Устройство для подгонки толстопленочных резисторов

Авторы патента:

Шопин Геннадий Павлович (RU)

Тюлевин Сергей Викторович (RU)

Наседкин Алексей Васильевич (RU)

Пиганов Михаил Николаевич (RU)

H01C17/00 - Конструктивные элементы

Владельцы патента RU 2528432:

федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) (RU)

Изобретение относится к изготовлению прецизионных пленочных резисторов. Устройство содержит источник опорного напряжения (1), устройство сравнения (2), измеритель сопротивления (3), аналого-цифровой преобразователь (АЦП) (4), мультивибратор (5), регистр сдвига (6), первую группу элементов И (7-1…7-n), блока хранения данных (8), вторую группу элементов И (9-1…9-n), цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) (10), генератор факельного разряда (11), рабочий электрод (12), подгоняемый резистор (13), подложкодержатель (14), элемент ИЛИ (15). Техническим результатом является повышение точности и стабильности процесса факельной подгонки толстопленочных резисторов с помощью разрядов различной мощности. 1 ил.

Изобретение относится к микроминиатюризации и технологии радиоэлектронной аппаратуры и может быть использовано при изготовлении прецизионных пленочных резисторов.

Известно устройство для подгонки резисторов (патент РФ №2012936, МПК Н01С 17/22, опубл. 15.05.94. Бюл. №9), содержащее подложкодержатель для крепления подгоняемого резистора, измеритель сопротивления, подключенный к нему сигнальным входом, источник опорного напряжения, блок сравнения, связанный первым и вторым входами с выходами источника опорного напряжения и измерителя сопротивления соответственно, аналого-цифровой преобразователь, подключенный сигнальным входом к выходу блока сравнения, генераторы факельного разряда, элементы И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу аналого-цифрового преобразователя, а выход связан с входом одноименного генератора факельного разряда, блок управления, связанный каждым из разрядных выходов с вторым входом одноименного элемента И, а тактовый выход блока управления подключен к управляющему входу измерителя сопротивления, при этом каждый генератор факельного разряда снабжен разрядным рабочим электродом, имеющим индивидуальный установочный зазор между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора, и все рабочие электроды размещены с фиксированным промежутком между собой.

Недостатками данного устройства являются низкие точность и стабильность процесса подгонки, связанные с необходимостью использования группы рабочих электродов, каждый из которых должен иметь индивидуальный установочный зазор между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению является устройство для подгонки толстопленочных резисторов (АС №1827687 А1, МПК Н01С 17/22, опубл. 15.07.93. Бюл. №26), содержащее подложкодержатель для крепления подгоняемого резистора, измеритель сопротивления, подключенный к нему сигнальным входом, источник опорного напряжения, устройство сравнения, связанное первым и вторым входами с выходами соответственно источника опорного напряжения и измерителя сопротивления, аналого-цифровой преобразователь, подключенный сигнальным входом к выходу блока сравнения, последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь и генератор факельного разряда, элементы И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу аналого-цифрового преобразователя, а выход связан с одноименным входом цифроаналогового преобразователя, последовательно соединенные мультивибратор и регистр сдвига, связанный каждым своим выходом с вторым входом одноименного элемента И, выход мультивибратора подключен также к управляющему входу измерителя сопротивления, рабочие электроды, имеющие индивидуальный установочный зазор между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора, при этом оно содержит коммутатор, сигнальный вход которого подключен к выходу генератора факельного разряда, каждый из управляющих входов связан с выходом одноименного элемента И, а каждый из выходов подключен к одноименному рабочему электроду.

В основу изобретения поставлена задача повысить точность и стабильность факельной подгонки пленочных резисторов с помощью разрядов различной мощности, используя один рабочий электрод.

