Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов (варианты)

Изобретение относится к способу формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов (варианты) и может быть использовано для обработки лопаток газотурбинных двигателей. Формируют аморфный поверхностный слой путем бомбардировки его ионами одного из следующих элементов: Y, Yb, С, N. После этого аморфизированный поверхностный слой подвергают кристаллизации путем воздействия на поверхность ультразвуковыми колебаниями энергией, достаточной для обеспечения процесса кристаллизации, и проводят процесс кристаллизации до достижения необходимых размеров нанокристаллов. После этого прекращают воздействие ультразвуком и проводят охлаждение материала изделия со скоростью, обеспечивающей фиксацию процессов перехода материала от аморфного состояния к нанокристаллическому. Технический результат заключается в улучшении эксплуатационных характеристик деталей. 3 н. и 3 з.п. ф-лы, 3 пр.

 

Изобретение относится к области получения нанокристаллических материалов, в частности к получению нанокристаллических поверхностных слоев на деталях из алюминиевых сплавов, и может быть использовано для обработки лопаток газотурбинных двигателей и установок для улучшения их эксплуатационных характеристик.

Известен способ получения твердофазных наноструктурированных материалов путем нанесения вещества на исходную образующую матрицу, в котором наносимое вещество преобразуют в поток кластеров при детонационном горении приготовленной многофазной смеси с катализатором, в продукты детонационного горения вводят буферный газ, подвергают газодинамическому охлаждению при их расширении в сверхзвуковом сопле и направляют на исходную образующую матрицу, которую периодически охлаждают и нагревают [заявка на патент РФ №2005106650. Способ получения твердофазных наноструктурированных материалов и устройство для его реализации. МПК С01В 31/00, 2006 г.].

Недостатком указанного способа является невозможность получения изделий с нанокристаллическим поверхностным слоем.

Известно применение методов интенсивно-пластической деформации для формирования объемных нанокристаллических металлических материалов [Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. М.: Логос, 2000. 272 с.].

Недостатком известного способа [Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. М.: Логос, 2000. 272 с.] является невозможность получения непосредственно в поверхностном слое металлических деталей нанокристаллической структуры. В то же время для таких деталей, как лопатки турбомашин, необходимо обеспечивать упрочненный поверхностный слой материала [патент РФ №2117073. Способ модификации поверхности титановых сплавов. МПК С23С 14/48, 1998]. Лопатки турбомашин работают в условиях воздействия знакопеременных нагрузок, которые могут приводить к возникновению поверхностных трещин и разрушению лопаток. Поэтому эксплуатационную надежность лопаток можно обеспечить путем повышения физико-механических свойств поверхностного слоя материала детали. Создание в поверхностном слое материала нанокристаллической структуры, имеющей по сравнению с обычными не нанокристаллическими сплавами более высокие прочностные свойства, позволяет значительно повысить эксплуатационные свойства подобных изделий. Например, по сравнению со сплавами, имеющими размеры зерен величиной более 1 мкм, время до разрушения образцов при испытаниях на прочность повышается в 2-3 раза, а усталостная долговечность на 1-2 порядка. Кроме того, не всегда, в частности, из соображений дороговизны, является целесообразным создание всего изделия из объемного нанокристаллического металла или сплава. Даже при использовании для изготовления деталей объемного нанокристаллического материала с относительно крупными кристаллами повышенные эксплуатационные свойства могут быть получены за счет измельчения структуры в поверхностном слое материала детали.

Известен способ получения нанокристаллического поверхностного слоя на поверхности изделия с помощью туннельного микроскопа. Согласно этого способа на поверхность изделия наносят тонкий слой металла, на котором сорбируется тонкая пленка воды. В результате электрохимических процессов на обрабатываемом участке образуется слой в несколько десятков нм [Matsumoto К., Sedawa К- Application of Scanning Tunneling Microscopy Nanofabrication process to Single Electron Transistor. - Journ. Vac. Sci. Technol. - 1996, В 14, р. 1331-1335].

