Способ лазерной наплавки металлических поверхностей

Изобретение относится к способу лазерной наплавки поверхностей металлических изделий и может быть использован для восстановления изношенных поверхностей изделий. На поверхности детали создают зону нагрева непрерывным лазерным лучом и подают в нее коррозионно-эрозионностойкий самофлюсующийся присадочный порошок с обеспечением его расплавления и смешивания с подплавленным основным металлом изделия. При подготовке присадочного порошкового материала в него добавляют сажу в весовом соотношении 1:50. В процессе наплавки подачу присадочного порошка осуществляют вслед движущейся наплавляемой поверхности. 1 ил.

 

Изобретение относится к технологии порошковой лазерной наплавки сталей.

В настоящее время широко используют порошковые, газопорошковые технологии лазерной наплавки металлических поверхностей.

Вместе с тем идут поиски способов улучшения качества наплавки.

Известен способ импульсной лазерной наплавки металлов (патент №2502588, МПК В23K 26/34, опубл. 27.12.2013 г.).

Сущность предлагаемого способа состоит в том, что при подаче присадочного материала и воздействия на него и зону наплавки импульсным лазерным излучением осуществляют амплитудную модуляцию мощности лазерного излучения каждого импульса, при этом плотность мощности модулирующего импульса лазерного излучения выбирают из условия:

, где

- пороговая плотность мощности лазерного излучения в зоне наплавки, при которой происходит расплавление присадочного материала,

- критическая плотность мощности лазерного излучения, при которой начинается выплескивание жидкой ванны расплава.

Использование данного способа позволяет если не исключить, то существенно снизить образование горячих трещин при лазерной импульсной наплавке металла.

К недостаткам этого способа следует отнести то, что амплитудная модуляция мощности лазерного излучения не может быть реализована для непрерывного источника лазерной энергии, используемого в предлагаемом способе наплавки. Кроме того, данный способ предполагает использование защитной среды (инертного газа), что усложняет и повышает затраты на реализацию процесса наплавки.

Известен способ лазерной наплавки сталей (патент RU №2032512, МПК В23K 26/00, опубл. 18.04.1996).

Сущность данного способа состоит в том, что лазерным лучом расплавляют износостойкий порошковый материал, подаваемый па наплавляемую поверхность, перемещая эту поверхность относительно лазерного луча с перекрытием зон наплавки. Причем изделие предварительно нагревают и ведут процесс наплавки при температуре изделия 550-700°C.

Наплавляют за один проход слой толщиной 0,2-0,6 мкм. После наплавки происходит трехкратный отпуск при температуре 550…600°C.

Применение данного способа обеспечивает бездефектную наплавку быстрорежущих сталей.

К недостаткам этого способа следует отнести:

1. Необходимость предварительного нагрева и обязательный трехкратный отпуск при 550…600°C, что увеличивает трудоемкость и энергетические затраты.

2. Наплавка за один проход обеспечивает создание ограниченного слоя толщиной не более 0,2…0,6 мкм.

3. Способ позволяет вести бездефектную наплавку быстрорежущих сталей, но не гарантирует отсутствие дефектов (микротрещин), при наплавке иных категорий сталей, например легированных.

За прототип взят способ наплавки коррозионно-эрозионного порошка присадочного материала на стальную поверхность детали (патент №2478028, МПК В23K 26/34, опубл. 27.03.2013).

Данный способ включает создание на поверхности зоны нагрева непрерывным лазерным лучом и подачу в нее коррозионно-эрозионностойкого, самофлюсующегося присадочного порошка с обеспечением его расплавления и смешивания с подплавленным основным металлом изделия.

Причем перед подачей присадочного порошкового материала его предварительно просеивают и прокаливают, а наплавку производят при перемещении лазерного луча с постоянной скоростью и неизменным положением фокуса линзы относительно наплавляемой поверхности при плотности мощности излучения q, варьируемой в пределах 5×108≥q≥3×108 Вт/см2, с соотношением подплавленного основного металла ко всему наплавленному металлу в пределах y=5…15%.

Недостатком прототипа является низкий эффективный коэффициент полезного действия (КПД) процесса наплавки и высокая вероятность появления микротрещин в наплавляемом слое. Кроме этого, не обеспечивается равномерность дозированной подачи порошка в зону обработки из-за образования слипшихся конгломератов из нескольких частиц порошка при его подаче.

