что при расширении первичного плазменного сгустка температура плазмы изменяется по закону V· Tγ =const, где V - объем, занимаемый плазмой, Т - ее температура, γ - показатель адиабаты, зависящий от материала вещества. Иллюстрируя процесс разлета первичного плазменного сгустка, примем: γ ~3/2 (значение, свойственное одноатомным газам), V - характерный размер первичного плазменного сгустка, имеющего диаметр ~2 мм. Объем расширившейся плазмы в первой ступени электрического разряда будет зависеть от расстояния между катодом 9 и выходом конуса промежуточного электрода 7, который зададим в приводимом примере ~20 мм (величина, соответствующая расстоянию между аналогичными электродами в прототипе [3]). Несложные оценки с учетом выражения V· Тγ =const показывают, что расширившаяся плазма первой ступени, имевшая на катоде источника параметры, свойственные первоначальному плазменному сгустку [6], при истечении из промежуточного электрода 7 будет обладать плотностью ~ 1015-1016 см-3, температурой электронной и нейтральной компонент Т~1 эВ. После ионизации нейтральной составляющей электронами, установления равновесия и термолизации плазмы, можно ожидать, что температура ее ионной компоненты второй ступени электрического разряда в области отверстия эмиссии 3 будет того же порядка (т.е. 1 эВ). Практика показала, что плазма, имеющая подобную температуру, позволяет формировать на выходе источника ионов пучки, обладающие фазовыми характеристиками, способствующими уменьшению потерь частиц при их ускорении в ускорителе [3]. Большая плотность плазмы второй ступени электрического разряда на выходе источника заряженных частиц способствует увеличению тока ускоряемого пучка. Процессы ионизации и возбуждения нейтралов электромагнитным плазменным излучением во второй ступени электрического разряда предлагаемого источника ионов не являются определяющими и в дальнейших оценках этот фактор можно не учитывать.

Детальный расчет эмиттанса ионного пучка на выходе предлагаемого изобретения представляется затруднительным. При проведении даже качественной оценки фазовой характеристики пучка, экстрагируемого из комбинированного источника ионов с двухступенчатым электрическим разрядом в целях его сравнения с прототипом, следует учесть нарастание энтропии во второй ступени электрического разряда за счет необратимых процессов, возникающих при образовании и термолизации плазмы. Эти явления способствуют увеличению плазменной температуры в области отверстия эмиссии 3. Релаксационное выравнивание температур двух зарядовых компонент образуемой плазмы само по себе является термодинамическим неравновесным процессом. Кроме того, возникают необратимые явления, связанные с неоднородностью распределения температуры и плотности частиц, наличием градиента скоростей частиц и неоднородностью внешних полей. В область между анодом 2 и промежуточным электродом 7 поступают электронная компонента расширившегося сгустка первичной лазерной плазмы с температурой Т~1 эВ и ее нейтральная составляющая с такой же температурой, которая ионизируется электронами. Одновременно происходит выравнивание температур всех компонент вторичной плазмы на выходе ионного источника. Оценку изменения температуры плазмы второй ступени разряда в процессе релаксации и установления термодинамического равновесия в ней (без учета ионизации) проведем, используя основное уравнение термодинамики неравновесных процессов, описывающее удельное производство энтропии ζ (x) [7]

где Iq - плотность потока тепла, Iα - плотность потока частиц α -й - компоненты, которую можно оценить согласно [8]

где ρ α - плотность частиц α -й компоненты, Vα - их скорость, V0 - скорость движения системы как целого, ρ 0 - плотность диффузионного потока частиц, определяемого процессами переноса, Пα β =П(1)αβ+Пα β (2) - тензор вязких напряжений, в котором Пα β (1) - учитывает сдвиговое трение, Пα β (2) - учитывает эффект объемного трения, , U - потенциал внешнего поля, Т - температура плазмы, x→ (x, у, z) - пространственные координаты, Vα β - относительная скорость зарядовых компонент плазмы, μ α - парциальный химический потенциал ионов. Упрощение уравнения (1) путем его записи через термодинамические потоки и термодинамические силы в изотропной среде с заданными полями температуры, скоростей и химических потенциалов вполне допустимо в рамках проводимых оценок [7]. Закономерно, что энтропия в системе будет изменяться, как для поперечного, так и для продольного движения частиц. Для оценки поперечного эмиттанса пучка ионов на выходе источника заряженных частиц вполне корректно использовать (1) и (2), поскольку в продольном магнитном поле второй ступени электрического разряда, направленном вдоль оси, экстракции ионов, движения заряженных частиц в ортогональных направлениях связаны слабо. Оценить температуру плазмы можно, рассматривая только движение частиц в перпендикулярных оси экстракции направлениях. Положим, что в системе отсутствуют градиенты поперечных скоростей, способствующие производству энтропии, и все реальные процессы такого движения связаны с переносом тепла (второе слагаемое выражения (2)) и диффузией частиц (первое слагаемое того же выражения). Поскольку времена релаксации электронной и ионной составляющих различны, можно рассматривать их как не связанные однокомпонентные системы, в каждой из которых поток диффузии исчезающе мал. Приняв во внимание сделанные допущения и теплопроводность системы λ , выражение для плотности потока частиц примет вид , а выражение для производства энтропии можно записать как

