Установка для нанесения покрытия на ленты

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий на ленты и может найти применение в различных отраслях приборостроения и машиностроения при изготовлении печатных схем на пленках, антибликовых слоев для дисплеев и других изделий. Установка содержит вакуумную камеру (1) и обечайку (20) с плоским потолком (10), расположенную между задней стенкой (18) и, по меньшей мере, одной съемной запорной плитой. В вакуумной камере (1) расположены, по меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) с осью (А) и, по меньшей мере, один источник (39а, 39b, 39 с) покрытия. Обращенные к запорной плите концы, по меньшей мере, одного направляющего валка (12, 13, 14, 15) и покрывающего валка (9) закреплены посредством несущих элементов (16, 17, 19) с опорами на потолке (10). Пространство вакуумной камеры (1) под покрывающим валком (9) удерживается свободным от несущих элементов. По меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) и покрывающий валок (9) могут быть установлены обращенными от запорной плиты и концами на задней стенке (18) или, по меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) и покрывающий валок (9) могут быть установлены обращенными от запорной плиты и концами на несущих элементах перед задней стенкой (18) закреплены на потолке (10). Такое выполнение позволяет уменьшить конструктивную высоту и ширину установки с достижением при этом хорошо видимых и контролируемых путей движения ленты с предотвращением образования частиц в зоне покрывающего валка. 19 з.п. ф-лы, 5 ил.

 

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий на ленты, снабженной вакуумной камерой и содержащей между задней стенкой и, по меньшей мере, одной съемной запорной плитой обечайку с плоским потолком, причем в вакуумной камере расположены, по меньшей мере, один направляющий валок с осью и, по меньшей мере, один источник покрытия.

В качестве лент или подложек при этом рассматриваются пленки из металлов и пластиков, бумаги и/или комбинированных материалов из них. В качестве источников покрытия рассматриваются, например, испарители, распылительные катоды с усилением магнитным полем и без него, газовые источники и т.д., причем за счет подачи нейтральных или инертных и/или реактивных газов могут быть получены металлические или оксидные слои и пакеты из нескольких слоев. Традиционными способами являются способы PVD (physical vapour deposition) и PCVD (physical-chemical vapour deposition). Возможны также предварительная обработка лент и окончательная обработка слоев посредством известных реакций. Примеры продуктов в описании рассмотрены, однако изложены не исчерпывающе.

Из US 4692233 А известна установка для нанесения покрытий на ленты, у которой с обеих сторон цилиндрической обечайки вакуумной камеры расположены станины с запорными стенками. Одна станина несет консольно установленную намоточную систему с центральным покрывающим валком, размоточно-намоточными валками соответственно для покрываемой и покрытой ленты, а также некоторое число направляющих валков для ведения ленты без складок. Другая станина несет также консольно установленную покрывающую систему с тремя источниками покрытия. Ниже горизонтальной средней плоскости, в которой лежит ось покрывающего валка, находятся три секторных отсека. За счет этого на периферии покрывающего валка образуются четыре отсека, каждый из которых присоединен к собственному вакуумному насосу. При сдвигании установки с одной стороны вводят намоточную систему, а с противоположной - покрывающую систему.

Для таких типов установок справедливо, в принципе, следующее: посредством соответствующих направляющих, например рельсов, следует позаботиться о том, чтобы детали не только не соприкасались, но и занимали точно заданные положения. При этом проблему создают уже перегородки между отсеками, которые, с одной стороны, должны вызывать хорошее герметизирующее действие отсеков между собой, а с другой стороны, не должны касаться ленты. Поэтому у объекта US 4692233 А выход был найден за счет того, что перегородки изнутри наружу выполнены из трех частей, внутренние части закреплены на передвижной намоточной станине, внешние части сварены с обечайкой вакуумной камеры, а между ними расположены эластомерные уплотнения скольжения. Герметизировать концы покрывающего валка удается, тем самым, не полностью. При этом из-за перемещений встроенных деталей потребность в площади с обеих сторон вакуумной камеры огромна. Чрезвычайно большой является и конструктивная высота, поскольку размоточные и намоточные валки находятся над покрывающим валком. Остальная конструктивная высота таких установок составляет 3,5-4 м. К тому же из-за большого числа подвижных деталей в верхней камере вся пыль от истирания в виде частиц представляет собой источник опасности первой степени для качества покрытия.