Технической задачей предлагаемого изобретения является снижение отражательной способности лазерного излучения при наплавке, повышающее КПД процесса, повышение качества наплавки и увеличение толщины наплавляемого слоя за один проход.

Сущность предлагаемого способа заключается в следующем.

Способ лазерной наплавки металлических поверхностей включает: создание на металлической поверхности зоны нагрева непрерывным лазерным лучом и подачу в нее коррозионно-эрозионностойкого самофлюсующегося присадочного порошка, его расплавление и смешивание с подплавленным основным металлом изделия, причем при подготовке присадочного порошкового материала в него добавляют сажу в соотношении 1:50 в весовом соотношении к общей массе смеси. Подачу присадочного порошка осуществляют вслед, движущейся наплавляемой поверхности.

На Фиг. 1 показана схема энергозатрат в установившемся режиме формирования наплавочного слоя, которая позволяет полнее понять природу процесса наплавки и установить распределение энергозатрат, падающего потока лазерного излучения (Комментарии к условным обозначениям параметров энергозатрат на Фиг. 1 приведены на стр. 4 и 5 описания).

Техническая задача предлагаемого изобретения заключается в снижении отражательной способности присадочным порошком излучения CO2-лазера в процессе лазерной наплавки, который может достигать свыше 50% энергии падающего лазерного излучения. Необходимо учитывать также, что существенная часть лазерного излучения дополнительно может отражаться от поверхности наплавляемого изделия, принимая во внимание, что наплавляемая поверхность должна быть подплавлена. Это необходимо для обеспечения условия перемешивания расплава основного и присадочного материалов с целью обеспечения достаточной адгезии слоев этих материалов. Данная часть отраженной энергии лазерного излучения также может быть снижена предлагаемым способом, за счет попадания частиц мелкодисперсной сажи в зону обработки, а также при перемешивании и растекании расплава жидких компонентов основы и присадки, содержащих частицы сажи в процессе формирования наплавочного валика.

Снижение степени отражения естественным образом увеличит КПД процесса наплавки. Кроме этого предлагаемый способ позволяет облегчить задачу дозирования присадочного порошка за счет «смазывающего» эффекта и снижения вероятности слипания отдельных частиц присадочного порошка, благодаря обволакивания их поверхности мелкодисперсными частицами сажи. При этом снижается коэффициент трения между гранулами присадки, одновременно увеличивая их поглощательную способность.

Такая предварительная обработка присадочного порошка (с добавлением сажи) при экспериментальной проверке, обеспечила увеличение сыпучести и практически исключила случаи образования слипшихся конгломератов из нескольких частиц порошка.

Испытания проводились по принципу песочных часов, сравнивая время высыпания смеси порошка с сажей и без нее. В первом случае оно увеличилось на 25…30%. При этом из десяти проведенных опытов смесь порошка с сажей ни разу не приостановила свое истечение в рабочей части песочных часов. В случае опытного испытания порошка без добавления сажи, его сыпучесть прекращалась до 3-х раз в процессе одного цикла испытаний, т.е. при пересыпании одной дозы порошка весом 50 гр. При этом испытываемый присадочный порошок, предварительно просеивался для выделения однородного гранулометрического состава (40…160) мкм, затем прокаливался для удаления влаги.

Таким образом, кроме повышения поглощательной способности и снижения энергозатрат, повышается качество наплавочного слоя за счет более равномерной подачи порошка в зону действия лазерного излучения и стабильного (без сбоев) формирования наплавочного валика.

Подача порошка вслед движущемуся объекту дополнительно позволяет исключить появление трещин в наплавочном слое, используя при этом смесь присадочного порошка с сажей. При этом за один проход наплавляется слой 0,8…0,9 мм. По статистическим данным проведенных экспериментов из 10-ти подвергнутых наплавке образцов, изготовленных из стали 30ХГСА, ни в одном случае не было обнаружено трещин в наплавочном слое. Однако при варианте наплавки во встречном направлении подачи порошка относительно движения образца трещины были обнаружены в 4-х образцах с использованием смеси порошка с сажей, а без добавления сажи микротрещины присутствовали во всех образцах. Очевидно, снижение вероятности появления трещин происходит за счет снижения температурного градиента в зоне температурного влияния от источника нагрева. Это является также следствием снижения потребления удельной энергии на формирование наплавочного валика за счет увеличения коэффициента поглощения присадочным порошком с сажевым покрытием, с одной стороны, и дополнительным теплоотводом частиц порошка, не успевших расплавиться, но внедрившихся в расплав, с другой стороны. Благодаря этому уменьшается темп деформации до уровня меньше критического. При этом незначительно увеличивается коэффициент использования порошка примерно на 3…5%, а прилипшие частицы порошка легко удаляются при механической финишной обработке поверхности изделия, обязательной для данной технологии.

