Ионизационный манометр

 

О П И С А Н И Е 2368I9

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 11.Х11.1964 (№ 933126/26-25) с присоедииеги1ем заявки М

Приоритет

Опубликовано 03.11.1969. Бюллетень ¹ 7

Дата опубликования описания 6Х1.1969

1х,1, 42k, 12/04

Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР.ЧП1х G 011

4 ДК э31.788.74 (088.8) Авторы изобрстсиия

С. А. Век1иинский и Г. А. Ничипорович

Заявитель

ИОНИЗАЦИОННЪ|Й МАНОМЕТР

Известен ионизационный манометр с горячим катодом, работающий в постоянном магнитном поле, электродная система которого состоит из цилиндрического анода, проходящего по его оси катода, коллектора ионов и экрана, располо кениых по торцам анода.

Ионный ток в таком манометре пропорционален давлению при условии постоянства эмиссионного тока катода, т. е. электронного тока ,|,хо в цеп;1 катод — анод при напряженности магнитного поля Н=О. Таким ооразом, при измерениях давления необходимо поддер>кивать ток 1 ло постоянным.

Указанный манометр не контролирует величину этого тока одновременно с измерениями, так как при наличии магнитного поля ток на анод J

Предлагаемый манометр отличается тем, что контрольный электрод введен в него вне пространства катод — анод со стороны экрана иа расстоянии относительно катода, меньшем вели и1ны разлета электронов от катода под действием магнитного и электрического полей. Анод электродной системы может быть выполнен из магнитного материала. Б этом случае ои одновременно создает магнитное

5 иоле.

Такие особенности манометра позволяют исключить зависимость электронного тока на контрольный а1од от напряженности магнитного по 1я, искл1очить влияние контрольного

10 анода на режим работы прибора и упростить конструкшпо последнего.

Иа фиг. 11 2 представлены эскизы электродной системы манометра.

Электродная система состоит из цилиндри15 1еского анода 1, расположенных по его торцам коллектора ионов 2 и экрана 8, выполненных в виде дисков. циличдрического контрольного анода 4, соосного с анодом 1, и катода 5, проходящего по ос0 анодов 1 и 4. На фиг. 1

20 видно отверстие в центре экрана 3.

Манометр работает в магнитном поле, направленном по оси анодного цилиндра, которое создается постоянным магнитом, соленоидом или электромагнитом. Чтобы электрон25 ный ток на контрольный анод оставался неизменным при,1змеиении величины магнитного поля от Н=О до рабочего, необходимо, чтобы расстояние от катода до контрольного анода было меньше величины разлета электронов от

30 катода под действием элсктрического и маг23681Э

:!итиого полей, т. е, должно быть выполнено слсдукнцее условие:

6,72 1 U

Н

ГДС I< — 1)3. I I!1 C 1<ОНТр0.1ЫIОГО »иода;

1 — и !! Г1р 51жсииp контр0,7 ьны и (1 Flo;I, — к!1T0,((в вольта:);

II напряженность )(агиитиого поля (в эрс гсдях (. (1тоб! исклю шть взаимное влияние электрических полей »иода 1 и контрольного »но;!3 <г, экран ? ряспо..ягают между иичи и no l 3!07 И 3 И»ГО И Я П Р51 ЖСИ И С, OTI)HI(»TO 7(>HO» ПО отиошсиию к като.(у, ио по7ож!Ггсльиос ио от1 1 ОI I!с И ИIО ; !<0.1. ICI:ÒOI)У, Тя КО(! В»ЛИ ППIЫ, !TO(>I>I ирсдотвр.! l èòü переход электронов из облаcT« II((0, (3 1 i! 0 > 7 cTH HO,(3 >>>. Ня (j) llr, 2 III) v.;1стявлсия модi!(|)!!к»i(!151 о((не»иной электродной с ис !хмы. Экр!(н . ? Нс имс»T отверстия и делит ка гo!I 3 113 дзс >!Я»(и. В эточ случае экран наход итс5! под HQT»H I I II!1.70)1 к(lтодя. П рп посто51иных напряжения\ П3 элсктродях и:.>(ягиитиом поле, равном нулю, электронные токи на яиод (<О и контрольный анод -(кл определяются температурой катода и определенному па-!