Из DE 4207525 С2 у аналогичной установки известно, что покрывающую систему неподвижно располагают в вакуумной камере, а намоточную камеру выполняют выдвижной, а именно на одном конце подвешенной к потолочному рельсу вакуумной камеры, а на другом конце опертой на тележку. Потолочный рельс в вакуумной камере также является причиной нежелательной пыли от истирания, а проблема конструктивной высоты - приблизительно такой же.

Из Langlois и др. ″Engineering Solutions Enabling a New Family of Expandable Multiprocess, Multi-Chamber Vacuum Roll Coaters″, опубл. в 1999 г. Siciety of Vakuum Coalers, ISSN 0737-5921, стр.475-479, известно обратное решение, заключающееся в том, что намоточную систему оставляют в неподвижной вакуумной камере, а покрывающие системы выполняют выдвижными в целях техобслуживания и очистки. Во избежание консольной установки валков намоточной системы места опоры расположены на одном конце в опорном теле, которое имеет приблизительно Y-образную форму с сильной кругообразной выпучиной в зоне покрывающего валка. Это опорное тело на своем нижнем конце посредством уголка привинчено к дну вакуумной камеры и блокирует, тем самым, очень важное место для размещения среднего источника покрытия. То же относится к тому опорному телу, из которого видна только правая привинченная нога. Из общего вида с ходовым рельсом для мостового крана также следует, что общая конструктивная высота вполне может превышать значение 3,5-4 м.

В DE 10157186 С1 раскрыта установка для нанесения покрытий со средней камерой, в которой находится технологическое валковое устройство для нанесения покрытия с двумя покрывающими валками. Оно опирается на траверсы на двух внутренних стенках, которые могут передавать опорную нагрузку, однако только вниз к полу, поскольку именно эти внутренние стенки в зоне своих верхних концов содержат называемые ленточными клапанами проходные щели для ленточного материала. Эти проходные щели занимают почти всю ширину установки, так что потолок не рассматривается в качестве держателя технологического валкового устройства. О его подвижности и общей конструктивной высоте данная публикация умалчивает.

В основе изобретения лежит задача создания установки для нанесения покрытий описанного выше рода с несколькими камерами, которая имела бы как можно меньшую конструктивную высоту, при данной ширине полосы также как можно меньшую ширину, у которой путь движения полосы в открытом состоянии, т.е. при выдвинутых источниках покрытия, хорошо виден и контролируется, у которой над покрывающим валоком находится минимально возможное число подвижных, вызывающих частицы от истирания деталей, которая легко транспортируется и которая может быть использована также в чистых помещениях ограниченных размеров. Наконец должно быть также достигнуто как можно более эффективное отгораживание отдельных камер друг от друга, причем должны быть также исключены, насколько возможно, побочные пути для таких потоков через торцевые стороны покрывающего валка.

Отсутствие частиц является обязательным, в частности, для следующих случаев применения.

а) Медные поверхности для FPCB (flexible printed circuit boards): ширина проводящих дорожек, вытравливаемых после нанесения покрытия, становится все меньше по мере возрастания плотности интеграции. Тем самым, одна-единственная пылинка уже может прервать проводящую дорожку.

б) Гибкие ИС: существуют способы изготовления печатных схем на пленках. Это служит, например, для расположения экранных драйверов непосредственно на пленке, рядом с гибким пленочным дисплеем. При этом пространственная протяженность элементов, например транзисторов, еще меньше, а требования к отсутствию частиц в процессе изготовления становятся еще жестче.

в) Антибликовые слои для дисплеев (AR, ARAS): на дисплее с подавленными бликами закрытый пылинкой во время нанесения покрытия участок с неподавленным бликом оказывает крайне мешающее действие, например в виде маленького светлого пятна в темной, в остальном, зоне экрана.

Поставленная задача решается у описанной выше установки для нанесения покрытий согласно изобретению за счет того, что обращенные к запорной плите концы, по меньшей мере, одного направляющего валка и покрывающего валка закреплены посредством несущих элементов с опорами на потолке и что пространство вакуумной камеры под покрывающим валком удерживается свободным от несущих элементов.

Благодаря этому поставленная задача решена в полном объеме. В частности, при данных ширине и длине ленты достигаются минимальные конструктивные высота и ширина. Путь движения ленты в открытом состоянии, т.е. при выдвинутых источниках покрытия, хорошо виден и контролируется. Над покрывающим валком находится минимально возможное число подвижных, вызывающих частицы от истирания деталей. Установка легко транспортируется и может быть использована также в чистых помещениях ограниченных размеров. Наконец достигается также эффективное отгораживание отдельных камер друг от друга, причем исключены также, насколько возможно, побочные пути для потоков через торцевые стороны покрывающего валка.