Недостатком известного способа является чрезвычайно низкая производительность, которая неприемлема для обработки таких деталей как, например, лопатка турбомашины.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является способ получения наноструктурированного поверхностного слоя, заключающийся в бомбардировке поверхности материала тяжелыми ионами. (Fleischer R.L., Price Р.В. Walker R.M. - Nuclear Tracks in Solids. - Univ. of California, Berkeley, 1979). В области трека происходит аморфизация кристаллической структуры с образованием наноразмерных структур, ориентированных вдоль трека.

Недостатком прототипа является неоднородность полученного поверхностного слоя материала изделия, поскольку облучение поверхностного слоя ускоренными тяжелыми ионами приводит к формированию в материале вдоль трека иона сильно разупорядоченной области диаметром от единиц до десятков нм [Микроэлектроника. - 1998, т. 27, 1, с. 46-48].

Задачей и техническим результатом настоящего изобретения являются повышение эксплуатационных характеристик деталей из алюминиевых сплавов за счет формирования на деталях однородного нанокристаллического поверхностного слоя материала.

Технический результат достигается вариантами способа формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов путем бомбардировки его ионами до образования аморфного слоя с последующим воздействием на аморфный слой ультразвуковыми колебаниями до получения нанокристаллов необходимых размеров и фиксацией структуры нанокристаллического поверхностного слоя его охлаждением.

В отличие от прототипа по первому варианту бомбардировку поверхностного слоя производят имплантацией в него или ионов Y при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅1017 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 с-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

В отличие от прототипа по второму варианту бомбардировку поверхностного слоя производят имплантацией в него или ионов Yb при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅1017 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 с-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

В отличие от прототипа по третьему варианту бомбардировку поверхностного слоя, производят имплантацией в него или ионов N при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅10 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 с-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

Кроме того, по всем вариантам способа возможны следующие дополнительные приемы: в качестве детали используют турбинную лопатку; перед ионной имплантацией проводят обработку поверхностным пластическим деформированием микрошариками.

Сущность изобретения по предлагаемому способу заключается в том, что в поверхностном слое материала изделия одним из известных способов формируют равномерный аморфный поверхностный слой. Формирование аморфного слоя позволяет, с одной стороны уменьшить влияние исходной структуры материала детали на вновь формируемую нанокристаллическую структуру поверхностного слоя, а с другой стороны - создает предпосылки к образованию нанокристаллов в процессе последующей кристаллизации. В качестве одного из методов получения аморфного слоя могут использоваться известные методы ионной имплантации. Для повышения эффекта аморфизации поверхностного слоя могут использоваться, в сочетании с процессом последующей ионной имплантации методы поверхностного пластического деформирования, в частности обработка микрошариками. Процессы деформирования поверхностного слоя, например, приложением высокочастотной знакопеременной нагрузки позволяют сформировать в материале волновые процессы, которые наряду с процессами нагрева позволяют управлять формированием размеров нанокристаллов. В данном случае размеры нанокристаллов будут зависеть от частоты приложенной нагрузки и времени температурной выдержки. При этом для быстрой фиксации процессов перехода материала от аморфного состояния к нанокристаллическому необходимо также управлять скоростью охлаждения материала изделия.

Таким образом, получение аморфного поверхностного слоя материала детали из алюминиевого сплава с последующим преобразованием его путем деформации и кристаллизации в нанокристаллический поверхностный слой материала изделия (например, лопатки турбомашины) позволяют достичь эффекта предлагаемого технического решения - повышения эксплуатационных характеристик деталей из алюминиевых сплавов.

Пример. Для оценки эксплуатационных свойств деталей машин, обработанных по прототипу и предлагаемому способу, были проведены испытания на выносливость и циклическую прочность в условиях эксплуатационных температур (при 100-170°С) на воздухе. Образцы деталей (лопаток турбин) были изготовлены из алюминиевых сплавов Д1, Д16, Д16Т. Режимы и условия обработки деталей по способу-прототипу были следующие: имплантация ионов Yb; энергия ионов 30 кэВ; плотность ионного тока 5-10 мА/см2; доза имплантации ионов 2,8⋅1017 см-2.