»Ни(0 тока J ло соответствует опрсдслсииос значение JI;,(в широком диапазоне давлений.

Ьсз )! я! 11(ITHОГО поля ток J, 0 устяня ВливяCÒÑß РЯВИЬ(М P»00 IC)I>> И ЗЯМЕРЯСТСЯ СООГВЕТству!Оц(ий сму ток 1кл. I(OHTpoлируя и стабилизируя этот ток в процсссс измерения, можио

ТС.>1 C 3 Ы!>1)(КО((Т Р ОЛ(! РО(> ((Т!> I! CTß 011Л ИЗIIP ОВ ЯТЬ режим работы манометра.

Ввсдсиис 1

cIIcTc)IhI, приведенной иа фиг. 1, так как нсзияч!п»льиая часть реитгсиового излучения, HO3HiII Il tic 1!л;!«ет ня его велич!шу в системс, ПОКЯЗ»HHОЙ ИЯ фИГ.

ДЛ51 пр;!сосдинеиия к вакуумному об ьему

Э.IС!<ТРОДН1 10 С!!СТЕ)! ) ПОМЕЩЯ(01 В СТЕК IHHHI I

lI ø метал,шчсский бял IQH или монтируют иа ф 1301(» 11 уста)!Явлин» OT в вакуумной системс

5 в открыто.ч виде.

Т 11 к l< (I K и 1) и н Я л и 1 I I I I к О и т Р 0,7 ь и 0 Г 0 Я и 0 д (! для контроля режима работы xi»HOucTI)» нет и»обход(!мости в съемном и 7и выключаемом маги!пс, то в электродной системе в качеств»

10 анода можно употребить цил!шдри ческий полый постоянный м:(гнит, который и обеспе IIII необходимое для р»боты манометра магнитное ноле. Это зи» ште..!ьио умеиьшит абариты приоора.

П ре;(мст изобретения

1. Io! I r!33! II!OH«HI! I манометр с горячим ка20 I 0.(ом, !)((з >! IT(»èèü(é в постоянном )(ап(итио)! иоле с иаиряжc>1«ocl!>10, большей критической. электродная система которого состоит из цилиндрического анода, проходящего по его оси катода, коллектора попов и экрана, располо25 жеиных по торцам анода, и контрольно(о auor3, от.ги>гагощиггс.г тем, что, с целью исключеI l1«зависимости электронного тока на контрольный анод от величины напряженности магнитного поля и исклю(ения влияния конт30 рольного анода на режим работы манометра, » также для расширения контрол:(р) ечои области Н3 всю рабочую область манометра, коитрольиый анод расположен вие простраиcTii3 катод — анод со стороиы экрана иа рас55 сто«нии относительно катода мсньшсч велии!ны разлет» электронов от катода иот действиеч сучмярных электрического и м(!Гнитногв полей.

2. Манометр по п. 1, отли (агощ(гйгся тем, что.

40 с целью его упрощения, анод электродной с!1лемы выполнен из магнитного материала и

0.(иовре)!сино слу?ниг для создания необходимого ма IIIITH01 поля манометра.

236819

Фиг. 2

Редактор Б. Федотов

Тсхред Л. Я. Левина

Корректор Т. Д. Чунаева

Заказ 1149j12 Тираж 480 Подписное

Ц111зИП11 Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. (ерова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Ионизационный манометр Ионизационный манометр Ионизационный манометр 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике измерения глубокого вакуума в диапазоне давлений 10-4 - 10-12 Торри и может быть использовано при создании соответствующих вакуумметров

 // 323685

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность измерений давления в замкнутых объемах электровакуумных приборов путем уменьшения ионной откачки и десорбции газа
Наверх