Согласно другим выполнениям изобретения особенно предпочтительно, если либо порознь, либо в комбинации

- по меньшей мере, один направляющий валок и покрывающий валок установлены своими обращенными от запорной плиты концами на задней стенке;

- по меньшей мере, один направляющий валок и покрывающий валок установлены своими обращенными от запорной плиты концами на несущих элементах перед задней стенкой и удерживаются на потолке;

- пространство под покрывающим валком и с боков от него разделено перегородками, по меньшей мере, на два отсека, при этом перегородки на своих обращенных к покрывающему валку концах содержат уплотнительные элементы, кривизна которых соответствует радиусу покрывающего валка с возможностью образования между уплотнительными элементами и покрывающим валком дугообразных уплотнительных щелей;

- уплотнительные элементы соединены механизмами перемещения с соответствующей перегородкой с возможностью настройки уплотнительных щелей в радиальном направлении на минимально возможные значения;

- внутри вакуумной камеры на периферии покрывающего валка за счет перегородок образованы, по меньшей мере, четыре отсека;

- обе самые верхние перегородки заключают по отношению к оси вниз угол 120-180°;

- лежащая под обеими самыми верхними перегородками часть периферии обечайки выполнена частично цилиндрической;

- в лежащем над обеими самыми верхними перегородками отсеке расположены, в общей сложности, четыре направляющих валка;

- перегородки содержат на своих обращенных от задней стенки концах радиально проходящие уплотнительные планки, к которым может быть прижата запорная плита;

- уплотнительные планки имеют проходящие параллельно их радиальным средним линиям уплотнительные кромки, к которым запорная плита может быть прижата при закрывании вакуумной камеры;

- покрывающий валок имеет обращенную к запорной плите торцевую сторону, перед которой расположен неподвижный кольцевой сектор, охватывающий на части периферии нижний конец несущего элемента для покрывающего валка;

- внутри вакуумной камеры покрывающий валок окружен на своих концах полосовидными, цилиндрически коаксиально согнутыми диафрагмами, которые с узкими щелями охватывают упомянутые концы и экранируют покрывающий валок от покрытия его не закрытых лентой частей поверхности;

- передняя диафрагма имеет эластомерную уплотнительную кромку, к которой запорная плита может быть прижата при закрывании вакуумной камеры;

- кольцевой сектор проходит на периферии до своих концевых кромок внутри передней диафрагмы;

- общая высота установки от поверхности опоры составляет максимум 2,5 м;

- вакуумная камера содержит с обеих сторон покрывающего валка боковые камеры, в каждой из которых расположены оправки для размоточного и намоточного валоков и соответствующие направляющие валки для ленты;

- боковые камеры выполнены в виде вакуумных камер и через шлицевидные щели для прохождения ленты связаны с отсеком вакуумной камеры;

- все отсеки вакуумной камеры и боковые камеры присоединены к собственному вакуумному насосу и/или если

- верхние стороны боковых камер, по меньшей мере, в основном, лежат на одной высоте с потолком вакуумной камеры.

Примеры выполнения объекта изобретения, а также принципы их действия и преимущества более подробно поясняются ниже с помощью фиг.1-5, изображающих:

- фиг.1: в перспективе открытую вакуумную установку с одной покрывающей камерой и двумя шлюзовыми камерами после выдвигания покрывающей системы за счет отвода запорной стенки, однако без пути прохождения ленты;

- фиг.2: в схематичной перспективе запорную стенку с установленной покрывающей системой, состоящей из трех источников покрытия, при рассмотрении с небольшой высоты;

- фиг.3: частичные вертикальные разрезы раздвинутой установки по фиг.1 и 2 с двумя операторами;

- фиг.4: сильно упрощенный вид спереди открытой вакуумной установки с одной покрывающей камерой и двумя боковыми камерами для размещения размоточных и намоточных валков для лент без запорной стенки, однако с путем движения ленты;

- фиг.5: вид спереди аналогично фиг.4, однако с тем отличием, что боковые камеры по сравнению с покрывающей камерой выполнены в виде шлюзовых камер.

