Аппарат для осаждения материалов из газовойфазы
ЧФтбнтно-т.-;х:; чс-;.
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ роев Соеетокив
Социалиотичеокил
Реоаублиа
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
I(Äz. I2g, 17/32
Заявлено 25.I I I.1968 (№ 1227849/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 11.VI.1969. Бюллетень № 20
Дата опубликования описания 11.XI.1969
МПК Во»
УДЕ. 621.315.592 002.5 (088.8) Комитет оо делам ивобретеиий и открытиЯ ори Совете Миииотрое
СССР
Л вторы изобретения Н. В. Басалаев, В. С. Малороссиянов, В. И. Остапенко, E. М. Барштак и Е. И. Антонов
Заявитель
АППАРАТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ ИЗ ГАЗОВОИ
ФАЗЫ
Предмет изобретения
В известных аппаратах для получения полупроводниковых материалов осаждением из газовой фазы горизонтально расположенные стержневые основы, на которые производится осаждение, крепятся каждая в двух токовводах, проходящих через стенки камеры, в связи с чем число токовводов вдвое превышает число основ. Жесткое крепление концов стержней приводит к их деформации.
Отличием описываемого аппарата является то, что стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов из электропроводного материала и установлены свободно на электроизолированных опорах, в качестве которых могут служить токовводы.
Это дает возможность уменьшить число токовводов на группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, и исключить их деформацию в процессе осаждения.
На чертеже изображен описываемый аппарат.
Стержневые основы 1, на которые производится осаждение, помещены горизонтально в полости герметичной камеры 2. На каждую группу стержней, расположенных в одной горизонтальной плоскости, приходится по два токоввода 8, введенных в полость камеры на всю ее длину. Стержневые основы установлены свободно, концы их опираются на токовводы, снабженные в этой части электроизоляцией. Стержни в каждой группе соединены последовательно при помощи перемычек 4 из электропроводного материала. Ток -подводится к группе стержней через контакты 5.
Лппарат может быть применен для получения стержней полупроводникового кремния водородным восстановлением его хлоридов.
После установки и соединения основ камеру уплотняют, продувают инертным газом, затем водородом, разогревают основы и осуществляют подачу паро-газовой смеси.
1. Лппарат для осаждения материалов из газовой фазы на нагретых стержневых осно2р вах, включающий герметичную камеру с введенными в ее полость электродами и горизон тально расположенными в полости камеры стержнями из одноименного с. осаждаемым материала, соединенными с токовводами, от25 личаюи1ийся тем, что, с целью уменьшения числа токовводов и исключения деформации стержней, стержни расположены в одной горизонтальной плоскости, соединены между собой последовательно при помощи элементов
5ð из электропроводного материала и установле245731 на электроиаолпрованных опо 1 ппография, пр. Сапунова, 2 ны свободно р ах.
2. Аппарат по и. 1, отлича>ощийся тем, что опорами служат токовводы.
Плача пароалФой смеси
Составитель Т. Г. Фирсова
Рсдактор И. Д, Корченко Текред А. А. Камышникова Корректор Г. И. Тарасова
Заказ 2762 13 Тира>к 480 Подво свое
ЦИИИПИ Комитета по делам изобрс>ск,п1 и открьпий прп Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