Условия обработки по предлагаемому способу. (Удовлетворительным результатом (У.Р.) считался результат, в котором условный предел выносливости (σ-1) алюминиевых сплавов повышался не менее чем на 13%.)

По первому варианту режимы имплантации ионов Y:

- энергия ионов: 23 кэВ - Н.Р., 25 кэВ - У.Р., 27 кэВ - У.Р., 30 кэВ - У.Р., 33 кэВ - Н.Р.

- доза: 2,6⋅1017 см-2 - Н.Р., 2,8⋅1017 см-2 - У.Р., 3,2⋅1017 см-2 - У.Р., 3,6⋅1017 см-2 - У.Р., 3,8⋅1017 см-2 - Н.Р.

- скорость набора дозы: 0,9⋅1015 с-1 - Н.Р., 1,1⋅1015 с-1 - У.Р., 1,4⋅1015 с-1 - У.Р., 1,8⋅1015 c-1 - У.Р., 2,0⋅1015 с-1 - Н.Р.

Размеры нанокристаллов: 10…700 нм 6 нм - Н.Р., 10 нм - У.Р., 80 нм - У.Р., 260 нм - У.Р., 400 нм - У.Р., 600 нм - У.Р., 700 нм - У.Р., 800 нм - Н.Р.

Частота ультразвуковых колебаний: 109 Гц - Н.Р., 1010 Гц - У.Р., 1011 Гц - У.Р., 1012 Гц - У.Р., 1013 Гц - У.Р., 1014 Гц - Н.Р.

По второму варианту режимы имплантации ионов Yb:

- энергия ионов: 24 кэВ - Н.Р., 25 кэВ - У.Р., 26 кэВ - У.Р., 30 кэВ - У.Р., 33 кэВ - Н.Р.

-доза: 2,5⋅1017 см-2 - Н.Р., 2,8⋅1017 см-2 - У.Р., 3,1⋅1017 см-2 - У.Р., 3,6⋅1017 см-2 - У.Р., 3,7⋅1017 см-2 - Н.Р.

- скорость набора дозы: 0,8⋅1015 с-l - Н.Р., 1,1⋅1015 с-1 - У.Р., 1,8⋅1015c-1 - У.Р., 1,9⋅1015 c-1 - H.P.

Размеры нанокристаллов: 7 нм - Н.Р., 10 нм - У.Р., 80 нм - У.Р., 260 нм - У.Р., 400 нм - У.Р., 600 нм - У.Р., 700 нм - У.Р., 760 нм - Н.Р.

Частота ультразвуковых колебаний: 109 Гц - Н.Р., 1010 Гц - У.Р., 1011 Гц - У.Р., 1012 Гц - У.Р., 1013 Гц - У.Р., 1014 Гц - Н.Р.

По третьему варианту режимы имплантации ионов N:

- энергия ионов: 23 кэВ - Н.Р., 25 кэВ - У.Р., 29 кэВ - У.Р., 30 кэВ - У.Р., 32 кэВ - Н.Р.

- доза: 2,6⋅1017 см-2 - Н.Р., 2,8⋅1017 см-2 - У.Р., 3,3⋅1017 см-2 - У.Р., 3,6⋅1017 см-2 - У.Р., 3,8⋅1017 см-2 - Н.Р.

- скорость набора дозы: 0,9⋅1015 с-1 - Н.Р., 1,1⋅1015 с-1 - У.Р., 1,5⋅1015 c-1 - У.P., 1,8⋅1015 с-1 - У.Р., 2,0⋅1015 с-1 - Н.Р.

Размеры нанокристаллов: 8 нм - Н.Р., 10 нм - У.Р., 70 нм - У.Р., 240 нм - У.Р., 400 нм - У.Р., 600 нм - У.Р., 700 нм - У.Р., 750 нм - Н.Р.

