Устройство для измерения давления

Авторы патента:

Владельцы патента RU 2492439:

Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давлений измерительными устройствами, построенными на базе тензорезисторных мостов. Устройство содержит тензорезисторный мост, входная диагональ которого подключена к его источнику питания, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с выходной диагональю моста, а выход - со входом впалого-цифрового преобразователя, микропроцессор, постоянное запоминающее устройство, цифровой датчик температуры, температурный корректор, идентификатор, обратный преобразователь и сумматор. В устройство дополнительно введены трехкомпонентный цифровой акселерометр, корректор положения и драйвер цифрового интерфейса передачи данных. При этом выход трехкомпонентного цифрового акселерометра соединен с первым входом корректора положения, второй вход которого связан с шестым выходом микропроцессора, выход корректора положения соединен с четвертым входом сумматора, а вход драйвера цифрового интерфейса передачи данных связан с восьмым выходом микропроцессора, третий вход которого соединен с выходом драйвера цифрового интерфейса передачи данных. Техническим результатом является повышение точности измерения и улучшение эксплуатационных характеристик. 1 ил.

Известно устройство для измерения давления, содержащее тензорезисторный мост, входная диагональ которого подключена к его источнику питания, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с выходной диагональю моста, а выход связан со входом аналого-цифрового преобразователя, микропроцессор, постоянное запоминающее устройство, аналоговый коммутатор, термочувствительный мост и цифровой индикатор [1].

Недостатками данного устройства являются: недостаточная точность измерения давления в связи с косвенной коррекцией температурной зависимости тензорезисторного моста и итерационным приближенным вычислением значения давления; сужение функциональных возможностей устройства связанных с невозможностью осуществления сравнения и сигнализации значения давления при достижении входным давлением порогового уровня.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому изобретению является устройство для измерения давления. Устройство содержит тензорезисторный мост, входная диагональ которого подключена к его источнику питания, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с выходной диагональю моста, а выход - с первым входом аналого-цифрового преобразователя, при этом выход аналого-цифрового преобразователя соединен с первым входом идентификатора, второй вход которого связан со вторым выходом микропроцессора, выход идентификатора соединен с первым входом обратного преобразователя, второй вход обратного преобразователя связан с третьим выходом микропроцессора, первый выход которого соединен со вторым входом аналого-цифрового преобразователя, выход обратного преобразователя соединен с первым входом сумматора, второй вход которого связан с выходом температурного корректора, а третий вход сумматора соединен с четвертым выходом микропроцессора, первый вход которого связан с выходом сумматора, третий вход обратного преобразователя соединен с выходом аналого-цифрового преобразователя, пятый выход микропроцессора соединен со вторым входом температурного корректора, первый вход которого связан с выходом цифрового датчика температуры, второй вход микропроцессора соединен с первым выходом постоянного запоминающего устройства, вход которого связан с седьмым выходом микропроцессора, а также компаратор и блок индикации и клавиатуры [2].

Недостатком известного устройства является низкая точность измерения, обусловленная его чувствительностью к действию силы тяжести и проявляющаяся в изменении начального сигнала устройства при нулевом значении давления с изменением положения устройства в пространстве. Эта чувствительность обусловлена тем, что при измерении давления, в том числе агрессивных сред, тензорезисторный мост посредством электроизоляционной жидкости изолируют от непосредственного контакта с агрессивной средой, которой при измерении положения устройства в пространстве деформирует тензорезисторный мост, что влечет за собой возникновение погрешности измерений.