Данная задача решается в устройстве для подгонки толстопленочных резисторов, содержащем подложкодержатель для крепления подгоняемого резистора, измеритель сопротивления, подключенный к нему сигнальным входом, источник опорного напряжения, устройство сравнения, связанное первым и вторым входами с выходами соответственно источника опорного напряжения и измерителя сопротивления, аналого-цифровой преобразователь, подключенный сигнальным входом к выходу устройства сравнения, последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь и генератор факельного разряда, снабженный разрядным рабочим электродом, установленным с зазором между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора, первую группу элементов И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу аналого-цифрового преобразователя, последовательно соединенные мультивибратор и регистр сдвига, связанный каждым своим выходом со вторым входом одноименного элемента И первой группы, выход мультивибратора подключен также к управляющему входу измерителя сопротивления, согласно изобретению в него дополнительно введены блок хранения данных, вход которого подключен к выходу мультивибратора, элемент ИЛИ, связанный каждым своим входом с выходом одноименного элемента И первой группы, вторая группа элементов И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу блока хранения данных, а вторые входы элементов И второй группы объединены и подключены к выходу элемента ИЛИ, а каждый из их выходов связан с одноименным входом цифроаналогового преобразователя.

На чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит источник опорного напряжения 1, устройство сравнения 2, измеритель сопротивления 3, аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 4, мультивибратор 5, регистр сдвига 6, первую группу элементов И 7-1…7-n, блок хранения данных 8, вторую группу элементов И 9-1…9-n, цифроаналоговый преобразователь (ЦАП) 10, генератор факельного разряда 11, рабочий электрод 12, подгоняемый резистор 13, подложкодержатель 14, элемент ИЛИ 15.

В устройстве последовательно соединены подгоняемый резистор 13, измеритель сопротивления 3, устройство сравнения 2 и АЦП 4, а также ЦАП 10 и генератор факельного разряда 11. Последний снабжен разрядным рабочим электродом 12, установленным с зазором между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора 13, который закреплен на подложкодержателе 14. Выход источника опорного напряжения 1 связан с первым входом устройства сравнения 2. Первый вход каждого из элементов И первой группы 7-1…7-n подключен к одноименному выходу АЦП 4. Вход регистра сдвига 6 и управляющий вход измерителя сопротивления 3 объединены и подключены к выходу мультивибратора 5. Каждый из выходов регистра сдвига 6 связан со вторым входом одноименного элемента И первой группы 7-1…7-n.

В устройстве дополнительно введены блок хранения данных 8, элемент ИЛИ 15 и вторая группа элементов И 9-1…9-n. Вход блока хранения данных 8 также подключен к выходу мультивибратора 5, а каждый из его выходов связан с первым входом одноименного элемента И второй группы 9-1…9-n. Вторые входы элементов И второй группы 9-1…9-n объединены и подключены к выходу элемента ИЛИ 15, каждый вход которого подключен к выходу одноименного элемента И первой группы 7-1…7-n. Каждый из выходов элементов И второй группы 9-1…9-n связан с одноименным входом цифроаналогового преобразователя 10.

Устройство работает по двухтактной схеме следующим образом.

В течение первого такта всех циклов подгонки с помощью измерителя сопротивления 3 измеряется сопротивление подгоняемого резистора 13. При этом измеритель сопротивления 3 формирует постоянное напряжение, пропорциональное этому сопротивлению, которое сохраняется на протяжении двух тактов. Команда об измерении значения подгоняемого резистора и поддержании неизменным полученного уровня выходного напряжения измерителя сопротивления 3 подается от мультивибратора 5. Его выходные сигналы имеют прямоугольную форму. При «нулевых» уровнях этих импульсов (первый такт) в устройстве для подгонки резисторов происходит измерение сопротивления подгоняемого резистора 13 и формирование пропорционального ему выходного напряжения измерителя 3. Вместе оба эти процесса занимают незначительную часть первого такта, поэтому большая часть первого такта и весь второй такт (т.е. практически два такта) на выходе измерителя сопротивления 3 поддерживается сформированное постоянное напряжение. Измеритель сопротивления 3, формирующий напряжение, пропорциональное величине сопротивления, может быть реализован на базе мостовой схемы или готового цифрового измерителя сопротивления.

В устройстве сравнения 2, реализованном на базе вычитателя напряжения, определяется разность выходных напряжений измерителя сопротивления 3 и источника опорного напряжения 1 (последнее пропорционально предельному значению сопротивления подгоняемого резистора 13). АЦП 4 формирует цифровой код, пропорциональный его входному напряжению (разностному сигналу на выходе устройства сравнения 2). АЦП 4 содержит n - разрядов, причем «вес» каждого последующего разряда, начиная со второго, меньше предыдущего в два раза.