Распределение энергии лазерного излучения при наплавке, в общем виде при условии подплавления основы металла можно представить графически (Фиг. 1).

Энергетический баланс, определяющий связь между источником энергии и различными видами энергозатрат, описывается следующей системой уравнений:

Qu=(Q+Qo+Qпг)+(QпгΣ+Qисп.Σ)=Qл

где

Qu - энергия лазерного излучения в зоне обработки,

Qп - энергия поглощения частицами присадочного порошка,

Qo - энергия поглощения поверхностью основы наплавляемого материала.

Qпг - энергия поглощения парогазовым факелом, т.е. плазмой, возникающей в результате его ионизации высококонцентрированным источником световой энергии,

Qф - энергия рассеивания (теплоотвода) в окружающую среду излучением из парогазовой среды (факела),

- часть энергии парогазовой среды, поглощаемая стенками зоны расплава основы наплавляемого материала, в результате конвективного и лучистого теплообмена,

- энергия лазерного излучения, отраженная от поверхностей частиц присадочного порошка,

- энергия лазерного излучения, отраженная от поверхности основы,

- энергия, отраженная от поверхности ванны расплава основы и присадки,

Qисп - полная энергия продуктов расплава (энергия испарения), уносимая парогазовой камерой,

- энергия лазерного излучения, поглощенная в процессе фотонно-электронных соударений на стенках канала, образованная расплавом,

Qв - полное теплосодержание жидкой ванны расплава,

Qтп – энергия, отводимая теплопроводностью вглубь основного перемешанного металла и нерасплавленного порошка, схватившегося с расплавом на поверхности наплавленного валика.

В результате рассмотренных составляющих энергетического баланса эффективность передачи лучистой энергии лазера обрабатываемому материалу определяется суммой потерь в парогазовой среде, QпгΣ=Qп+Qo+Qпг, суммой потерь на отражение , и потерями на испарение из зоны обработки QиспΣ, это характеризуется эффективным коэффициентом поглощения а эф. Значение этого коэффициента в достаточном приближении можно получить из уравнения, которое можно записать в упрощенном виде как

,

Эффективность процесса лазерной наплавки, как и другой, принято характеризовать значением эффективного КПД (μн), представляющим отношение энергии или мощности, поглощенной металлом основы и присадочного материала, к энергии или мощности, затраченной на наплавку. Таким образом, понятие эффективного коэффициента поглощения лазерного излучения при наплавке и эффективного КПД наплавки совпадают по физической сущности. Поэтому в дальнейшем будет использоваться понятие эффективный КПД, который можно записывать как

μн=Е/Р,

где Е - эффективная мощность процесса лазерной наплавки или мощность теплового источника, действующего при лазерной наплавке, Р - мощность лазерного излучения.

Таким образом, эффективный КПД наплавки увеличивается за счет снижения параметров , и . Последний параметр снижается за счет присутствия частиц сажи в ванне расплава основы и присадки.

Значение эффективного КПД определялось экспериментально с помощью калориметра. При этом наплавляемые образцы, изготовленные из стали 30ХГСА размером (5×20×100 мм), сразу после наплавки погружают в калориметр и определяют их теплосодержание, т.е. количество теплоты, поглощенное образцами в процессе наплавки. Таким образом, определяли эффективную мощность Е процесса лазерной наплавки. Зная мощность лазерного излучения Р и эффективную мощность Е, по формуле определяют значение μн, его величина зависит от параметров излучения, режима и условий наплавки.

Используя данную экспериментальную методику калориметрирования было подтверждено, что наиболее эффективным является метод подачи присадочного порошка вслед движущемуся объекту по сравнению с его подачей во встречном направлении. При этом эффективный КПД повышается на 15…20%. Это, очевидно, обусловлено снижением степени отражения излучения от частиц порошка в зоне действия лазерного излучения и повышенной концентраций на поверхности валика нерасплавленных частиц порошка. Они являются дополнительным источником теплоотвода, снижающим температурный градиент в зоне температурного влияния. Это несколько снижает коэффициента его использования Kμ, т.е. отношение массы наплавленного металла к массе израсходованного в процессе наплавки, но при этом исключается вероятность появления трещин в наплавленном слое, что свидетельствует о повышении качества наплавки.

