Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано в манипуляторах и промышленных роботах, работающих в герметизированном объеме. Манипулятор содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. Четыре шарнирных многократных параллелограмма связывают винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, который выполнен в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенного посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с трех диаметрально расположенных сторон с остальными тремя шарнирными многократными параллелограммами. Обеспечивается расширение зоны обслуживания. 2 ил.

 

Изобретение относится к машиностроению, в частности, к манипуляторам и промышленным роботам.

Техническим результатом настоящего изобретения является расширение зоны обслуживания исполнительным органом герметизированного объема вакуумной камеры и увеличение точности позиционирования манипулятора.

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержит крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган. При этом он снабжен четырьмя шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом. Исполнительный орган выполнен в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенного посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с трех диаметрально расположенных сторон с остальными тремя шарнирными многократными параллелограммами.

На фиг. 1 изображен общий вид манипулятора, работающего в герметизированном объеме.

На фиг. 2 показан Вид А на фиг. 1.

На Фиг. 3 показан Вид Б на фиг. 1.

Манипулятор содержит крышку 1 вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 и вращательного 3 движений исполнительного органа 4 и четырех шарнирных многократных параллелограмма 5, связывающих винтовые механизмы приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 и вращательного 3 движений с исполнительным органом 4, выполненным в виде радиально-упорного шарикоподшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком 6 и соединено универсальным шарниром 7 винтового толкателя 8 вращательного движения столика.

Манипулятор работает следующим образом.

При поступательно-качательном движении исполнительный орган 4 получает поступательное (вертикальное) или качательное перемещение от винтовых механизмов приводов сильфонного ввода поступательно-качательного 2 движения, через три шарнирных многократных параллелограмма, установленных с трех, диаметрально расположенных, сторон.

При вращательном движении исполнительный орган 4 получает вращательное движение предметного столика 6 от винтового механизма привода сильфонного ввода вращательного движения 3, через центральный шарнирный многократный параллелограмм 5, далее универсальному шарниру 7 винтового толкателя 8 вращательного движения столика.

Все устройство смонтировано на крышке 1 вакуумной камеры.

Источники информации

1. М.И. Медников, «Вводы движения в вакуум», М., 1974 г., с. 172-173.

2. Ав. Свид. №1184669 «Манипулятор, работающий в герметизированном объеме» автор: А.А. Никитин, выбранный в качестве наиболее близкого аналога.

Манипулятор, работающий в герметизированном объеме, содержащий крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган, отличающийся тем, что он снабжен четырьмя шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, при этом исполнительный орган выполнен в виде радиально-упорного подшипника, внутреннее кольцо которого является предметным столиком, соединенным посредством универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом, причем вакуумное кольцо указанного подшипника кинематически связано с трех диаметрально расположенных сторон с остальными тремя шарнирными многократными параллелограммами.