Целью предлагаемого изобретения является повышение точности измерений.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для измерения давления, содержащее тензорезисторный мост, входная диагональ которого подключена к его источнику питания, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с выходной диагональю моста, а выход - со входом аналого-цифрового преобразователя, микропроцессор, постоянное запоминающее устройство, цифровой датчик температуры, температурный корректор, идентификатор, обратный преобразователь и сумматор, причем выход впалого-цифрового преобразователя соединен с первым входом идентификатора, второй вход которого связан со вторым выходом микропроцессора, выход идентификатора соединен с первым входом обратного преобразователя, второй вход обратного преобразователя связан с третьим выходом микропроцессора, первый выход которого соединен со вторым входом аналого-цифрового преобразователя, выход обратного преобразователя соединен с первым входом сумматора, второй вход которого связан с выходом температурного корректора, а третий вход сумматора соединен с четвертым выходом микропроцессора, первый вход которого связан с выходом сумматора, третий вход обратного преобразователя соединен с выходом аналого-цифрового преобразователя, пятый выход микропроцессора соединен со вторым входом температурного корректора, первый вход которого связан с выходом цифрового датчика температуры, второй вход микропроцессора связан с выходом постоянного запоминающего устройства, вход которого связан с седьмым выходом микропроцессора, согласно предлагаемому изобретению в него дополнительно введены трехкомпонентный цифровой акселерометр, корректор положения и драйвер цифрового интерфейса передачи данных, при этом выход трехкомпонентного цифрового акселерометра соединен с первым входом корректора положения, второй вход которого связан с шестым выходом микропроцессора, выход корректора положения соединен с четвертым входом сумматора, а вход драйвера цифрового интерфейса передачи данных связан с восьмым выходом микропроцессора, третий вход которого соединен с выходом драйвера цифрового интерфейса передачи данных.

При изменении положения устройства в пространстве воздействие силы тяжести деформирует тензорезисторный мост и за счет этого изменяется сигнал на выходе тензорезисторного моста. Это изменение представляет собой дополнительную погрешность измерения. Трехкомпонентный цифровой акселерометр определяет направление действия силы тяжести и передает измерительный сигнал в корректор положения. Корректор положения определяет поправку на положение и передает ее в сумматор, который за счет этой поправки устраняет дополнительную погрешность от действия силы тяжести.

На чертеже представлено устройство для измерения давления, которое содержит тензорезисторный мост 1, входная диагональ которого подключена к его источнику питания 2, дифференциальный усилитель 3, вход которого соединен с выходной диагональю моста 1, а выход - со входом аналого-цифрового преобразователя 4. При этом выход аналого-цифрового преобразователя 4 соединен с первым входом идентификатора 5, второй вход которого связан со вторым выходом микропроцессора 6. Выход идентификатора 5 соединен с первым входом обратного преобразователя 7, второй его вход связан с третьим выходом микропроцессора 6, первый выход которого соединен со вторым входом аналого-цифрового преобразователя 4. Выход обратного преобразователя 7 соединен с первым входом сумматора 8, второй вход которого связан с выходом температурного корректора 9, а третий вход сумматора 8 соединен с четвертым выходом микропроцессора 6, первый вход которого связан с выходом сумматора 8. Третий вход обратного преобразователя 7 соединен с выходом аналого-цифрового преобразователя 4. Пятый выход микропроцессора 6 соединен со вторым входом температурного корректора 9, первый вход которого связан с выходом цифрового датчика температуры 10. Второй вход микропроцессора 6 соединен с выходом постоянного запоминающего устройства 11, вход которого связан с седьмым выходом микропроцессора 6. Введены трехкомпонентный цифровой акселерометр 12, корректор положения 13 и драйвер цифрового интерфейса передачи данных 14. Выход трехкомпонентного цифрового акселерометра 12 соединен с первым входом корректора положения 13, второй вход которого связан с шестым выходом микропроцессора 6, выход корректора положения 9 соединен с четвертым входом сумматора 8, а вход драйвера цифрового интерфейса передачи данных 14 связан с восьмым выходом микропроцессора 6, третий вход которого соединен с выходом драйвера цифрового интерфейса передачи данных 14.