Порошок перед наплавкой просеивается и прокаливается для удаления влаги. Затем тщательно смешивается с мелкодисперсной сажей, полученной от сжигания резины в весовом соотношении 1:50, и помещается в дозатор. Дозирование и регулировка осуществляются экспериментальным путем для получения равномерного наплавляемого слоя. Контроль равномерности и однородности слоя производится после шлифования наплавленной поверхности оптико-визуальными методом, а также металлографическим анализом подготовленных микрошлифов. Коэффициент использования порошка Kμ оценивался путем взвешивания массы израсходованного и оставшегося после наплавки порошка.

Таким образом, при наплавке по предложенному способу повышается эффективный КПД на 15…20%, достигнуто отсутствие микротрещин в наплавочном слое, обеспечена стабильность подачи порошка и равномерность наплавленного слоя. За один проход можно наплавить слой до 0,8…0,9 мм.

Способ лазерной наплавки металлических поверхностей изделий, включающий создание на металлической поверхности зоны нагрева непрерывным лазерным лучом, подачу в нее коррозионно-эрозионностойкого, самофлюсующегося присадочного порошка, его расплавление и смешивание с подплавленным основным металлом изделия, отличающийся тем, что при подготовке коррозионно-эрозионностойкого, самофлюсующегося присадочного порошка в него добавляют сажу в весовом соотношении 1:50, а в процессе наплавки подачу присадочного порошка осуществляют вслед движущейся наплавляемой поверхности.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к конструкции электробритвы, использующей для бритья лазерный луч. Бритва содержит ручку (12) и бреющую головку (13), выполненные с возможностью перемещения относительно друг друга вокруг оси поворота (16) и/или вдоль оси линейного движения (17).

Изобретение относится к способу лазерной наплавки на изделие (варианты) и устройству для его осуществления (варианты). Наплавку выполняют с использованием инертного газа и порошкового присадочного материала.

Изобретение относится к лазерной технологии и может быть использовано для обработки поверхности драгоценных металлов. Осуществляют напыление на поверхность изделия пленки из окисляющегося металла.

Изобретение относится к способу лазерной наплавки металлических покрытий и может быть использовано при изготовлении инструментов и деталей технологической оснастки.

Изобретение относится к области лазерного резания с нагнетанием потока продувочного газа в зону резания для удаления шлаков и газов, образующихся в процессе резания.

Изобретение относится к способу лазерно-порошковой наплавки защитного покрытия на входную кромку рабочей лопатки паровой турбины из стали марки 13Х11Н2В2МФ-Ш, или 15Х11МФ-Ш, или 20X13.

Изобретение относится к способу цветной маркировки поверхности металла или его сплава лазерным импульсным излучением и может использоваться для обработки поверхности металлов.

Изобретение относится к сварочному оборудованию, а именно к комбинированным (гибридным) лазерно-дуговым установкам. Установка для лазерно-дуговой сварки деталей содержит основание с установленной на нем кинематической системой перемещения сварочного модуля с оптической лазерной головкой и горелкой, а также оснастку для установки и приведения во вращение свариваемых деталей.

Изобретение относится к области лазерной обработки и может быть использовано для формирования рельефной поверхности на стальном тиснильном вале. Формирование рельефной поверхности представляет собой выполнение макрорельефа с размерами элементов свыше 20 мкм и глубинами до 150 мкм включительно путем лазерного воздействия при следующих параметрах: плотность энергии в режиме генерации единичных импульсов равна 0,5-3,5 Дж/см2, средняя плотность энергии в режиме генерации пачек импульсов равна 0,5-70 Дж/см2 на импульс, длина волны равна 532-1064 нм, частота повторения импульсов равна от 1 кГц до 10 МГц, расстояние между импульсами на детали составляет 10-50% от диаметра пучка для фемтосекундного лазера и 10-25% или 40-50% от диаметра пучка для пикосекундного лазера, фокальная плоскость лазерного пучка расположена на поверхности детали, и скорость перемещения пучка равна или более 100 м/с.

Изобретение относится к области лучевой сварки и может быть использовано в производстве панельных стрингерных конструкций. Способ включает установку стрингера на бурт, выполненный на обшивке по месту расположения стрингера, и его прихватку, позиционирование и прижим стрингера в зоне сварки посредством головки с направляющими роликами, сварку стрингера с буртом обшивки одновременно двумя лучами, направленными с двух противоположных сторон стрингера и перемещаемыми вдоль сварного стыка стрингера.

