Вакуумный сорбционный насос

 

О П И С А Н И Е 274305

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Соииалистичесиих

Реслублии

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 28.lU.1969 (№ 1324537/24-6) Кл. 2?d, 4/02

27d, 6/02 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 24Х!.1970. Бюллетень ¹ 21

Дата опубликования описания 21.1Х.1970

Комитет ао делам изобретений и отирытий ори Совете Министров

СССР

МПК F 04Ь 37/02

F 04b 37/08

УДК 621.528.3 (088,8) Автор изобретения

М. И. Дмитрук

Заявитель

ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС

Известны вакуумные сорбционные насосы, содержащие корпус с размещенным внутри поглотительным элементом В Виде металлического цилиндра, например из титана, и щетки из вольфрамовых проволок для удаления сорбированного слоя и восстановления поглотительной активности цилиндра.

Цель изобретения — повысить скорость откачки и обеспечить предельный вакуум.

Для этого цилиндр имеет двойные стенки, полость между которыми заполнена жидким хладагентом, например гелием, а щетки установлены на вращающихся опорах и примыкают с обеих сторон к части рабочей поверхности цилиндра для того, чтобы на остальной поверхности осуществлять сорбцию инертных газов с помощью предварительно намороженного слоя аргона.

На фиг. 1 схематически изображен описываемый насос, продольный разрез; на фиг. 2— то же, поперечный разрез.

В корпусе 1 насоса цилиндрической формы помещен неподвижный цилиндр 2 с полыми стенками. Цилиндр из титана или другого металла-сорбента укреплен на корпусе с помощью горловины 8, через которую в кольцеобразную полость 4 цилиндра заливается жидкий азот или гелий. На корпусе насоса установлена диафрагма 5, в стакане б кото2 рой на шарикоподшипниках 7 смонтирован вал 8. На одном конце вала приварена траверса 9 с четырьмя щетками 10 из вольфрамовой проволоки (диаметр проволоки

0,15 лтл). На другом конце вала смонтирована магнитная полумуфта 11. Фланец 12 присоединяет корпус насоса к реципиенту 18.

С противоположной стороны внутренняя полость корпуса насоса закрыта патрубком 14

1р и заглушкой 15. С помощью лап 1б насос установлен на плите или раме 17. На этой же плите установлен электродвигатель 18, на выходном валу которого смонтирована магнитная полумуфта 19. У плотнение отдельных деталей насоса осуществляется металлическими уплотнениями 20 — 22, которые поджимаются болтовыми соединениями. Шарикоподшипники в вакууме смазывают твердыми смазочными веществами,;например дисульфидом молибдена MoS Для уменьшения расхода хладагента применена система тепловых экранов 28.

Вакуумный сорбционный насос работает следующим образом.

2s Вал электродвигателя 18 вращает с помощью магнитных полумуфт 11 и 19 вал 8.

Щетки 10 при вращении вала скользят по цилиндрическим поверхностям полого цилиндра 2, при этом они непрерывно очищают

Зр стенки цилиндра от слоя, поглотившего газ.

274305

3

При работе насоса на поверхности цили ндра 2, не затрагиваемой щетками, намораживаются инертные газы, в частности аргон, который сам ста|новится сорбентом для других плохо сорби рующихся титаном или другим металлом-сорбентом газов.

Перед пуском насоса целесообразно продуть реципиент сухим воздухом или азотом, который образуется при испарении жидкого газа.

Предмет изобретения

Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с размещенным внутри поглотительным элементом в виде металлического цилиндра, например из титана, и щетки из вольфрамовых проволок для удаления сорбированного слоя и восстановления поглотительной активности цилиндра, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости откачки и обеспечения предельного вакуума, цилиндр имеет двойные стенки, полость между которыми заполнена жидким хладагентом, напри10 мер гелием, а щетки установлены на вращающихся опорах и примыкают с обеих сторон к части рабочей поверхности цилиндра с тем, чтобы на остальной поверхности осуществлять сорбцию инертных газов с помощью предва1Б рительно намороженного слоя аргона.

Фиг 2

Корр ктор А. И. Зимина

Составитель Т. Рабчук

Редактор Кравцова

Заказ 2574)17 Тираж 4SO Полпнсно

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретешш и открытий при Совете Министров ССС1

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4,:5

Типография, пр. Сапунова, 2