В первоначальный момент работы устройства (в течение первого цикла подгонки) по команде от мультивибратора 5 на первом выходе регистра сдвига 6 формируется логическая «1», которая поступает на второй вход элемента И первой группы 7-1, пропуская тем самым на выход элемента И 7-1 сигнал, содержащийся на первом выходе АЦП 4.

Одновременно с этим также по команде от мультивибратора 5 на выходах блока хранения данных 8 формируется цифровой код, несущий информацию об энергии первого (наиболее сильного) факельного разряда. Сигнал, с каждого из выходов блока хранения данных 8, поступает на первый вход одноименного элемента И второй группы 9-1…9-n.

Если выходной сигнал элемента И первой группы 7-1 - есть логическая «1» (она поступает на первый вход элемента ИЛИ 15), то в течении второго такта на выходе элемента ИЛИ 15 поддерживается логическая «1». Она поступает на вторые входы элементов И второй группы 9-1…9-n, пропуская тем самым на выход каждого из этих элементов сигнал, содержащийся на одноименном выходе блока хранения данных 8.

Выходной сигнал каждого из элементов И второй группы 9-1…9-n поступает на одноименный вход ЦАП 10. Таким образом в течение второго такта на выходе ЦАП 10 поддерживается постоянное напряжение, пропорциональное энергии первого факельного разряда. Оно поступает на вход генератора факельного разряда 11. Между вершиной излучающего конуса рабочего электрода 12 и подгоняемого резистора 13 возникает факельный разряд, что приводит к испарению материала резистора и увеличению его сопротивления.

Если выходной сигнал элемента И 7-1 - есть логический «0» (он поступает на первый вход элемента ИЛИ 15), то в течение второго такта на выходе элемента ИЛИ 15 поддерживается логический «0». Он поступает на вторые входы элементов И второй группы 9-1…9-n, формируя на их выходах логический «0». На выходе ЦАП 10 формируется нулевое значение напряжения. При этом включении генератора факельного разряда 11 не производится.

Во время второго цикла подгонки по команде от мультивибратора 5 на втором выходе регистра сдвига 6 формируется логическая «1», которая поступает на второй вход элемента И первой группы 7-2, пропуская тем самым на выход элемента И 7-2 сигнал, содержащийся на втором выходе АЦП 4.

Одновременно с этим также по команде от мультивибратора 5 на выходах блока хранения данных 8 формируется цифровой код, несущий информацию об энергии второго факельного разряда.

В целом работа устройства в течение второго цикла подгонки происходит аналогично ранее описанному.

При наличии логической «1» во втором разряде АЦП 4 факельный разряд второго цикла приводит к приращению сопротивлении в два раза меньше, чем в первом цикле подгонки.

В дальнейшем цикл контроля сопротивления подгоняемого резистора 13 и выжигание части его слоя многократно повторяется, каждый раз по сравнению с предыдущим циклом обеспечивается меньшее (в два раза) приращение сопротивление при наличии логической «1» в соответствующем разряде АЦП 4.

Преимуществами устройства по сравнению с прототипом являются повышенная точность и стабильность факельной подгонки пленочных резисторов. Это достигается путем введения блока хранения данных 8, второй группы элементов И 9-1…9-n и элемента ИЛИ, а также использованием для всех циклов подгонки одного рабочего электрода 12. В этом случае отсутствует необходимость точной установки большого числа зазоров между излучающими конусами рабочих электродов и поверхностью резистора. Коды для каждого цикла подгонки, позволяющие использовать один рабочий электрод, хранятся в блоке хранения данных 8 и формируются автоматически на его выходах по команде от мультивибратора 5.