Частота ультразвуковых колебаний: 109 Гц - Н.Р., 1010 Гц - У.Р., 1011 Гц - У.Р., 1012 Гц - У.Р., 1013 Гц - У.Р., 1014 Гц - Н.Р.

В результате проведенных испытаний были получены следующие результаты: условный предел выносливости (σ-1) лопаток из дюралюминия (Д16) в среднем по сравнению с прототипом составляет:

1) прототип: 120-125 МПа;

2) по предлагаемому техническому решению: 135-145 МПа;

3) по предлагаемому техническому решению с дополнительной обработкой микрошариками: 138-147 МПа.

Условный предел выносливости (σ-1) алюминиевых сплавов (Д1, Д16, Д16Т) при имплантации ионов Y в среднем повышается приблизительно на 13-18%, при имплантации ионов Yb в среднем повышается приблизительно на 14%-17%, при имплантации ионов N в среднем повышается приблизительно на 15%-19%, что подтверждает заявленный технический результат.

Проведенные исследования показали, что применение предлагаемого способа получения нанокристаллического поверхностного слоя позволяет повысить по сравнению с прототипом эксплуатационные характеристики лопаток из алюминиевых сплавов. Как видно из приведенных примеров, условный предел выносливости (σ-1) повышается в среднем приблизительно на 13%-18%.

Таким образом, предложенный способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя (варианты) на деталях из алюминиевых сплавов позволяет повысить эксплуатационные характеристики деталей из алюминиевых сплавов за счет формирования однородного нанокристаллического поверхностного слоя материала.

1. Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов, включающий бомбардировку поверхностного слоя ионами до образования аморфного слоя с последующим воздействием на аморфный слой ультразвуковыми колебаниями до получения нанокристаллов заданных размеров и фиксацию структуры нанокристаллического поверхностного слоя его охлаждением, отличающийся тем, что бомбардировку поверхностного слоя осуществляют имплантацией в него ионов Y при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅1017 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 c-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

2. Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов, включающий бомбардировку поверхностного слоя ионами до образования аморфного слоя с последующим воздействием на аморфный слой ультразвуковыми колебаниями до получения нанокристаллов заданных размеров и фиксацию структуры нанокристаллического поверхностного слоя его охлаждением, отличающийся тем, что бомбардировку поверхностного слоя осуществляют имплантацией в него ионов Yb при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅1017 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 c-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

3. Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя на деталях из алюминиевых сплавов, включающий бомбардировку поверхностного слоя ионами до образования аморфного слоя с последующим воздействием на аморфный слой ультразвуковыми колебаниями до получения нанокристаллов заданных размеров и фиксацию структуры нанокристаллического поверхностного слоя его охлаждением, отличающийся тем, что бомбардировку поверхностного слоя осуществляют имплантацией в него ионов N при энергии от 25 до 30 кэВ, дозой от 2,8⋅1017 см-2 до 3,6⋅1017 см-2, со скоростью набора дозы от 1,1⋅1015 с-1 до 1,8⋅1015 с-1, а нанокристаллы получают размером в диапазоне 10…700 нм.

4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что перед ионной имплантацией осуществляют обработку поверхностным пластическим деформированием микрошариками.

5. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что в качестве детали используют турбинную лопатку.

6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что перед ионной имплантацией осуществляют обработку поверхностным пластическим деформированием микрошариками.



 