Предлагаемое устройство работает следующим образом. При воздействии давления сопротивление тензорезисторного моста 1 изменяется и на измерительной его диагонали появляется напряжение, которое усиливается дифференциальным усилителем 3 и подается на аналого-цифровой преобразователь 4. Цифровой код аналого-цифрового преобразователя 4 подается в идентификатор 5, который осуществляет идентификацию нелинейной функции выходной характеристики тензорезисторного моста 1 путем определения коэффициентов заданной аппроксимирующей функции в режиме калибровки устройства. Обратный преобразователь 7 формирует на выходе величину входного давления по обратной аппроксимирующей функции, компенсируя тем самым нелинейность тензорезисторного моста 1. Сигнал с цифрового датчика температуры 10 поступает в температурный корректор 9, который формирует температурную поправку, компенсируя погрешность тензорезисторного моста 1 от изменения температуры. Сигнал с трехкомпонентного цифрового акселерометра 12 поступает в корректор положения 13, который формирует поправку на положение устройства в пространстве, компенсируя погрешность тензорезисторного моста 1 от изменения положения в пространстве. Сумматор 8 осуществляет вычисление значения давления с учетом температурной поправки и поправки на положение. Микропроцессор 6 выполняет общее управление функциональными блоками устройства для измерения давления и обеспечивает передачу уставок из постоянного запоминающего устройства 11 в идентификатор 5, обратный преобразователь 7, температурный корректор 9 и корректор положения 13. Микропроцессор 6 также выполняет передачу выходного сигнала устройства посредством драйвера цифрового интерфейса передачи данных 14. Электрическое питание тензорезисторного моста 1 обеспечивается источником питания 2.

Техническим результатом заявленного изобретения является повышение точности измерения. Повышение точности измерения достигается тем, что следствия деформаций тензорезисторного моста при изменении положения устройства в пространстве устраняются за счет внесения в результат измерения давления поправки на положение, определяемой корректором положения на основании показаний трехкомпонентного цифрового акселерометра.

Источники информации

1. А.С. № 1800298 А1, G01L 9/04. Устройство для измерения температуры, опубл. 07.03.1993 г., Бюл. 9.

2. RU патент № 2196970 С2, G01L 9/04. Устройство для измерения температуры, опубл. 20.01.2003 г.

Устройство для измерения давления, содержащее тензорезисторный мост, входная диагональ которого подключена к его источнику питания, дифференциальный усилитель, вход которого соединен с выходной диагональю моста, а выход - со входом аналого-цифрового преобразователя, микропроцессор, постоянное запоминающее устройство, цифровой датчик температуры, температурный корректор, идентификатор, обратный преобразователь и сумматор, причем выход аналого-цифрового преобразователя соединен с первым входом идентификатора, второй вход которого связан со вторым выходом микропроцессора, выход идентификатора соединен с первым входом обратного преобразователя, второй вход обратного преобразователя связан с третьим выходом микропроцессора, первый выход которого соединен со вторым входом аналого-цифрового преобразователя, выход обратного преобразователя соединен с первым входом сумматора, второй вход которого связан с выходом температурного корректора, а третий вход сумматора соединен с четвертым выходом микропроцессора, первый вход которого связан с выходом сумматора, третий вход обратного преобразователя соединен с выходом аналого-цифрового преобразователя, пятый выход микропроцессора соединен со вторым входом температурного корректора, первый вход которого связан с выходом цифрового датчика температуры, второй вход микропроцессора связан с выходом постоянного запоминающего устройства, вход которого связан с седьмым выходом микропроцессора, отличающийся тем, что в него дополнительно введены трехкомпонентный цифровой акселерометр, корректор положения и драйвер цифрового интерфейса передачи данных, при этом выход трехкомпонентного цифрового акселерометра соединен с первым входом корректора положения, второй вход которого связан с шестым выходом микропроцессора, выход корректора положения соединен с четвертым входом сумматора, а вход драйвера цифрового интерфейса передачи данных связан с восьмым выходом микропроцессора, третий вход которого соединен с выходом драйвера цифрового интерфейса передачи данных.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем с мостовой измерительной цепью, предназначенным для использования в системах управления, контроля и диагностики технически сложных объектов длительного функционирования.

Способ изготовления высокостабильного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы // 2487328

Способ измерения давления, способ калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы // 2484435

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления жидких и газообразных средств. .

Датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы повышенной точности и надежности // 2480723

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидких и газообразных агрессивных сред в условиях воздействия нестационарных тепловых полей.

Датчик абсолютного давления // 2477846

Изобретение относится к измерительным приборам и может быть использовано для измерения малых величин абсолютных давлений. .

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой // 2472125

Интегральный преобразователь давления с одним жестким центром // 2469437

Изобретение относится к измерительной технике. .

