Способ получения кристаллического фосфидагаллия

 

!

С1П ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

265083

Союз Соеетоких

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 121, 25/00

12п, 15/00

Заявлено 18. I I 1.1969 (№ 1315602/23-26) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.III.1970. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 22.VI.1970

МПК С 01Ь 25/08

С 01g 15/00

УДК 546.181.1 681.07 (088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Соеете Министров

СССР

Автор изобретения

T. М. Ярмола

Ордена Трудового Красного Знамени институт проблем материаловедения АН Украинской ССР

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ФОСФИДА

ГАЛЛИЯ

Изобретение относится к способам получения фосфида галлия, применяющегося в качестве люминесцентных источников света, диодов и т. п.

Известен способ получения кристаллического фосфида галлия путем медленной кристаллизации GaP из раствора-расплава в Ga. Процесс ведут 3 — 5 час, содержание Si в кристаллах 10 - ат. %. Однако для этого способа характерны сложность и длительность процесса и недостаточно высокое качество конечного продукта.

По предлагаемому способу процесс ведут при температуре 1100 — 1150 С, барботируя через расплав галлия фосфин, разбавленный водородом. Это ускоряет и упрощает процесс и повышает качество конечного продукта.

На чертеже изображена схематично установка для осугцествления предлагаемого способа.

В графитовый стаканчик заливают расплав галлия при 36 С и помещают на дно кварцевого чехла. Чехол закрывают пробкой, в отверстия которой вставляют кварцевые трубки для пропускания газовых потоков, и помещают в печь Марса. Перед началом опыта открывают кран 1 и пропускают в течение

30 мин водород для вытеснения воздуха из системы. После этого включают нагрев. При температуре 1100 С кран перекрывают и образовашн.ш при добавлении капель 10%-ной

Н $04 к А1Р в реакторе 2 фосфнн в смеси с водородом барботирует через трубку 3 расплав галлия. Реакция продолткается 30 лаан.

10 Затем печь включают, открывают кран 1 и реактор фосфидизации или выдвигают из зоны реакции, илн охлаждают вместе с печью.

После синтеза кристаллы оаР отделяют от избытка галлия обработкои разбавленной со15 ляной кислотой. Полученные кристаллы содер>кат кремния менее 10 ат. %.

Предмет изобретения

Способ получения кристаллического фосфи20 да галлия, отличающийся тем, что, с целью ускорения и упрошения процесса и повышения качества конечного продукта, процесс ведут при температуре 1100 — 1150 С, барботируя через расплав галлия фосфин, разбавленный

265083

Составитель T. Н. Кузьмина

Редактор О, С. Филиппова Текред А. A. Камыпгникова Корректор С. А. Кузовенкова

Заказ 650 1праж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4!5

Типография, пр. Сапупова, 2