Устройство для подгонки толстопленочных резисторов, содержащее подложкодержатель для крепления подгоняемого резистора, измеритель сопротивления, подключенный к нему сигнальным входом, источник опорного напряжения, устройство сравнения, связанное первым и вторым входами с выходами соответственно источника опорного напряжения и измерителя сопротивления, аналого-цифровой преобразователь, подключенный сигнальным входом к выходу устройства сравнения, последовательно соединенные цифроаналоговый преобразователь и генератор факельного разряда, снабженный разрядным рабочим электродом, установленным с зазором между вершиной излучающего конуса и поверхностью резистора, первую группу элементов И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу аналого-цифрового преобразователя, последовательно соединенные мультивибратор и регистр сдвига, связанный каждым своим выходом со вторым входом одноименного элемента И первой группы, выход мультивибратора подключен также к управляющему входу измерителя сопротивления, отличающееся тем, что в него дополнительно введены блок хранения данных, вход которого подключен к выходу мультивибратора, элемент ИЛИ, связанный каждым своим входом с выходом одноименного элемента И первой группы, вторая группа элементов И, первый вход каждого из которых подключен к одноименному выходу блока хранения данных, а вторые входы элементов И второй группы объединены и подключены к выходу элемента ИЛИ, а каждый из их выходов связан с одноименным входом цифроаналогового преобразователя.

Прецизионный фольговый резистор // 2046418

Изобретение относится к измерительной технике, и может быть использовано в прецизионных стабилизаторах тока, преобразователях код-ток, ток-частота и т.д. .

Способ изготовления объемных композиционных резисторов // 2012084

Изобретение относится к электроэнергетике и касается технологии изготовления объемных композиционных резисторов. .

Способ формирования резистивного слоя на керамической подложке // 2006082

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при создании резистивных слоев, снимающих заряды и выравнивающих градиенты потенциала на поверхности нитридокерамических и оксидокерамических изоляторов.

Способ изготовления чип-резисторов // 2551905

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству постоянных резисторов, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности. В способе изготовления чип-резисторов, включающем формирование резистивного слоя путем напыления с последующей фотолитографией, формирование планарных контактов на лицевой стороне подложки, лазерную подгонку, формирование защитного слоя, разделение подложки на полосы, формирование торцевых контактов по тонкопленочной технологии, нанесение припоя, разделение полос на чипы, планарные контакты на лицевой стороне подложки формируют по тонкопленочной технологии с использованием фотолитографии, а планарные контакты на тыльной стороне подложки формируют одновременно с торцевыми контактами, дополнительно введены операции термообработки, термотренировки и импульсной тренировки, при этом термообработку осуществляют после формирования резистивного слоя, термотренировку и импульсную тренировку проводят после разделения полос на чипы, а также повышение технологичности. 1 ил., 1 табл.

Способ изготовления толстопленочных резисторов // 2552626

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству постоянных резисторов, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности. В способе изготовления толстопленочных резисторов, включающем последовательное нанесение методом трафаретной печати на изолирующую подложку проводникового и резистивного слоев с последующими сушкой и вжиганием в воздушной атмосфере, на резистивный слой дополнительно наносят слой высокотемпературной защитной пасты методом трафаретной печати с последующим вжиганием, затем после лазерной подгонки сопротивления резисторов наносят дополнительный защитный слой методом трафаретной печати, затем формируют охватывающие контакты посредством нанесения низкотемпературной проводниковой пасты с последующей сушкой и гальваническим осаждением слоев никеля и припоя. Технический результат заключается в повышении выхода годных резисторов с одновременным повышением технических характеристик резисторов. 1 з.п. ф-лы, 2 табл., 1 ил.

Способ изготовления толстопленочных резисторов // 2552631

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству постоянных резисторов, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности. В способе изготовления толстопленочных резисторов, включающем последовательное нанесение методом трафаретной печати на изолирующую подложку проводникового и резистивного слоев с последующими сушкой и вжиганием в воздушной атмосфере, на резистивный слой дополнительно наносят основной защитный слой методом трафаретной печати с последующим вжиганием, затем после лазерной подгонки сопротивления резисторов наносят дополнительный защитный слой методом трафаретной печати, затем формируют охватывающие контакты посредством напыления слоя никеля с подслоем титана с последующим горячим лужением припоем. Технический результат от использования изобретения заключается в повышении выхода годных резисторов с одновременным повышением технических характеристик резисторов. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.