Интегральный преобразователь давления с тремя жесткими центрами // 2469436

Изобретение относится к измерительной технике. .

Полупроводниковый преобразователь давления // 2464539

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к преобразователям малых давлений высокотемпературных сред, и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления, работоспособных при повышенных температурах.

Датчик давления // 2464538

Изобретение относится к измерительной технике. .

Способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы // 2498249

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной пенью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Технический результат: повышение временной стабильности, ресурса, срока службы. Способ заключается в том, что после присоединения выводных проводников к контактным площадкам тензоэлементов их подвергают воздействию тестовых пониженных и повышенных температур, измеряют сопротивления тензорезисторов при воздействующих температурах, определяют температурные коэффициенты сопротивлений тензорезисторов в диапазоне воздействующих температур, вычисляют но ним критерий временной стабильности по соотношению Ψτ01=|(α2+α4)-(α1+α3)|, где α1, α2, α3, α4 - температурный коэффициент сопротивления соответственно первого, второго, третьего, четвертого тензорезистора НиМЭМС, и если |Ψτ01|<|ΨταΔ1|, то данную сборку передают на последующие операции. Кроме того, тензоэлементы, перемычки, контактные площадки и выводные проводники соединяют в мостовую измерительную цепь и подвергают ее воздействию тестовых пониженных и повышенных температур, измеряют значения начальных выходных сигналов мостовой измерительной цени при воздействующих температурах, вычисляют по ним критерий временной стабильности по соотношению и если |Ψτ02|<|ΨταΔ2|, то данную сборку передают на последующие операции. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Способ измерения давления, калибровки и датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы // 2498250

Изобретение относится к измерительной технике. В способе измерения давления с использованием тензорезисторного датчика давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), в режиме измерения значение измеренного давления Pi вычисляют путем бигармонической сплайн интерполяции по контрольным точкам, исходя из сохраненного на этапе калибровки вектор-столбца W(Pэ, Uiz, Upt, X1…Xn) по формуле: Pi=GT×W, где GT - транспонированный вектор-столбец G; символ «×» обозначает матричное произведение. Калибровку для измерения давления осуществляют путем регистрации напряжений измерительной Uiz и питающей Upt диагоналей мостовой измерительной цепи и значений величин X1…Xn, зависящих от дестабилизирующих факторов, и записи в постоянное запоминающее устройство датчика вектор-столбца W, который рассчитывают по формуле: W=g-1×P, где P - вектор-столбец эталонных значений давления в контрольных точках; g - матрица, элементы которой определены в зависимости от количества переменных функции преобразования. Датчик давления на основе НиМЭМС, реализующий предлагаемые способы измерения и калибровки, включает в себя источник тока, тензорезисторный преобразователь давления, АЦП, вычислительное устройство, постоянное запоминающее устройство и цифровой интерфейс. При этом вычислительное устройство содержит блок преобразования кода АЦП в численное значение напряжения, блок расчета численного значения давления. Технический результат - повышение точности измерения давления. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 4 табл.

Преобразователь давления // 2502970

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано при разработке полупроводниковых датчиков давления, выполненных по технологии МЭМС (микроэлектромеханические системы). Преобразователь давления содержит кремниевую мембрану с тензоизмерительным мостом, последовательно соединенным с транзистором, подключенными к источнику постоянного напряжения. Выходная диагональ тензомоста соединена с входом инструментального усилителя, выход которого подключен к первому входу усилителя коррекции температурной погрешности. Ко второму входу усилителя коррекции подключен сумматор, первые два входа которого соединены через резистор и диод со средними точками измерительного тензомоста. Третий вход через резистор подключен к источнику смещения напряжения сумматора. Техническим результатом является устранение температурной погрешности в преобразователе. 1 ил.

Способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы // 2505791

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Технический результат: повышение временной стабильности, ресурса, срока службы. Способ изготовления тензорезисторного датчика давления заключается в полировании поверхности мембраны, формировании на ней диэлектрической пленки и тензоэлементов с низкоомными перемычками и контактными площадками между ними с использованием шаблона тензочувствительного слоя, присоединении выводных проводников к контактным площадкам в областях, удаленных от полос участков. После присоединения выводных проводников к контактным площадкам тензоэлементов мембрану НиМЭМС последовательно подвергают циклическому воздействию тестовых значений измеряемого давления Pj, равномерно распределенных от нижнего Р0 до верхнего предела РH и от верхнего РH до нижнего P0 предела измерения датчика при одновременном измерении его выходного сигнала и напряжения питания в каждой точке градуирования, вычисляют по ним критерий временной стабильности по соотношению: 2 ил.

Датчик абсолютного давления повышенной точности на основе полупроводникового чувствительного элемента с жестким центром // 2507490

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления в жидких и газообразных агрессивных средах. Датчик абсолютного давления содержит корпус со штуцером, герметизирующую контактную колодку, металлическую мембрану, несжимаемую жидкость, полупроводниковый чувствительный элемент, состоящий из стеклянного основания и квадратного профилированного полупроводникового кристалла, в центре тонкой части которого сформирован жесткий центр квадратной формы, на рабочей части полупроводникового кристалла сформирована мостовая измерительная цепь, состоящая из четырех тензорезисторов. Размер жесткого центра определяется из соотношения: l ж . ц . > h ж . ц . / 1,432 . Центры одних тензорезисторов, включенных в противоположные плечи мостовой измерительной цепи и воспринимающих относительные положительные деформации, расположены на расстоянии от центра кристалла, определенном из соотношения Центры других тензорезисторов, включенных в противоположные плечи мостовой измерительной цепи и воспринимающих относительные отрицательные деформации, расположены на расстоянии от центра кристалла, определенном из соотношения 7 ил., 2 табл.

Высокотемпературный полупроводниковый преобразователь давления // 2507491

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей давления, работоспособных при повышенных температурах. Полупроводниковый преобразователь давления содержит мембрану с профилем, представляющим собой сочетание утонченных участков и жестких центров с концентраторами механических напряжений в месте расположения тензорезисторов. Мембрана имеет толщину, равную высоте тензорезисторов, поверхность которых покрыта слоем двуокиси кремния. Тензорезисторы сформированы на закрепленном на мембране слое двуокиси кремния и выполнены из кремния. Тензорезисторы объединены с помощью коммутационных шин в мостовую измерительную схему. Слой двуокиси кремния расположен под тензорезисторами и коммутационными шинами. Поверхность мембраны со стороны тензорезисторов покрыта изолирующим слоем нелегированного карбида кремния вокруг тензорезисторов толщиной не менее высоты тензорезисторов. На периферии мембраны расположена схема температурной компенсации, состоящая из терморезисторов, имеющих соединенные с ними металлизированные контактные площадки для включения в мостовую схему. Техническим результатом является повышение точности преобразователя в диапазоне высоких температур. 1 ил.

Способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы // 2512142

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС), предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Способ изготовления заключается в полировании поверхности мембраны, формировании на ней диэлектрической пленки и тензоэлементов с низкоомными перемычками и контактными площадками между ними с использованием шаблона тензочувствительного слоя, имеющего конфигурацию тензоэлементов в зонах, совмещаемых с низкоомными перемычками и контактными площадками. При этом формирование тензоэлементов с низкоомными перемычками и контактными площадками между ними проводят в областях, в которых воздействующие на них при эксплуатации деформации и температуры удовлетворяют соответствующему соотношению. После формирования измеряют размеры и площадь элементов и переходов НиМЭМС с учетом количества, размеров и распределения дефектов, затем вычисляют по ним критерий временной стабильности по соответствующему соотношению. Если критерий временной стабильности меньше, чем предельно допустимое значение критерия временной стабильности, которое определяется экспериментальным путем по статистическим данным для конкретного типоразмера датчика, то данную сборку передают на последующие операции. Технический результат заключается в повышении временной стабильности, ресурса и срока службы. 2 ил.