Похожие патенты:
Изобретение относится к области медицины, а именно к способу нанесения антиадгезивного антибактериального покрытия на ортопедические имплантаты из титана и нержавеющей стали, включающему нанесение покрытия на предварительно обработанную поверхность металлического имплантата, при этом поверхность металлических имплантатов из титана и нержавеющей стали подвергают очистке методом ионного травления в герметичной камере, которую предварительно вакуумируют до остаточного давления 9⋅10-5-1⋅10-6 Торр, с последующим заполнением камеры аргоном и вакуумированием камеры до остаточного давления 4⋅10-4-1⋅10-3 Торр, а ионное травление выполняют ионами аргона с энергией 0,7-3,0 кэВ в течение 4-8 мин, затем на поверхность ортопедических имплантатов из титана и из нержавеющей стали наносят дуальным распылением с двух магнетронных источников антиадгезивное антибактериальное покрытие в виде атомов серебра и углерода в виде тетраэдрического алмаза типа ta-C, причем используют магнетронный источник углеродной плазмы с мощностью 95-108 Вт, источник атомов серебра с мощностью 2-20 Вт и ионный источник стимулирования процесса нанесения покрытия ионами аргона с энергией ионов инертного газа аргона от 0,1 до 1,5 кэВ, а процесс нанесения антиадгезивного антибактериального покрытия продолжают в заполненной аргоном и вакуумированной до остаточного давления 4⋅10-4-1⋅10-3 Торр камере, при этом наносят на металлическую поверхность ортопедических имплантатов двухкомпонентное антиадгезивное антибактериальное биосовместимое нанопокрытие толщиной от 9 до 1180 нм, содержащее наногранулы шарообразной формы из высокочистого серебра не ниже 99,9% чистоты размером 4,5-9,5 нм со сформированным на их поверхности сплошным покрытием углерода в виде тетраэдрического алмаза типа ta-C толщиной 0,4-1,2 нм.

Изобретение относится к области изготовления тонкопленочных материалов и может быть использовано для создания полупроводниковых приборов, в частности тепловых приемников.

Изобретение относится к конструкционным изделиям ИК-оптики, обеспечивающим, наряду с основной функцией пропускания излучения в требуемом спектральном диапазоне, защитные функции приборов и устройств от воздействий внешней среды.

Изобретение относится к способу получения эпитаксиальной пленки дисилицида европия на кремниевой подложке и может быть использовано для создания контактов истока/стока в технологии производства полевых МОП транзисторов с барьером Шоттки (SB-MOSFET), а также для создания устройств спинтроники в качестве контакта-инжектора/детектора спин-поляризованных носителей.

Изобретение относится к изготовлению теплоизлучающих элементов. Способ включает размещение сетки на основе, изготовленной из первого металлического материала, и формирование на поверхности основы теплоизлучающей ячейки либо путем распыления гранулированных частиц, полученных из второго металлического материала, оксид которого имеет коэффициент отражения 70% и более, отличного от первого металлического материала, и частиц из оксида второго металлического материала, либо путем напыления металлических частиц, изготовленных из второго металлического материала, и их окисления, при этом формирование осуществляют таким образом, что зона контакта ячейки с основой составляет 1 мм2 и менее, после чего сетку удаляют.

Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, которые могут быть использованы в качестве тест объектов оптических приборов.

Способ включает размещение изделия с жаростойким покрытием в камере распыления, заполненной смесью кислорода и инертного газа, нагрев изделия, магнетронное распыление мишени из сплава на основе циркония с образованием керамического слоя и термообработку изделия и отличается тем, что нагрев изделия осуществляют хотя бы частично потоком газоразрядной магнетронной плазмы до температуры 200-800°C и используют мишень из сплава циркония, иттрия, гадолиния и гафния следующего состава, мас.%: иттрий - 6-10, гадолиний - 6-10, гафний 3-7, цирконий - остальное.

Изобретение относится к области физики наноразмерных структур, а именно способу получения тонких металлических пленок, в частности, системы Ni-Al. На стеклянную подложку в вакууме при остаточном давлении не ниже 10-5 Торр наносят не менее шести металлических слоев толщиной 30-60 нм в последовательности Ni/Al/Ni/Al/Ni/Al и осуществляют химическую реакцию между слоями путем нагрева многослойной тонкопленочной металлической системы от комнатной температуры до 600°C с умеренной скоростью 1 град/с для осуществления объемного синтеза.

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент и может быть использовано в металлообработке. Наносят нижний слой из нитрида титана.

