Подложки, покрытые смесями титановых и алюминиевых материалов, способы получения подложек и катодные мишени из металлических титана и алюминия

Изобретение относится к способам нанесения покрытий из титан- и алюминийсодержащих мишеней. Используют стеклянную подложку, имеющую площадь поверхности более 30 см2. На поверхности подложки создают блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой. Выдерживают подложку в вакуумированной камере. Поддерживают атмосферу, содержащую газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей. Распыляют удлиненную катодную мишень, содержащую от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки. Получают покрытие, обладающее высокой коррозионной стойкостью, низким поверхностным сопротивлением и заданными оптическими свойствами. 10 з.п. ф-лы, 20 ил., 10 табл.

 

Текст описания приведен в факсимильном виде.

1. Способ нанесения покрытий, содержащих титан и алюминий, включающий: а) обеспечение стеклянной подложки, имеющей площадь поверхности более 30 см2, где на поверхности подложки создан блок покрытий, который включает, по меньшей мере, одну диэлектрическую пленку и, по меньшей мере, один металлический слой; b) выдерживание подложки в вакуумированной камере, с) поддержание атмосферы, содержащей газ, выбираемый из группы, состоящей из инертного газа, азота, кислорода и их смесей, и d) распыление удлиненной катодной мишени, содержащей от 1 до 99 мас.% титана и от 1 до 99 мас.% алюминия, для нанесения титан- и алюминийсодержащего защитного покрытия на металлический слой для защиты металлического слоя от окисления или последующего нагревания покрытой подложки.

2. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит, по меньшей мере, один из следующих газов: инертный газ, кислород, азот и их смеси, катодная мишень дополнительно содержит кремний, а распылением напыляют покрытие, содержащее до 40 мас.% кремния.

3. Способ по п.1, в котором мишень содержит от 20 до 70 мас.% алюминия и от 30 до 80 мас.% титана.

4. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% какого-либо другого металлсодержащего материала.

5. Способ по п.2, в котором мишень содержит от 5 до 20 мас.% кремния.

6. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия и их комбинаций.

7. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит азот и кислород, и покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия, нитрида титана, нитрида алюминия, нитрида титан-алюминия, оксинитрида титана, оксинитрида алюминия, оксинитрида титан-алюминия и их комбинаций.

8. Способ по п.1, в котором атмосфера содержит кислород и инертный газ, а покрытие содержит материалы, выбираемые из титана, алюминия, оксида титана, оксида алюминия, оксида титан-алюминия и их смесей.

9. Способ по п.2, в котором атмосфера в основном состоит из инертного газа, а покрытие в основном состоит из титана и алюминия.

10. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород, а покрытие содержит оксид титана и оксид алюминия.

11. Способ по п.2, в котором атмосфера содержит кислород и азот, а покрытие содержит оксинитрид титан-алюминия-кремния.



 

Похожие патенты:
Изобретение относится к нанесению износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к нанесению износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент (РИ) и может быть использовано в металлообработке. .
Изобретение относится к способу получения элемента остекления, снабженного многослойным покрытием, нанесенным катодным распылением, к элементу остекления, снабженного многослойным покрытием, и к изогнутому или закаленному элементу остекления, снабженного многослойным покрытием.

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных покрытий, в частности к вакуумному нанесению покрытий с помощью магнетронного распыления на постоянном токе на прозрачные материалы, например стекло или полимерные пленки.
Изобретение относится к производству зеркал и может быть использовано при изготовлении зеркал транспортных средств, обладающих антиослепляющими свойствами. .

Изобретение относится к покрытым напылением стеклянным пленочным системам, регулирующим солнечный свет во многих видах стеклянных изделий. .

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении отражающих элементов различных оптических приборов. .

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля изделии и может быть использовано в самолетостроении , приборостроении для контроля печатных плат. .

Изобретение относится к изготовлению тонкопленочных схем СВЧ-диапазона и может быть использовано при изготовлении отдельных элементов электрических схем на непроводящей подложке С целью улучшения адгезии слоя к подложке и.

Изобретение относится к материалам с памятью формы, а именно к биметаллическим композициям и элементам из них, и может найти применение в радиотехнике, приборостроении, например, в электрических реле, регуляторах, термореле, в элементах термоклапанов.
Наверх