Описывая в процессах изменения энтропии релаксирующих компонент зависимость потенциальной энергии кулоновского взаимодействия ионов (α ) и электронов (е) между собой и друг с другом от температуры каждой из составляющих плазму выражением δ Q=Фe(Te)+Фα (Tα )-Фe(Teα)-Фα (Tα e), с учетом (1)-(3), общую температуру системы после термолизации можно представить как

где Nе и Nα - соответственно плотности электронов и ионов, Те и Tα - их температуры. Это выражение показывает, что после термолизации и установления равновесия температура плазмы в области отверстия эмиссии 3 будет понижена из-за наличия кулоновского взаимодействия вне зависимости от ее плотности.

Существующая практика подтверждает, что в источниках с пигатронным эффектом, у которых плазма образуется при горении двухступенчатого электрического разряда в результате прямой ионизации газа осциллирующими электронами, ее температура в области формирования пучка заряженных частиц меньше, чем в дуоплазматронах и подобные источники способны генерировать ионные пучки с меньшими фазовыми объемами [2, 9]. Недостатком таких генераторов является малая плотность плазмы в зоне отбора [2].

Одномерный поперечный фазовый объем пучка ионов, извлекаемого из источника заряженных частиц, определим согласно [6]

где с - скорость света в вакууме, dVx - разброс радиальных скоростей ионов, do - характерный размер эмиттера, x - текущая координата. Известно, что скорость движения иона в плазме связана со скоростью ионно-звуковых колебаний соотношением Δ Vx=0,5Vc. Скорость ионного звука Vc рассчитывается в [6]

где Z - заряд иона, Ма - его масса, К - постоянная Больцмана, Т - температура плазмы. С учетом (5) получим зависимость верхнего значения поперечного фазового объема пучка от температуры, которая будет иметь вид Vf~(Т)1/2. В прототипе температура плазмы в области формирования ионного пучка Т~5 эВ обеспечивает величину нормализованного поперечного эмиттанса в пучке 0.6 (π см мрад). В предлагаемом изобретении, с учетом (4) и (5) подобное значение фазового объема не будет превосходить 0,25 (π см мрад). Учитывая, что плотность плазмы в зоне формирования пучка на несколько порядков больше, чем в прототипе, фазовая плотность потока заряженных частиц в предлагаемом изобретении будет также больше, чем в прототипе [3]. Генерация пучка ионов подобного качества на входе ускорителя способствует увеличению тока заряженных частиц на его выходе.

Незначительная часть ионной компоненты лазерной плазмы, пролетевшая через апертуры в промежуточном электроде 7, дополнительном электроде 5 и апертуру 3 в аноде 2, будет иметь направление движения, мало отличающееся от направления, в котором ускоряются заряженные частицы. Она практически не вызовет изменения фазовой характеристики пучка по поперечным координатам и может в большей своей части быть захвачена ускоряющей структурой и затем ускорена. Учитывая наличие в этой компоненте первоначальной зарядовой составляющей, обусловленной лазерным нагревом, и высокую плотность электронного потока, осциллирующего между анодом и промежуточным электродом, можно ожидать роста средней зарядности этой составляющей на выходе источника.

Численно величину ионной компоненты для различной зарядности термодинамически равновесной плазмы в анодном отверстии эмиссии 3 можно рассчитать, используя широко известное уравнение Саха-Больцмана [9]

где n+ и nе - плотности ионной и соответственно электронной компонент в плазме, Nk - плотность компоненты, из которой производится ионизация, g+ и gk - статистические веса иона и частицы, которая подвергается ионизации, А - постоянная, Т - электронная температура, Iz - потенциал ионизации частицы из состояния k в состояние z, К - постоянная Больцмана. Из этого уравнения следует, что с увеличением Nk и k, при (z>k) возрастает число ионов n+, имеющих заряд z, поскольку при ступенчатой ионизации во второй ступени электрического разряда для отрыва электрона с верхнего уровня требуется меньшая энергия, чем для ионизации с более низкого уровня или из основного состояния атома. Кроме того, сечение ионизации возбужденных атомов всегда существенно больше, чем аналогичная величина для атомов в основном состоянии. Зависимость плотности возбужденных или предварительно ионизированных атомов в плазме от плотности ионизирующего электронного потока и плотности нейтральной компоненты с учетом их гибели в результате рекомбинации на боковых стенках камеры и дезактивации электронными ударами описывается уравнением кинетики [9]