Изобретение относится к области физики низкоразмерных структур, а именно способу получения квазимонокристаллической интерметаллической тонкой пленки с наноразмерной структурой, и может быть использовано в различных высокотехнологичных областях промышленности и науки для создания наноструктурных материалов.

Изобретение относится к изготовлению теплоизлучающих элементов. Способ включает размещение сетки на основе, изготовленной из первого металлического материала, и формирование на поверхности основы теплоизлучающей ячейки либо путем распыления гранулированных частиц, полученных из второго металлического материала, оксид которого имеет коэффициент отражения 70% и более, отличного от первого металлического материала, и частиц из оксида второго металлического материала, либо путем напыления металлических частиц, изготовленных из второго металлического материала, и их окисления, при этом формирование осуществляют таким образом, что зона контакта ячейки с основой составляет 1 мм2 и менее, после чего сетку удаляют.

Изобретение относится к материаловедению и может быть использовано в различных областях современной электроники, альтернативной энергетике, машиностроении и т.д. Способ получения нанокомпозитного металл-керамического покрытия с заданным значением микротвердости на поверхности полированной ситалловой пластины включает нанесение ионно-лучевым распылением покрытия с необходимым процентным соотношением металлической и керамической фаз, при этом процентное соотношение металлической и керамической фаз определяют с помощью нейронной сети, для чего наносят покрытия с заданным шагом процентного соотношения фаз металл-керамика, изменяющимся в покрытии от нуля до максимума, определяют значения микротвердости нанесенных покрытий, затем на основании полученных данных создают искусственную нейронную сеть, проводят ее обучение, тестируют полученную нейросетевую модель путем последовательного исключения из статистической выборки, которая использовалась для ее обучения, экспериментально измеренных факторов нейросетевой модели, включающих микротвердость металлического покрытия, микротвердость керамического покрытия, концентрацию металлической фазы в композите и микротвердость нанокомпозитного покрытия в качестве выходного параметра модели, с последующим их определением при помощи полученной нейросетевой модели и сравнения полученных теоретических данных с исходными экспериментальными значениями, затем в искусственную нейронную сеть вводят значения микротвердости металлического и керамического покрытия, их процентное соотношение в получаемом покрытии и при помощи искусственной нейронной сети рассчитывают значение микротвердости металл-керамического нанокомпозитного покрытия при введенном процентном соотношении металлической и керамической фаз.

Изобретение относится к способу ионно-плазменного напыления покрытий на изделия в вакууме и устройству для его осуществления и может найти применение в металлургии, плазмохимии и машиностроительной промышленности.

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий на изделия и может быть использовано для вакуумно-плазменной обработки изделий, в том числе оснастки, инструмента и деталей в машиностроении, деревообработке, теплоэнергетике, приборостроении и других областях.

Изобретение относится к технологии нанесения ионно-плазменных покрытий, в частности к способу получения демпфирующего покрытия на поверхности металлического изделия, и может быть использовано для обработки поверхности металлических изделий из титанового сплава, таких как лопатки компрессора газотурбинных двигателей и установок.

Изобретение относится к способу получения покрытий карбина и может быть использовано для создания новых композиционных биосовместимых покрытий, требующих химической инертности, высокой твердости, низкого трения и высокой теплопроводности.

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д.

Изобретение относится к наноэлектронике и наноэлектромеханике и может быть использовано в различных областях современной наноиндустрии, микроэлектронике, альтернативной энергетике и т.д.

Изобретение относится к технологии нанесения наноструктурных покрытий и может быть использовано в наноэлектронике и наноэлектромеханике. Покрытие получают из композита металл-керамика состава (Co86Nb12Ta2)x(SiOn)100-x.

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме электронно-лучевым способом, конкретно к контролю толщины и скорости нанесения покрытий при проведении технологического процесса.

Изобретение относится в области нанотехнологии, пищевой промышленности и сельского хозяйства. Способ получения нанокапсул бетулина характеризуется тем, что в качестве оболочки нанокапсул используют яблочный или цитрусовый пектин, а в качестве ядра – бетулин.
Наверх