На фиг.1 изображена вакуумная камера 1, которая представляет собой, в целом, покрывающую камеру и разделена на четыре отсека 2, 3, 4, 5. Отсеки 2, 3, 4, 5, за исключением узких дугообразных щелей, отгорожены перегородками 6, из которых здесь видны только две. Радиальное прохождение в направлении оси А обозначено штрихпунктиром. Радиально внутренние концы перегородок 6 снабжены дугообразными уплотнительными элементами 7, которые выполнены с возможностью настройки посредством механизмов 8 перемещения на минимально узкую ширину щели относительно покрывающего валка 9.

Самый верхний отсек 2 содержит плоский потолок 10, дополнительно усиленный ребрами 11. В этом отсеке 2 помимо приблизительно верхней половины покрывающего валка 9 находятся четыре направляющих валка 12, 13, 14, 15, которые вместе с покрывающим валком 9 образуют путь прохождения ленты, что более подробно изображено на фиг.4 и 5. Передние концы направляющих валков 12, 13, 14, 15 установлены в стабильных несущих элементах 16, 17, прочно соединенных, например свинченных, с потолком 10. Задние концы направляющих валков 12, 13, 14, 15 посредством соответствующих подшипников установлены непосредственно в задней стенке 18, которая запирает вакуумную камеру 1 назад. Эта опора видна только в отношении направляющих валков 12, 15. Соединение может быть выполнено, правда, разъемным, однако для замены ленты и для техобслуживания задняя стенка не должна удаляться.

Аналогичным образом передний конец оси А покрывающего валка 9 установлен в стабильном несущем элементе 19, который также прочно соединен с потолком 10, например свинчен. Не видимый здесь задний подшипник покрывающего валка 9 также установлен в задней стенке 18. За счет этого при минимально возможной конструктивной глубине возникает крайне стабильная опора и происходит точное ведение ленты - также в узких щелях уплотнительных элементов 7. Прежде всего нижняя периферия покрывающего валка 9, за исключением необходимых перегородок 6 и их уплотнительных элементов, поддерживается совершенно свободной от громоздких опорных элементов.

Вакуумная камера 1 окружена обечайкой 20, к которой относится также потолок 10. К этой обечайке на передней стороне параллельно задней стенке 18 приварен уплотнительный фланец 21, многоугольный периметр которого соответствует периметру запорной плиты 22 (фиг.2). При грубом рассмотрении нижняя половина обечайки 20 цилиндрообразная и концентрична оси А. За счет этого отсеки 3, 4, 5 со своими перегородками 6 приобретают форму кольцевых секторов минимально возможного объема и максимально возможной прочности (по отношению к заданной ширине ленты).

Для дальнейшего улучшения герметизирующего действия отсеков 2, 3, 4, 5 по отношению друг к другу на перегородки 6 надеты уплотнительные планки 23, которые за счет соответственно выполненных продольных краев с эластомерными уплотнительными кромками (не показаны) прилегают к запорной плите 20, когда вакуумную камеру 1 закрывают. Для того чтобы при этом поддерживать минимально возможными так называемые короткие замыкания потока через видимую здесь торцевую сторону покрывающего валка 9, перед этой торцевой стороной под соответствующим периферийным углом может быть еще расположен изображенный на фиг.4 и 5 кольцевой сектор 47. Здесь штриховой линией обозначены лишь обе верхние концевые кромки 47а кольцевого сектора 47.

Для закрепления кольцевого сектора 47 перед торцевой стороной расположено несколько уголков 24, осепараллельно отстоящие концы которых снабжены резьбой. Соответственно, перфорированный кольцевой сектор 47 может удерживаться таким образом между концами уплотнительных планок 23 и несущим элементом 19. Поскольку этот кольцевой сектор снабжен охлаждающими каналами, уголки 24 могут быть выполнены в виде патрубков для охлаждающей воды и присоединены к соответствующим трубопроводам (не показаны). Для защиты не закрытых покрываемой лентой торцевых краев покрывающего валка 9 от покрытия эти края защищены сзади и спереди диафрагмами 52, проходящими между концевыми кромками 47а по периферии более чем на 180°. Внутри передней диафрагмы 52 лежит тогда кольцевой сектор 47. К передней диафрагме 52 и к имеющейся там, при необходимости, уплотнительной кромке прилегает тогда также запорная плита 22 (фиг.2), так что в этом месте тогда предотвращаются или уменьшаются короткие замыкания потока между газовыми атмосферами отсеков 3, 4, 5.