Способ изготовления тонкопленочных резисторов // 2568812

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к средствам измерения, в конструкции которых применен тензорезистивный элемент на металлической подложке, изготовленный с использованием тонкопленочной технологии. Способ изготовления тонкопленочных резисторов включает последовательное напыление на диэлектрическую подложку резистивной и проводящей пленок, формирование микрорисунка резисторов методом фотолитографии с последующей термообработкой инфракрасным излучением при температуре рекристаллизации резистивной пленки. Термообработку осуществляют кратковременно в вакууме в течение 15-30 минут и после чего проводят термостабилизацию на воздухе при температуре 220±30°C в течение 15-35 минут. Термообработку в вакууме осуществляют при давлении P=(1·10-5-5·10-6) мм рт.ст. Технический результат заключается в повышении стабильности резистивного элемента, расширении рабочих температур датчиков при эксплуатации и обеспечении высокой точности измерения давления в течение длительного времени их работы. 1 з.п. ф-лы, 1 табл.

Способ изготовления тонкопленочного резистора // 2583952

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству постоянных резисторов, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности, в том числе мощных высокочастотных цепях. В способе изготовления тонкопленочного резистора, включающем напыление резистивного слоя и формирование многослойной проводящей структуры, после напыления резистивного слоя и формирования многослойной проводящей структуры формируют пассивирующую пленку на основе исходного компонента резистивного слоя. Технический результат от использования изобретения заключается в улучшении температурного коэффициента сопротивления за счет формирования пассивирующей пленки на основе исходного компонента резистивного слоя. 1 ил.

Устройство для неразрушающей подгонки толстопленочных резисторов // 2620263

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологическим процессам изготовления толстопленочных резисторов, и может быть использовано при корректировке сопротивления резистора до необходимого номинала или получения нестандартного значения сопротивления без разрушения резистивного слоя, а также при корректировке функциональной характеристики резистивной пленки. Техническим результатом изобретения является повышение эффективности и качества корректировки функциональной характеристики и подгонки сопротивления переменных и постоянных толстопленочных резисторов за счет программного управления процессами подгонки и сканирования толстопленочных резисторов. 6 ил.

Способ изготовления резистора на кристаллической или поликристаллической подложке // 2636654

Изобретение относится к радиоэлектронике, а точнее к тонкопленочной технологии. Сущность способа изготовления резистора на кристаллической или поликристаллической подложке заключается в том, что кристаллическую или поликристаллическую подложку шлифуют, располагают ее в импланторе, направляют сфокусированный поток ионов на подложку и рисуют им резистор. Техническим результатом изобретения является расширение арсенала способов изготовления резистора на кристаллической или поликристаллической подложке. 1 ил.

Способ изготовления низкоомного чип-резистора // 2639313

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству низкоомных чип-резисторов, которые могут быть использованы в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности, в частности для применения в качестве датчиков тока. Технический результат предложенного способа заключается в возможности изготовления чип-резисторов со значением ТКС, которое не превышает целевого значения при заданном значении сопротивления. Способ изготовления низкоомного чип-резистора включает резистивное формирование на концах резистивной пластины контактов и подгонку ее сопротивления, между контактами на резистивной пластине формируют покрытие из изолирующего материала, на контакты наносят гальваническое покрытие с образованием выводов чип-резистора, каждый из которых состоит из контакта с гальваническим покрытием и смежной с контактом части резистивной пластины, при формировании контактов проводят процедуру минимизации переходных сопротивлений между контактами и резистивной пластиной путем снятия окисных пленок с поверхности резистивной пластины, а контакты формируют такой конфигурации, при которой общее сопротивление выводов выбрано из математической зависимости. 1 ил.

Низкоомный чип-резистор // 2640575

Изобретение относится к электронной технике, а именно к производству низкоомных чип-резисторов, которые могут быть использованы в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности, в частности для применения в качестве датчиков тока. Технический результат предложенного устройства заключается в создании низкоомного чип-резистора со значением ТКС, которое не превышает целевого значения при заданном значении сопротивления. Технический результат достигается за счет того, что предложен низкоомный чип-резистор, включающий резистивную пластину с контактами на концах, с покрытием из изолирующего материала между контактами и гальваническим покрытием на контактах, при этом участок низкоомного чип-резистора, состоящий из контакта с гальваническим покрытием и смежной с контактом части резистивной пластины, образует вывод чип-резистора, а контакты имеют конфигурацию, при которой общее сопротивление выводов удовлетворяет математической зависимости. 1 ил., 1 табл.