где Nk - плотность возбужденных или ионизированных атомов, N - плотность нейтральной компоненты, nе - плотность электронного потока, k* - коэффициент, учитывающий температуру электронов, k2 - коэффициент дезактивации, ν d - частота диффузии метастабильных атомов на боковые стенки. Величина k*>k2, a плотность электронов и нейтральной компоненты, поступающих в анодную область из лазерной плазмы, значительно больше, чем в прототипе. С учетом осцилляции ионизирующего электронного потока, увеличивающей эффективное значение nе и способствующей возрастанию роли ступенчатой ионизации, а также наличия ионной компоненты лазерной плазмы, прошедшей к выходу ионного источника, уравнения (7) и (8) показывают, что будет иметь место увеличение как числа многозарядных ионов, так и их зарядового состояния на выходе комбинированного источника ионов с двухступенчатым электрическим разрядом по сравнению с прототипом.

В предложенном изобретении сохранен уникальный механизм ионизации, свойственный лазерному источнику ионов [1], позволяющий просто, эффективно и без значительных затрат получать широкий спектр ионов как по зарядовой составляющей, так и по типу вещества.

Описанный комбинированный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом прост в изготовлении, удобен, надежен в эксплуатации и может быть использован в областях народного хозяйства, в которых требуются ионы различных веществ.

Литература.

1. А.А.Голубев, Ю.Н.Ерема, Б.Ю.Шарков и др. Измерение токов и зарядового состояния пучков, сформированных из лазерной плазмы. Препринт №134-88, М., ИТЭФ, 1988.

2. M.R.Sbubaly, R.G.Maggs, A.E.Weeden. IEEE Trans. Nucl. Sci. NS-32, 1751, 1985.

3. Баталин В.А., Коломиец А.А., Кондратьев Б.К. и др. Дуоплазматрон с холодным катодом для инжектора линейного ускорителя протонов. // ПТЭ. 1975.№2. С.21.

4. Я.Браун. Физика и технология источников ионов. М. Мир. С.163-179, 323-332.

5. Л.З.Барабаш, Ю.А.Быковский, А.А.Голубев и др. Характеристики лазерной плазмы как источника ионов для драйвера тяжелоионного инерционного синтеза. Препринт №12, М. ИТЭФ, 1983.

6. Ю.П.Козырев, Б.Ю.Шарков. Введение в физику лазерной плазмы. Учебное пособие, М. МИФИ, ч.1. С.22, 1980.

7. Д.Н.Зубарев. Неравновесная статистическая термодинамика. М. Наука. 1971. С.260-325.

8. К.П.Гуров. Феноменологическая термодинамика необратимых процессов. М. Наука. 1978.

9. Ю.П.Райзер. Физика газового разряда. М. Наука. 1987. С.62-421.

Комбинированный источник ионов с двухступенчатым электрическим разрядом, состоящий из катода, соединенного с источником электропитания, промежуточного электрода, соединенного с источником электропитания, анода и электромагнитной катушки, предназначенной для формирования магнитного поля между промежуточным электродом и анодом, отличающийся тем, что в нем установлен лазер таким образом, что его луч попадает на катод, анод соединен с источником электропитания, а между промежуточным электродом и анодом установлен дополнительный электрод, соединенный с источником электропитания.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц. .

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в области ускорительной техники. .

Изобретение относится к технологии электромагнитного разделения изотопов. .

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в ускорительной технике. .

Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы.

Изобретение относится к технике создания интенсивных ионных потоков и пучков и может быть использовано при определении показателей надежности (ресурса) различных ионных источников, в частности, ионных двигателей.

Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц. .

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в области ускорительной техники. .

Изобретение относится к получению электронных и ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике. .

Изобретение относится к технике получения ионных пучков, в частности пучков многозарядных, высокозарядных и поляризованных ионов. .

Изобретение относится к технологии электромагнитного разделения изотопов. .

Изобретение относится к источникам заряженных частиц и применяется в ускорительной технике. .

Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы.

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков. .
Изобретение относится к поверхностно-плазменным источникам отрицательных ионов, а именно к способам получения отрицательных ионов в поверхностно-плазменных источниках, и может быть использовано в ускорителях заряженных частиц или устройствах для осуществления термоядерного синтеза.

Изобретение относится к источникам ионов, применяемым на ускорителях заряженных частиц
Наверх