Е--то- т,-, ^ж^ш-ц:^ ^^ ^bj^-vgtzua

 

271669

ОПИ САНИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл, 21g, 37/20

Заявлено 15.VI I I.1968 (№ 1264564/18-10) с присоединением заявки №

МПК H 011 3/14

УДК 778.317(088.8) Приоритет

Опубликовано 26. т .1970. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 11 XI.1970

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Г. B. Дер-Шварц, Ю, В. Куликов и В. И. Берсенев: «т

i -,,;-: -г«:..—, ! >

Лвторы изобретения

Заявитель

КОРПУСКУЛЯ РНО-ОПТИЧЕСКИ Й ПРОЕКТОР

ДЛЯ ОТОБРАЖЕНИЯ БОЛЬШИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

ПЕРФОРИРОВАННЫХ ШАБЛОНОВ

Данное изобретение относится к электронно-оптическим приборам, используемым для формирования изображений с помощью управляемых пучков заряженных частиц.

Известные приборы, например, типа электронно- или иопнооптических проекторов для отображения поьерхностей перфорированных шаблонов не позволяют воспроиззодить изображение в измененном масштабе с высоким разрешением по всему полю изобра«кения.

В предложенном устройстве для повышения разрешающей способности его по всему полю изображения перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадает с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленный в главной плоскости линзовой системы на общей осп симметрии шаблона и линзы.

На фиг. 1, 2 представлена принципиальная схема устройства.

Оно содержит источник заряженных частиц определенной массы и энергии (на черт. не показан), систему 1, формирующую сходящиеся гучки, перфорированный шаблон 2, стигматор 8, магнитную или электрическую линзу

4 (систему линз), диафрагму 5 и субстрат б.

Из источника, создающего поток заряженных частиц определенной массы и энергии, частицы попадают в систему 1 формирования, которая придает потоку коническую форму. В той части, в которой этст сходящийся конический поток част«щ имеет большое свечение, установлен перфорированный шаблон 2, выполненный в виде сферического слоя. Главные лучи всех пучков, исходящих из выходной поверхности шаблона, сходятся в одну точку, которая совпадает с главной плоскостью уменьшающей линзы 4 (или системы линз) и рас10 положена на общей оси симметрии шаблона и линзы. В этой же плоскости расположена апертурная диафрагма 5, цен-р отверстия которой находится также на общей оси симметрии шаблона и ли системы. Лпертур15 ная диафрагма ограничивает одновременно всс пучки, исходящие от шаблона и позволяет этим сформировать четкое уменьшенное изоб,ражение перфораций шаблона 2. Стигматор 8 устраняет астигматпзм изображающей систе20 мы. То, что апертурная диафрагма установлена в центре сферической поверхности шаблона и в главной плоскости линзовой уменьшающей системы, дает возможность получить хорошее разрешение по всему полю изображе25 ния шаблона. а облучение потоком заряженных частиц одновременно всей поверхности шаблона — возможность обеспечить ток большой плотности. Для создания потока заряженных частиц определенной массы можно использовать термокатод или ионный источник, 271669

Предмет изо бр етен ия

9"ъг 2 фие 1

Составитель М, И. Илленко

Техред 3. Н. Тараненко

Редактор Т. В. Данилова

Корректоры: В. Петрова и А. Николаева

Заказ 3034i12 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, К-З5, Раушская пao., д. 4 5

Типографии, пр. Сапунова, 2 составной частью которого является магнитный сепаратор.

Система формирования сходящегося потока заряженных частиц может быть реализована, например, в виде конденсорной линзы (фиг. 2). В качестве источника электронов можно использовать протяженный термокатод сферической формы, концентричный и соосный шаблону 2. В этом случае катод и шаблон, между которыми приложено ускоряющес напряжение, образуют систему формирования сходящегося пучка.

Предлагаемое устройство может быть использовано для нанесения информации на субстрат, введения примесей в полупроводники, для получения химических соединений на поверхности субстрата и т. д.

Корпускулярно-оптический проектор для отооражения больших поверхностей перфорированных шаблонов, содержащий источник заряженных частиц определенной массы и энергии, систему для формирования сходящегося пучка заряженных частиц, перфорированный шаблон, линзовую систему, стигматор и субстрат, на котором воспроизводится отображаемая поверхность шаблона, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности устройства по всему полю изображения, перфорированный шаблон выполнен в виде части сферического слоя, центр которого совпадаег с центром отверстия апертурной диафрагмы, установленной в главной плоскости линзовой системы на общей оси симметрии шаблона и линзы.

Е--то- т,-, ^ж^ш-ц:^ ^^ ^bj^-vgtzua Е--то- т,-, ^ж^ш-ц:^ ^^ ^bj^-vgtzua 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к оптическому волокну, содержащему флюоресцентные стимулирующие добавки, обеспечивающие усиление передаваемого оптического сигнала, воспринимаемого этим волокном, и устраняющие излучения с желательной длиной волны, генерируемые внутри него в результате спонтанной эмиссии

Изобретение относится к телеметрии и радиотехнике и может найти широкое применение в космической и авиационной промышленности для проведения контроля параметров динамических процессов, а также при эксплуатации высотных зданий и сооружений

Изобретение относится к сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно к способам измерения отклонения консоли зонда сканирующего зондового микроскопа (СЗМ), оснащенного оптическим объективом для наблюдения исследуемой области образца
Наверх