В верхней части вакуумной камеры 1 к плоским отрезкам обечайки 20 примыкают еще две боковые камеры 25, 26, выполненные в этом случае в виде шлюзовых камер. Передние запорные стенки для наглядности отсутствуют. Эти боковые камеры 25, 26, плоские потолки которых лежат приблизительно на одной высоте с потолком 10, снабжены опертыми на обоих концах центральными оправками 27, 28 для размоточно-намоточных валков (не показаны) с лентами, а также несколькими направляющими валками 29, 30, 31, 32 для этих лент. Прохождение ленты к вакуумной камере 1 и от нее происходит через узкие шлицевидные щели 33, 34. Пути движения ленты показаны на фиг.4 и 5. Все отсеки 2, 3, 4, 5 вакуумной камеры 1, а также боковые камеры 25, 26 снабжены собственными вакуумными насосами 35, так что в каждом отсеке может быть установлена специфическая для покрытия атмосфера. Все устройство покоится на четырехногой станине 36. Дверцы 37, 38 служат для загрузки и извлечения размоточно-намоточных валоков. По меньшей мере, часть направляющих валков может быть выполнена в виде известных вытяжных валков для предотвращения складкообразования движущихся лент.

На фиг.2 сильно схематично изображена в перспективе запорная стенка 22 с установленной покрывающей системой 39, состоящей из трех источников 39а,39b,39с покрытия, при рассмотрении с небольшой высоты. Эти источники покрытия исходят из держателей, размещенных в трех присоединительных коробках 40 для необходимого газо- и/или токоснабжения. Запорная стенка опирается на две колонны 41, закрепленные на тележках 42, которые, в свою очередь, выполнены с возможностью перемещения по заделанным в пол рельсам 43. Источники покрытия и рельсы проходят в перпендикулярном запорной стенке 22 направлении, а именно в такой пространственной ориентации, что источники 39а, 39b, 39с покрытия могут быть точно и осепараллельно в одном положении вдвинуты в отсеки 3, 4, 5 вакуумной камеры 1, как это показано на фиг.4 и 5.

На остальных фигурах, в случае необходимости, описанные выше детали обозначены теми же ссылочными позициями.

На фиг.3 изображены частичные вертикальные разрезы раздвинутой установки по фиг.1 и 2 с двумя операторами. Слева показана вакуумная камера 1, правда, за исключением первого направляющего валка 12 и его опор, без всех остальных встроенных элементов. Видно, что направляющий валок 12 на открытой стороне закреплен посредством несущего элемента 16 на потолке 10, а посредством подшипника 16а установлен в задней стенке 18. Справа показана только запорная плита 22 со средним источником 39b покрытия и одной из обеих тележек 42. Видно, что общая высота чуть больше роста взрослого человека, благодаря чему такая конструкция особенно пригодна для размещения в чистых помещениях. При отсутствии пространственных ограничений вполне возможны также большие выполнения.

На фиг.4 изображен сильно упрощенный вид спереди открытой вакуумной установки 1 с одной покрывающей камерой и двумя боковыми камерами 25, 26 со сплошным потолком 10 и путем движения ленты. От размоточного валка 44, начальный диаметр которого обозначен штриховой линией, лента 45 подводится по направляющим валкам 29, 30, 12 к покрывающему валку 9, подхватывается им через источники 39а, 39b, 39с покрытия до направляющего валка 13, передается оттуда к направляющим валкам 14, 15, 31, 32 и захватывается наконец намоточным валком 46. Здесь обозначен описанный с помощью фиг.1 кольцевой сектор 47 перед торцевой или передней стороной покрывающего валка 9, который на части периферии охватывает ось А и нижний конец несущего элемента 19.

У аналогично изображенного на фиг.5 примера выполнения боковые камеры 25, 26 в соответствии с фиг.1 выполнены при равном пути движения ленты по сравнению с покрывающей камерой в виде шлюзовых камер, а именно за счет расположения перегородок 50, 51, в которых выполнены шлицевидные щели 33, 34 по фиг.1 для прохождения ленты 45.

1. Установка для нанесения покрытия на ленты, содержащая вакуумную камеру (1) и обечайку (20), расположенную между задней стенкой (18) и, по меньшей мере, одной съемной запорной плитой (22) с плоским потолком (10), причем в вакуумной камере (1) расположены, по меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) с осью (А) и, по меньшей мере, один источник (39а, 39b, 39 с) покрытия, отличающаяся тем, что обращенные к запорной плите (22) концы, по меньшей мере, одного направляющего валка (12, 13, 14, 15) и покрывающего валка (9) закреплены посредством несущих элементов (16, 17, 19) с опорами на потолке (10), при этом пространство вакуумной камеры (1) под покрывающим валком (9) свободно от несущих элементов.