Изобретение относится к способу аддитивной обработки деталей из сплавов системы Al-Si и может быть использовано в машиностроительных отраслях для изготовления и восстановления малоразмерных изделий и их конструктивных элементов, преимущественно, поперечного размера в субмиллиметровом диапазоне (менее 1 мм). Осуществляют послойную лазерную наплавку порошкового материала с его одновременной подачей в зону обработки совместно с технологическим газом. Используют порошковый материал со средним диаметром частиц 30…40 мкм при концентрации частиц в потоке технологического газа не более 0,275 г/мм3. Технический результат - расширение технологических возможностей. 3 ил., 1 пр., 1 табл.

Изобретение относится к устройству и способу лазерной обработки листа электротехнической стали с ориентированной структурой для снижения размера магнитного домена. Блок лазерного облучения устройства выполнен с возможностью обеспечения распределения интенсивности лазерного луча, сфокусированного на обрабатываемом листе, таким образом, чтобы удовлетворялось соотношение Ib/Ia≤2, где Ra1 и Ra2 - расстояния между центроидом распределения интенсивности и позициями, при которых значение интегрирования интенсивности, полученное из центроида распределения интенсивности, составляет 43% от общего значения интегрирования интенсивности, Ia1 и Ia2 - интенсивности лазерного луча, соответствующие соответственно Ra1 и Ra2, при этом Ia представляет собой среднее значение от Ia1 и Ia2, а Ib представляет собой интенсивность луча в центроиде распределения интенсивности. 2 н. и 13 з.п. ф–лы, 13 ил., 1 табл.

Изобретение относится к способу обработки материала энергетическим лучом и способу образования изделия направленной кристаллизацией. Осуществляют выращивание подложки (24) по мере кристаллизации ванны (28) расплава под слоем (30) расплавленного шлака. Энергетический луч (36) используют для расплавления порошка (32) или полой подаваемой проволоки (42) с наполнителем (44) из порошкообразного сплава под слоем шлака. Слой шлака является по меньшей мере частично прозрачным (37) для энергетического луча и он может быть частично оптически поглощающим или проницаемым для энергетического пучка, чтобы поглощать достаточно энергии, оставаясь расплавленным. Как и при обычном процессе ЭШС, слой шлака изолирует расплавленный материал и защищает его от реакции с воздухом. Состав порошка может быть изменен по оси (А) кристаллизации результирующей детали (60), чтобы обеспечить функционально градиентное направленно-кристаллизованное изделие. 2 н. и 16 з.п. ф –лы, 5 ил., 1 табл.

Изобретение относится к инструментальной промышленности, а именно к способам обработки режущих пластин из оксидно-карбидной керамики TiC+MgO+Al2O3. В способе лазерной обработки режущей пластины из оксидно-карбидной керамики TiC+MgO+Al2O3, при котором поверхность режущей пластины подвергают импульсному лазерному воздействию, каждая пачка импульсов формирует пятно лазерного луча с определенной мощностью пучка на образце с коэффициентом перекрытия пятна лазерного луча в диапазоне от 0,1 до 0,9. Обработку проводят с частотой следования импульсов от 90 до 110 кГц, числом импульсов в пачке более 60 и мощностью пучка на образце от 7 до 8 Вт. Оптимально, когда поверхность режущей пластины подвергают импульсному лазерному воздействию с коэффициентом перекрытия пятна лазерного луча в диапазоне от 0,5 до 0,75. Технический результат - повышение стойкости режущих пластин. 1 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к области лазерного приборостроения и касается способа определения пространственного положения пучка инфракрасного излучения. Способ включает в себя формирование инфракрасного пучка с помощью первой оптической системы, содержащей инфракрасный лазер, прозрачный в инфракрасной области световод, выпуклое и вогнутое сферические зеркала. Дополнительно формируют пучок видимого излучения с помощью второй оптической системы, включающей лазер видимого диапазона, прозрачный в видимой области световод, выпуклое и вогнутое сферические зеркала. Далее объединяют инфракрасный и видимый пучки с помощью плоскопараллельной пластины с отражающим слоем. Пластина установлена за вогнутым сферическим зеркалом первой фокусирующей системы. Плоскопараллельная пластина и вторая оптическая система установлены с возможностью обеспечения одновременной и точной фокусировки пучков в фиксированной точке объекта таким образом, что направление распространения и апертуры пучков совпадают. Технический результат заключается в повышении точности определения пространственного положения пучка лазерного излучения в инфракрасной области спектра. 1 ил.