Способ измерения давления и интеллектуальный датчик давления на его основе // 2515079

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления жидких и газообразных сред. Заявленная группа изобретений включает способ измерения давления с использованием тензорезисторного датчика давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС) и интеллектуальный датчик давления на основе НиМЭМС. При этом в способе измерения давления, в режиме калибровки и измерения одновременно регистрируют данные напряжений между узлами питающей диагонали Upt, между одним узлом питающей диагонали и каждым из узлов измерительной диагонали (Uiz1, Uiz2). В режиме калибровки сохраняют данные для вычисления напряжений Uiz1, Uiz2, а в режиме измерения вычисляют измеренное значение давления Р исходя из напряжений питающей диагонали Upt и измерительной диагонали Uiz=Uiz1-Uiz2 и сохраненных на этапе калибровки данных. Затем вычисляют напряжения между узлом питающей диагонали и каждым из узлов измерительной диагонали, исходя из величины измеренного значения давления Р, напряжения питающей диагонали Upt и сохраненных на этапе калибровки данных, определяют разницу между вычисленными и измеренными значениями напряжений Uiz1, Uiz2. Если эта разница превышает значение критерия стабильности, то принимается решение о недостоверности результата измерения давления. Интеллектуальный датчик давления на основе НиМЭМС, реализующий предлагаемый способ измерения давления, содержит мостовую измерительную цепь из тензорезисторов, источник тока, три аналого-цифровых преобразователя, вычислительное устройство, постоянное запоминающее устройство и цифровой интерфейс, причем вычислительное устройство блока самоконтроля, второй, третий и четвертый входы которого соединены с первым, вторым и третьим выходами блока преобразования кода АЦП в численное значение напряжения, а пятый вход соединен с четвертым входом вычислительного устройства. Задачей предлагаемого изобретения является повышение надежности результата измерения путем введения самоконтроля датчика и осуществления проверки достоверности измерения давления за счет сравнения измеренных и вычисленных значений напряжений между одним узлом питающей диагонали и каждым из узлов измерительной диагонали. Техническим результатом изобретения является повышение надежности результата измерения путем введения самоконтроля датчика и осуществления проверки достоверности измерения давления за счет сравнения измеренных и вычисленных значений напряжений между одним узлом питающей диагонали и каждым из узлов измерительной диагонали. 2 н.п. ф-лы, 2 ил.

Датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы для прецизионных измерений // 2516375

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионных измерений давления жидких и газообразных сред. Сущность: датчик содержит корпус, установленную в нем нано- и микроэлектромеханическую систему (НиМЭМС), состоящую из упругого элемента в виде мембраны с жестким центром, заделанной по контуру в опорное основание, образованной на ней гетерогенной структуры из тонких пленок материалов, герметизирующей контактной колодки и соединительных проводников. Сформированные в гетерогенной структуре радиальные тензорезисторы, установленные по двум окружностям, состоят из идентичных тензоэлементов в форме квадратов, соединенных тонкопленочными перемычками и включенных в мостовую измерительную цепь. Центры первых и вторых тензоэлементов размещены по окружностям с радиусами, определенными по соответствующим соотношениям. Между мембраной и жестким центром, а также мембраной и опорным основанием выполнены закругления с определенным радиусом. Технический результат: повышение точности и технологичности. 1 табл., 9 ил.

Датчик давления // 2523754

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения давления при автоматизации контроля технологических процессов. Техническим результатом изобретения является уменьшение температурной погрешности и повышение быстродействия. Технический результат достигается тем, что в датчике давления выходы источника стабилизированного питания сенсорного моста соединены с входами АЦП и сенсорного моста, выходы сенсорного моста соединены с входами нормирующего усилителя. Выход сумматора соединен с входом нормирующего усилителя, выход нормирующего усилителя соединен с входом ЦАП1, выход которого соединен с входом безынерционного устройства компенсации основной погрешности, а его выход - с входом формирователя выходного сигнала напряжений питания и опорного напряжения. Один выход формирователя выходного сигнала напряжений питания и опорного напряжения соединен с входом источника стабилизированного питания сенсорного моста, второй выход соединен с входом ЦАП2 и вторым входом АЦП, а третий выход формирователя выходного сигнала напряжений питания и опорного напряжения соединен со вторым входом сумматора. Выход АЦП соединен с входом микроконтроллера, выходы которого соединены со вторыми входами ЦАП1 и ЦАП2. 1 ил.