2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) и покрывающий валок (9) установлены своими обращенными от запорной плиты (22) концами на задней стенке (18).

3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один направляющий валок (12, 13, 14, 15) и покрывающий валок (9) установлены своими обращенными от запорной плиты (22) концами на несущих элементах перед задней стенкой (18) и удерживаются на потолке (10).

4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что пространство под покрывающим валком (9) и с боков от него разделено перегородками (6), по меньшей мере, на два отсека, при этом перегородки (6) на своих обращенных к покрывающему валку (9) концах содержат уплотнительные элементы (7), кривизна которых соответствует радиусу покрывающего валка (9) с возможностью образования между уплотнительными элементами (7) и покрывающим валком (9) дугообразных уплотнительных щелей.

5. Установка по п.4, отличающаяся тем, что уплотнительные элементы (7) соединены механизмами (8) перемещения с соответствующей перегородкой (6) с возможностью настройки уплотнительных щелей в радиальном направлении на минимально возможные значения.

6. Установка по п.1, отличающаяся тем, что внутри вакуумной камеры (1) на периферии покрывающего валка (9) за счет перегородок (6) образованы, по меньшей мере, четыре отсека (2, 3,4, 5).

7. Установка по п.4, отличающаяся тем, что обе самые верхние перегородки (6) образуют по отношению к оси (А) вниз угол 120-180°.

8. Установка по п.4, отличающаяся тем, что лежащая под обеими самыми верхними перегородками (6) часть периферии обечайки (20) выполнена частично цилиндрической.

9. Установка по п.8, отличающаяся тем, что в лежащем над обеими самыми верхними перегородками (6) отсеке (2) расположены в общей сложности четыре направляющих валка (12, 13, 14, 15).

10. Установка по п.4, отличающаяся тем, что перегородки (6) содержат на своих обращенных от задней стенки (18) концах радиально проходящие уплотнительные планки (23), выполненные с возможностью прижатия к ним запорной плиты (22).

11. Установка по п.10, отличающаяся тем, что уплотнительные планки (23) имеют проходящие параллельно их радиальным средним линиям уплотнительные кромки, выполненные с возможностью прижатия к ним запорной плиты (22) при закрывании вакуумной камеры (1).

12. Установка по п.11, отличающаяся тем, что покрывающий валок (9) имеет обращенную к запорной плите (22) торцевую сторону, перед которой расположен неподвижный кольцевой сектор (47), охватывающий на части периферии нижний конец несущего элемента (19) для покрывающего валка (9).

13. Установка по п.1, отличающаяся тем, что внутри вакуумной камеры (1) покрывающий валок (9) окружен на своих концах полосовидными, цилиндрически коаксиально согнутыми диафрагмами (52), которые с узкими щелями охватывают упомянутые концы и экранируют покрывающий валок (9) от покрытия его не закрытых лентой (45) частей поверхности.

14. Установка по п.13, отличающаяся тем, что передняя диафрагма (52) имеет эластомерную уплотнительную кромку, выполненную с возможностью прижатия к ней запорной плиты (22) при закрывании вакуумной камеры (1).

15. Установка по п.12, отличающаяся тем, что кольцевой сектор (47) проходит на периферии до своих концевых кромок (47а) внутри передней диафрагмы (52).

16. Установка по п.1, отличающаяся тем, что общая высота установки от поверхности опоры составляет максимум 2,5 м.

17. Установка по п.1, отличающаяся тем, что вакуумная камера (1) содержит с обеих сторон покрывающего валка (9) боковые камеры (25, 26), в каждой из которых расположены оправки (27, 28) для размоточного (44) и намоточного (45) валков и соответствующие направляющие валки (29, 30; 31, 32) для ленты (45).

18. Установка по п.17, отличающаяся тем, что боковые камеры (25, 26) выполнены в виде вакуумных камер и через шлицевидные щели (33,34) для прохождения ленты (45) связаны с отсеком (2) вакуумной камеры (1).

19. Установка по п.17, отличающаяся тем, что вакуумная камера (1) имеет отсеки (2,3,4,5), при этом боковые камеры (25, 26) и отсеки (2,3,4,5) присоединены к собственному вакуумному насосу (35).

20. Установка по п.17, отличающаяся тем, что верхние стороны боковых камер (25, 26), по меньшей мере, в основном лежат на одной высоте с потолком (10) вакуумной камеры (1).