Способ перемешивания расплава в зоне при зонпой
ОП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
249350
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 29.1.1968 (Ле 1214603/23-26) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет—
Опубликовано 29.Х.1970. Бюллетень № 33
Дата опубликования описания 6.IV.1971
Кл. 12g, 17/00 комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
МПК В 01j
УДК 66 063.8 065 53.
:54-143 (088.8) с
О. А. Матвеев, С. В. Прокофьев и Ю. В. Рудь
Ленинградский ордена Ленина физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе
Авторы изобретения
Заявитель
СПОСОБ ПЕРЕМЕШИВАНИЯ РАСПЛАВА В ЗОНЕ ПРИ ЗОННОЙ
ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ, В СОСТАВ КОТОРЫХ ВХОДЯТ ЭЛЕМЕНТЫ С ВЫСОКОЙ
УП РУГОСТЬЮ НАСЫЩЕН НОГО ПАРА
Изобретение относится к способам перемешивания расплава в зоне при зонной перекристаллизации химических соединений, в состав которых входят элементы с высокои упругостью насыщенного пара, который может быть использован при зонной очистке полупроводниковых соединений.
Известен способ перемешивания расплава в зоне при зонной перекристаллизации химических соединений, в состав которых входят элементы с высокой упругостью насыщенного пара при температуре плавления соединения, заключающийся в том, что расплав перемешивают с помощью миниатюрной мешалки. Этот способ имеет ряд .недостатков.
Во-первых, он применим только к очень легкоплавким веществам и вызывает загрязнение исходного материала материалом мешалки, во-вторых, связан с дополнительными техническими трудностями.
Для упрощения процесса и его интенсификации по предлагаемому способу последний ведут .в присутствии добавок легколетучего элемента, входящего в состав исходного соединения. При этом для регулирования интенсивности процесса последний ведут при изменении парциального давления легколетучего элемента и поддержании его выше давления, соответствующего максимальной температуре плавления исходного соединения, а для регулирования состава кристаллизуемого соединения при последнем проходе зоны парциальное давление пара элемента изменяют в соответствии с фазовым равновесием жидкость — твердая фаза — пар.
Пример. Синтезированный CdTe (около
100 г) .помещают в кварцевую ампулу. Туда же добавляют 4 — 7 г металлического Cd. Ампулу откачивают (— 10 — о лтл рт. ст. Hg) и
10 отпаивают. Затем вставляют в установку для зонной перекристаллизации инконгруэнтно плавящихся соединений. Эта установка состоит из трех печеп: зонной, фоновой и печи для контроля и регулирования
15 температуры избыточного кадмия.
Температуру в зоне повышают до 1130 С и после расплавления CdTe поднимают давление пара кадмия до 6,4 атм. Это достигается увеличением температуры металлическото кадмия до 940 С. После установления в течение 10 иин равновесия жидкая фаза-пар начинают перемещать зонную печь со скоростью 8 слт/час.
Кристаллизация CdTe под давлением кадмия 6,4 атл происходит при температуре
1043 С. При этом расплав в сильной степени обогащается избытком кадмия, который не входит в состав твердой фазы. Этот избыток
ЗО собирается в газовые пузырьки, которые про249350
Составитель T. Кузьмина
Редактор О. Филиппова Техред Т. П. Курилко Корректор T. А. Уманец
Заказ 14/44 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5
Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» булькивают через расплав, вызывая его интенсивное перемешивание.
Предмет изобретения
1. Способ перемешивания расплава в зоне при зонной перекр исталлизации химических соединений, в состав которых входят элементы с:высокой упругостью насыщенного пара при температуре плавления соединения, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и его интенсификациями, последствий ведут в присутствии добавок легколетучего элемента, входящего в состав исходного соединения, 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью регулирования интенсивности процесса, последний ведут при изменении парциального давления легколетучего элемента и поддержании его выше давления, соответствующего максимальной температуре плавления исходного соединения.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью регулирования состава кристаллизуемого соединения при последнем проходе зоны, парциальное давление пара элемента изменяют в соответствии с фазовым равновесием жидкость — твердая фаза — пар.