Изобретение относится к способу изготовлению детали из хромосодержащего жаропрочного сплава на основе никеля и может найти применение при изготовлении деталей газотурбинных двигателей. Осуществляют нанесение слоя порошка на подложку, формирование первого слоя детали посредством селективного сплавления порошка лазерным лучом, повторное выполнение вышеуказанных операций для формирования последующих слоев детали. Проводят горячее изостатическое прессование в среде аргона и термическую обработку полученной детали. Металлический порошок хромсодержащего жаропрочного сплава на основе никеля предварительно подвергают газодинамической сепарации с последующей дегазацией. Процесс сплавления порошка лазерным лучом проводят в защитной атмосфере азота. Перед горячим изостатическим прессованием деталь помещают в среду электрокорунда и стружки титана или титанового сплава таким образом, чтобы деталь и указанная стружка не соприкасались. Технический результат - получение деталей с низкой пористостью, шероховатостью и содержанием вредной примеси кислорода, а также высокими механическими свойствами. 4 з.п. ф-лы, 3 табл., 2 пр.
Изобретение относится к области технологии обработки конструкционных материалов, в частности к поверхностному упрочнению наружной резьбы концов бурильных труб, изготовленных из титановых сплавов в составе подводно-бурового комплекса. Способ обработки включает облучение лазером резьбовой части бурильных труб, после чего осуществляют приработку резьбовых частей труб посредством их циклического свинчивания-развинчивания, при этом момент затяжки при свинчивании устанавливают в пределах 90-110% от максимальной эксплуатационной нагрузки труб, а количество циклов задают в пределах 5-10. Использование изобретения позволяет снизить фрикционные и адгезионные свойства резьбовых соединений бурового инструмента.
Изобретение относится к способу лазерного плакирования поверхности гидравлической стойки. Порошок сплава на поверхности гидравлической стойки расплавляют с использованием лазерного луча, испускаемого полупроводниковым лазером, таким образом, что образуется плакированный лазером слой. Полупроводниковый лазер представляет собой лазер, функционирующий с полупроводниковым материалом в качестве активной среды и излучающий посредством перехода полупроводникового материала между энергетическими зонами. Технический результат заключается в увеличении эффективности поглощения энергии лазерного луча, что приводит к снижению энергопотребления в процессе обработки. 6 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к области технологических процессов и может быть использовано для лазерного отжига пластин из полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Предложен способ лазерной обработки неметаллических пластин, заключающийся в измерении толщины пластины h и показателя поглощения χ материала пластины на длине волны лазерного излучения, расчете безразмерного параметра χh и при условии χh<4 разделении исходного лазерного пучка на два пучка равной энергии и воздействии одновременно на обе поверхности пластины с плотностью энергии, определяемой по уравнению, связывающему температуру отжига пластины, ее начальную температуру, удельную теплоемкость и плотность материала пластины, коэффициент отражения материала пластины, толщину пластины и показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения. Предварительно рассчитывают условие термопрочности пластины и при его невыполнении перед воздействием лазерного импульса нагревают пластину до температуры, зависящей от толщины пластины, механических, теплофизических и оптических свойств материала пластины. Технический результат - исключение разрушения пластин термоупругими напряжениями в процессе обработки и повышение выхода годных пластин. 2 ил.

Способ изготовления одномерной дифракционной фазовой решетки с синусоидальным профилем заключается в последовательном формировании канавок сканированием импульсным лазерным пучком плоскости контакта пластины из плавленого кварца с пластиной из прессованного графита. Прерывание сканирования после завершения формирования канавки с периодом, соответствующим периоду решетки, который обеспечивается дискретным смещением сфокусированного лазерного пучка, причем глубину профиля рельефа канавок формируют с энергией, зависящей от импульсной плотности мощности, длительности импульса, диаметра области воздействия, числа импульсов, частоты следования импульсов, скорости сканирования. Очистку поверхности решетки осуществляют влажной лазерной очисткой. Технический результат заключается в снижении отклонения в форме канавки от синусоидального профиля по всей длине канавки до 1-4%, снижении отклонений в форме канавки от канавки к канавке в пределах дифракционной фазовой решетки до 2-5%, устранении микротрещин, окружающих канавки, а также расширении диапазона глубин дифракционной фазовой решетки. 13 ил.
Наверх